- 废止
- 已被废除、停止使用,并不再更新
- 1999-05-06 颁布
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基本信息:
- 标准号:ISO 14644-1:1999 EN
- 标准名称:洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度分类
- 英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness
- 标准状态:废止
- 发布日期:1999-05-06
文档简介
ISO14644-1标准是关于洁净室及相关受控环境的,它分为两部分:第一部分是关于空气清洁度的分类。这个标准主要用于描述和控制高度洁净的环境,这些环境对于许多高科技产业(如微电子,生物技术,制药等)来说是非常重要的。
这个标准主要关注的是空气中的微粒、气态污染物(如微生物和挥发性有机化合物)以及空气的清洁程度。洁净室被分为不同的等级或类别,每个等级都有特定的空气清洁度标准。这些等级通常用P级表示,P级越高,洁净度要求越高。
具体来说,ISO14644-1定义了四个主要的洁净室等级:
1.P1等级:最低的清洁度等级,这里空气中的微粒浓度被限制在每立方米大于5微米(UM)的微粒不超过350个,以及每立方米小于或等于5微米(UM)的微粒不超过3800个。这个等级适用于大多数普通办公室和一般制造业环境。
2.P2等级:比P1高一级,空气中的微粒浓度被限制在每立方米大于5UM的微粒不超过50个,以及每立方米小于或等于5UM的微粒不超过300个。这个等级适用于对微粒控制要求较高的环境,如半导体制造环境。
3.P3等级:进一步提高了对微粒和气态污染物的控制要求,包括空气中微生物的数量和挥发性有机化合物的浓度。这个等级的洁净室通常用于生产高度精密的电子设备。
4.P4等级:这是最高的洁净室等级,对微粒、气态污染物以及空气流动和温度控制都有极高的要求。这个等级通常用于最先进的半导体生产环境,以防止生产过程中的错误和缺陷。
此外,ISO14644-1还规定了如何设计和建造洁净室,以及如何维护和检查这些环境以确保它们始终保持所
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