膜厚仪保养维护作业指导书

文件编号页次1/6文件名称膜厚仪保养作业指导书制定部门作业指导书制订日期1.0、目的:为规范膜厚仪保养作业方法，特制定本作业指导书。2.0、范围：适用于膜厚仪开关机作业及考核、规范等。3.0、定义：无4.0、作业内容：无5.0、注意事项：5.1测试过程中员工必须戴好头套、口罩、手套。5.2夹片时应夹取大平边中间部位1-3mm处。5.3机台属光纤仪器，光纤易折断，切勿触摸光纤及改变机台位置，尽量远离机台，避免不必要的碰撞。6.0、日常保养：6.1、材料及工具使用明细：6.1.1、材料使用明细：项目名称规格描述标准用量01Si基准片1pcs02SiO2膜厚标准片1pcs03Al2O3基准片1pcs6.1.2、工具使用明细:项目名称数量项目名称数量01塑胶镊子1个6.2、保养项目：机台编号保养日期序号周期计划保养项目标准或处理方法完成打√备注1周膜厚仪校正校正膜厚仪核准审查拟案版本修订内容修订日期符号版本号A修改号0文件编号页次2/66.3、保养流程：6.3.1、选定所测试膜厚程式。6.3.2、进入“Recipe”界面选取程式（如图4，需测试PSS光刻胶厚选定程式“PRonAl2O3”）。点击箭头选取所需程式点击箭头选取所需程式图46.3.3、选定所测样品所对应程式，点击“OK”即可。（图5）选定程式后，按“选定程式后，按“OK”确定即可图56.3.4、设定所测样品基准。6.3.5、进入“BaselineProcedure”界面。（如图6）点击进入“点击进入“BaselineProcedure”界面图66.3.6、放置所测试样品所对应基底至载台光斑下SIO2或Al2O3。6.3.7、点击“AcquireSample”获取基底样品。（如图7）文件编号文件编号页次3/6点击获取基底样品点击获取基底样品图76.3.8、选定样品基底种类，SIO2或Al2O3，点击“AcquireReference”，开始收取基底样品信息。（如图8）选定基底点击“选定基底点击“AcquireReference”图86.3.9、基底信息收集完毕，需取出所放置于载台上的基底，点击“AcquireBackground”，进行基底信息分析。（如图9）取出基底片后点击“取出基底片后点击“AcquireBackground”图96.3.10、基底信息分析完成后，点击“Finish”，完成设定样品基准步骤。（如图10）点击“点击“Finish”完成图10文件编号文件编号页次4/66.3.11、将所测试样品放置于载台之上，注意正面朝上，小心轻放并注意划伤。（如图11）图11点击“Measure”测试膜厚6.3.12、点击“Measure”点击“Measure”测试膜厚图126.3.13读取样品膜厚测试值，取出样品。（如图13）所测得膜厚值所测得膜厚值图136.3.14、机台标准件验证，此项由工艺工程师完成。6.3.15、标准件测试需时间Si基底作为基准，测试程式为“SiO2onSi”，将SiO2膜厚标准件进行测试即可。6.3.16、SiO2膜厚标准件SiO2厚度为MA，所测试厚度在M±20A表面仪器正常，可正常使用；若不在范围之内需停止使用，并通知上级领导处理。文件编号文件编号页次5/67.0、开、关机步骤：7.1、开机步骤：7.1.1、开启机台电源，内置灯泡点亮（如图1）。电源开启后，光源点亮电源开关电源开启后，光源点亮电源开关图17.1.2、开启机台电脑桌面软件“FILMeasure”（如图2）。图27.1.3、确认光纤正常，将Al2O3基准片放置于载台光纤光斑之下，正面朝上，观察光纤六个点光斑是否正常（光斑亮度是否一致，如图3），也可使用白纸置于载台进行观察。如光斑存在不一致现象，需立即通知工艺工程师，并停止使用。光纤光斑光纤光斑图37.2、关机步骤：7.2.1、先关闭测试仪软件FILMeasure。7.2.2、然后关闭机台电