半导体厂消防设施安全基准

半导体厂消防设施安全基准(建议草案)

适用范围引用标准及说明

目的：本基准旨在提供半导体创造厂之制程区本基准草案主要是

及支持区消防设施之安全规范。危害物根据UFCArticle

(HPM)的储存、运送和使用应以本规范51的内容，并参酌

为依归。相关的消防安全设施和系统必我国消防法、NFPA

须随时维持在可使用的状态。318、FMLoss

PreventionData、

及SEMIS-2Doc.

2697等资料编写

而成。

名词解释：

•制程区(Fabricationarea)

•危害物(HazardousProductionMaterial；

HPM)

•危害物易燃性液体(HPMFlammableLiquid)

•危害物储存场所(HPMStorageRoom)

•紧急紧报系统(EmergencyAlarmSystem)

•防灾中心(EmergencyControlStation)

•服务走道(ServiceCorridor)

•制程设备(Workstation)

•闪点(Flashpoint)

•沸点(Boilingpoint)

1.半导体厂火灾之预防我国消防法

1.1通则：尽量减少火源与可燃物接触的机

会。

1.2火源管制：

1.2.1普通火气：严禁吸烟，使用火柴、打

火机

1.2.2作业用热源：不使用直接燃烧气体进

行加热干燥，应采用热媒间接加热方

式。

1.2.3临时动火：应在责任者之充分监督下

才准使用。

1.2.4电气设备：密闭室内使用防爆型以外

之电气设备时，不得使用会发生可燃

性蒸气之溶剂。若无法避免，即使在

电源切断时，应须进行充分换气作业。

1.2.5静电：讲求抑制静电发生及防止带电

之方法。

1.3可燃物之管制：

1.3.1周围之不燃化：钢瓶、容器储存场所，

应采耐火构造，并与其它建造物隔离，

并尽可能避免可燃物之进入。排气系统

之风管，应使用不燃材料；但普通所称

难燃材料（耐燃三级），在长时间火焰耐燃三级系由中国

作用下仍会引燃，故排气风管不得使用

国家标准CNS6532

该种材质。排放管内之沉积物，应定期

所规范者。

检查排放及清洗。

1.3.2气体漏泄之防止：由于不可能彻底不使

气体漏泄，故重点在于万一漏泄发生

时，如何防止起火或者产生滞留爆炸

O

1.3.3可燃性液体泄漏防止：

A.使用密闭容器

B.配管之使用：可燃性液体之处理场所

应设置于与贮存处所或者作业场所

有

别之安全场所，再使用配管将制程所

需必要的最小量送入制程区。

C.泄漏之局限化：作业场所之楼地板应

为液体不会浸透之构造，并有适度之

坡度或者排液沟。处理槽应设于安全

位置。

1.3.4爆炸性混合气体形成之防止（换气）：引

火点（闪点）在周围最高温度以上之可

燃性液体，可采自然换气方式；引火

点在环境气温以下者，须采强制换气

方式。可燃性液体蒸气通常较空气重，

其换气装置之排气口应设于挨近蒸气

发生源之低处，而进气口则以设于高

处为原则。换气装置应使用防爆机型。

危（wei）险装置附近应设于气体侦

测器俾能随时检测。

2.半导体厂之消防设施

2.1制程区之火灾侦测：

2.1.1洁净室之探测器应选用能适应平时洁NFPA318和FM

净环境能感应其变化程度设定之侦烟LPD7-7之规范。

器，并应安装在在回风管之吸气口处。

火灾侦测系统应采极早期预警型式。

2.1.2氢62）之燃烧火焰几乎完全不会释放

出红外线，因此其储存区域或者使用

区必须使用紫外线火焰探测器。

2.1.3排放管路之火灾探测系统：应采感知

速度较快之火焰探测器。

2.2自动洒水系统：洒水设备系统必须符合

相关建造法规和「各类场所消防安全设可参见第43条至

备设置标准」之要求。警报讯号必须送第60条之规定。

至防灾中心。

**海龙灭火设备可防止制程设备之二次损

害，但有环保（破坏臭氧层）问题，可采用

海龙替代品（须经内政部消防技术委员会例如FM-200（LPD

审议通过者）防护之。7-7,17-12）

2.3火警警报系统：凡在高度危险工作场所可参见「各类场所

必须全面性的备有手动火警警报系统。消防安全设备设置

其激活必须能在原地发出警报声，同时标准」第129条至

相关讯号须传送至防灾中心。该系统之第132条之规定。

设计及安装应符合「各类场所消防安全

设备设置标准」之要求。

2.4防排烟设备：火灾时，空调机之运转应

予住手。必要处所，应设置排烟设备。

或者参考防火防烟区划安全基准6.7

之规定。

2.5通报设备：除前述洁净室内极早期警报

系统或者风管内合用之火警探测系统外

,其它厂务设施空间适用之火警通

报设备，与普通防护空间相同。

2.6电气防灾设备：

2.6.1通则：应特别注意停电时所造成的不

当灾害。

2.6.2感电部份：

A.电气设备之接地。

B.应设有感电防止用漏电遮断器等控

制设备。

C.高电压、大电力之半导体制程设备，

应依下列规定：

1.明白标不。

2.作业中不致接触或者接近之安全棚架、绝

缘覆体等。

3.设接地棒。

4.应有微控开关门扇不动作之防止。

5.应有作业前之自动检查并予纪录。

2.6.3停电部份：灭火设备、照明、引导灯、

特定制程设备、有害气体排气设备、

制程装置用冷却水设备等应设置不断

电设备（UPS）、蓄电池、紧急发机电。

2.7避难救助设备：半导体厂房多属台湾消建造技术规则第

防法规之无开口楼层，故应有八十九条至九十

A.避难器具之设置九条

B.出口标示灯、避难指示灯

C.紧急进口

D.紧急照明设备

2.8安全保护器具：使用毒性气体区域，应

设有适应冬毒性气体特性之呼吸用保护

器具，其种类如下：

（过滤式防尘罩

防毒罩

呼吸用保护器具

送气罩ose-mask

供给式airlinemask

自给式呼吸器空气呼吸器

02呼吸器

3.制程区

3.1制程区必须符合建造法规或者防火防烟见前述之「防火防

区划安全基准之相关规定。烟区划安全基准」

3.2位置：制程区之位置必须位于一楼或者

以上之楼层。

3.3危害物最高储存量：单一制程区内危害

物的平均密度不得超过下表（表一）所

规定之上限。

**若任何单一制程区之总量未超过表二所

规定之总量上限，则不受上述3.3之限

制。

表一单一制程区中危害物平均密度上限1.2

状态单位易燃性氧化剂腐蚀性

固态Kg/m20.0050.150.015

液态L/m21.63331.223.26

气态nWm220.3810.914

上标说明：

1该平均密度不合用于管路中之危害物。

2易燃性，有毒性气体的最大容许总量不得超过表二之上

限。

3易燃性和可燃性液体的平均密度不得超过下述之量。

Class(l-A)+(l-B)+(l-C)(混合之易燃性液体)=1.020

其中Class1-A不得超过=0.102

ClassII=0.41

Classlll-A=0.82

说明：

ClassI-A液体：闪点<23oC,沸点<38oC

ClassI-B液体：闪点<23oC,沸点>38oC

ClassI-C液体：闪点〉23oC,沸点<38oC

ClassII液体：38oC<闪点<60oC

ClassIIIA液体：60oC<闪点<94oC

ClassIII-B液体：闪点〉94oC

上述公制数字系相关英制数字转换而来,原英制数字可见

下页

表二单一制程区中危害物最大容许总量

物质最大容许总量

易燃性液体341L

ClassI-A681L

Classl-B1022L

Classl-C1363L

混合之易燃性液体

可燃性液体

ClassII1363L

Classlll-A2839L

易燃性气体255m3【常乐常温(21C)下1

液化易燃性气体681L

易燃性固体680Kg

腐蚀性液体625L

氧化性物质一气体510m3

氧化性物质一液体568L

氧化性物质一固体680Kg

过氧化性13.6Kg

高有毒性物质及有毒心1或者包括在上述易燃性气体之总量，而不

论

上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见

下页

3.4通风要求:

3.4.1通则：每平方公尺楼地板面积至少有原数字1ft3/min./ft2

每分钟0.3立方公尺之通风量。楼地板面积

3.4.2分离系统：在建造物内任何制程区的

回风系统不得与其它系统连结。

3.4.3通风控制：空气供应或者循环系统，

或者两者，都应在制程区外设有手

动控制开关。消防主管机关得要求

设立额外的手动开关位置。

3.5特殊要求：

3.5.1溢流控制：若危害物之气体供应高压

管线破裂，必有一失效一安全

(Fail-Safe)系统来关闭气体供应。若供

应管线是源起于危害物储存场所，则

溢流控制阀必须设在此场所内；若管

线源起于建筑物外，则溢流控制阀则

应设置于建筑物外，亦尽可能接近于

供应源处。

3.5.2管线设备：管线设备必符合相关要求

标准。除非管线是置放在密闭管道空

间，否则具有3或者4人体健康危害

等级(healthhazardranking)之危

害物的供应管线，其所有接头处必须

焊接。和钢制管线不能兼容的物质，

或者许可用非金属管线，但其接头仍

须经过验证。

3.5.3气体监测系统：在危害物气体之使用

或者分装的储存区域或者场所，不论

其管

对人体有害，都必须设有持续性之气

体监测系统。在运送过程中，若易燃

性气体或者蒸汽量有超过其爆炸下限

百分二十之可能性时，必须有持续

性之气体监测系统。这些监测系统

须和防灾中心联机。

4.制程区内之制程设备

4.1制程区内之制程设备之材质必须和其使

用之化学品原料兼容。制程设备之危害

物气体和可燃性液体流经之处必须为不

燃材料。若为金属，则厚度不得小于1.12原数字0.044-inch

公厘（18号钢）。此外危险气体和液体储

(18gage)

槽必具有经认证之抗震性。

4.2危害物最大容许总量：如表三所示。

表三：制程设备中危害物最大容许总量

材料状态最大容许总量

气体3瓶

易燃性及有毒性液体57L

固体2.3Ka

气体3瓶

腐蚀性液体95L

固体9Kg

气体3瓶

氧化性液体45L

固体9Kg

上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见

下页

4.3排气通风

4.3.1设计基准：应能彻底排除制程过程中

产生的熏气(Fume)和蒸汽。

4.3.2管道系统

A.材质：管道材质必须符合机械法规。

B.反应物：若排放之物质会在管道内造

成火灾，爆炸或者危(wei)险之化

学反应，则应有两种以上之排放选

择，且不能和主排放系统垢合。

C.穿墙：若排放系统必须穿墙至制程区

外，其应置于具有防火时效之管道间

内。排气管道不得穿越制程区内区域

之区划，不得在排气管道中设有防火

闸门(板)。

D.消防设施：在下列情形，排放管道

内部必须设有洒水装置。

(i)管道之最大管径大丁­或者等丁25原数字10-inch

公分。

(ii)管道系在建造物内。

(iii)该管道系用来运送在可燃范围

内之气体或者蒸汽。若管道系可

燃非金属材质所构成，且其最

大管径大于或者等于25公分原数字10-inch

，则须加撒水装置。

“若管道已明定不须有撒水装置或者其装

设在天花板下且其长度未超过3.7公原数字12ft

尺，则不受上述限制。

4.3.3紧急电源及控制：排气系统必须具有

紧急电源。其设计及设置必须符合电

力法规。该紧急电源必须能维持至少

一半正常风扇运转速度，以保持环境

的安全。

4.4消防设施：撒水设备之有效范围须能覆

盖制程设冬之水平平面且不得受到任何

妨碍。若制程设备系由可燃材质所构成

,则撒水设施必须设置在排放装置与

装备接壤处，或者不得超过该接壤处原数字4ft

1.2公尺以上之距离。洒水头及接到

管道之管线必要时，应有防腐蚀之保护

层O该洒水装置应易干作定期性的枪

查。撒水系统设计必须考虑到喷洒型

式及其对设备的影响。

**若使用下方式，则不受上述条件限制

1.经审核认可之其它替代灭火系统，其激

活可使相关的制程设备住手运作。

2.若制程设备操作温度超过500℃,且附

有自动住手危害物供应装置者。

3.若易燃性气体之钢瓶柜系在制程设备

内，且其排气管线管径在25公分以下原数字1o.jnch

者。

4.5电器设备：若电器设备距离使用易燃性

气体或者液体之制程设备在1・5公尺之内原数字5ft

,应依电器法规中ClassI,Division2

之相关规定决定其位置。亦应遵循2.6

之要求。

**若对制程设备之排气或者稀释会造成持

续

性之不燃环境，则不受上述限制。

4.6特殊要求

4.6.1化学物质之排放：每一使用危害物之

制程设备必须具备下列条件•：

A.和排放系统兼容之排放管线系统。

B.设备平面能提供斜坡或者其它适当

方式来使溢出的化学品至排放系

统。

C.经过审核认可的方式，使溢出或者

漏泄的液体导流至排放系统。

4.6.2标示：供应或者排放危害物之系统必

须予以明显标示，而且在任何时候

皆可目视到。

4.6.3遮断阀：在制程设备中危害物供应系

统必须具有遮断阀。

4.6.4储槽避免损坏之保护：连接或者在制

程设备中之危害物的储槽必须避

免损坏，而且该储槽不可突出设备

之外。

4.6.5制程设备之空间裕度：使用危害物之原数字3ft

制程设备对电器设备，气体钢瓶接头，

或者紧急状况时，必须保持有1公尺

以上水平的工作空间。这个空间只是

用来例行操作使用，而非用于修理或

者相关保养工作。

5在制程区中危害物之储存及分装

5.1通则：危害物液体、气体和固体必须完

全储存在钢瓶柜中或者制程设备中。不

同危(wei)险等级之危(wei)险物

质必须置放在不同之钢瓶柜中，而且

不能混放。但隋性物质则不受此限制

5.2危害物气体之特殊要求。

5.2.1通则：其钢瓶柜除了符合5.1之要求

外，内部也必须设有撒水装置。钢瓶

瓶柜必须有自动关闭系统。

**在危害物储存房间中之钢瓶柜可以不装

撒水装置，但活化性气体仍须装置。

5.2.2气体监测：不论是否在供应状态中,

钢瓶柜中应有连续性气体监测系统。

若发现有泄漏情形产生，该监测系统

能自动切断钢瓶柜中之供应阀门，并

发出警报，同时将讯号送至防灾中心。

5.2.3排气：钢瓶柜必须有排气装置。若钢

瓶柜中之储存气体是毒性或者高毒

性者，其排气速度应使接头处面上

之速度超过60公尺/秒以及在接头任原数字200fpm

意点之速度至少45公尺/秒。钢瓶原数字150fpm

柜应保持负压，且其排气系统要求亦

和4.3.2和4.3.3者相同，并容许其与

设备之排气系统相连。

5.2.4溢流控制：溢流控制阀与第3.5.1之要

求相同。

6在走道中危害物之处理

6.1新建造物：在新建造物中，走道不得有

危害物。

6.2既有建造物：

6.2.1通则：当既有建造之制程区重新翻修

时，在经由消防主管机关同意后，可

以将危害物移至走道。

6.2.2储槽：所有运送危害物之储槽,必须

经过审核认可。若液体未超过20公原数字5gallons

升，其可被允许以20公升容量之储槽原数字5gallons

来装送。若超过两桶以上之20公升装原数字5gallons

之液体在走道上运送，他们应装载在

一经过验证之手推车上。除非在避免

受到污染的情形下，玻璃容器在一般

情形下是不准使用。玻璃容器的容量

不得超过4公升。原数字1gallon

6.2.3手推车和搬运车：两者均须用来运送

危害物，其设计必须符合6.3之规定。

**例外：

1.若两个盛装危害物液体之容器均未超

过20公升，可以容许以手提方式运送。原数字5gallons

单独未超过200公升的储桶，应用适当原数字55gallons

的储桶搬运车来运送。

2.危害物之气体钢瓶必须以经验证过之

手动钢瓶搬运车来运送。单一之手提钢

瓶，不可超过50公斤。原数字25pounds

3.危害物之固体，若未超过200公斤，可原数字100pounds

以经验证过之手动搬运车运送。单一之

手提储槽，不可超过100公斤。原数字50pounds

6.2.4气体钢瓶之预防措施：危害物之气体

钢瓶在搬运当中，其开关阀必须有顶

盖或者密闭式的装置盖住，而且其保

护盖也必须在定位。在手推车或者

搬运车中之钢瓶，钢瓶必须个别锁

住。

6.2.5分装：危害物不得在走道处分装。

6.2.6管理：手推车或者搬运车不得在无人

看

管下置于走道。

6.2.7在走道上危害物贯穿区域：在走道若

有贯穿区域存在，则其与走道的门必

须为自行关闭之型式，且具有一小时

以上之防火时效。贯穿区域必须完全

以墙面（同走道墙面要求标准）成一

封闭区域，而且具有审核认可之自动

灭火系统。

6.2.8紧急警报：必须装置有紧急电话系统，

手动警报装置或者警告讯号装置。他

们之间的距离不得超过45公尺，或原数字150-foot

者设置在各个出口楼梯处。这些警报

讯号都必须接至防灾中心。

6.2.9消防设施：洒水系统须根据建造法规见2.2之说明

和「各类场所消防安全设备设置标准」

来安装。若走道上有一排的洒水头的

设计，则其最大计算所须的数目不须

超过13个。

6.3手推车和搬运车之设计

6.3.1通贝I」：手推车和搬运车必须有安全的

底座来支撑运送的物品，而且有锁住

装置以避免因意外而使物品脱落。他

们亦须配备有停车及减速装置，使运

送者能安全的操作。使用于ClassI,

Division1或者ClassI,Division2危

险场所之动力手推车和搬运车必须

经审核认可。绝不可使用内燃机当

动力来源。

6.3.2液体搬运：用于运送危害物可燃性或

者

易燃性液体手推车或者搬运车之材质

必须为厚度超过1.12公厘的钢板原数字0.044-in

（18号钢）或者具有火焰延烧等级(18gage)

Class-1之认证的材料。危害物液

体搬运用之手推车或者搬运车必须

使运送的物体彻底密封，必须能够

在搬运时防止泄漏产生。

6.3.3尺寸：手推车之长度或者宽度不得超

过

原数字48inchs

1.2公尺，或者不得超过走道宽度的一

半。在搬运危害物时「手推车和搬运

原数字55gallons

车之最大承载量不得超过200公升的

原数字400pounds

液体；7个气体钢瓶（每一个最多90

原数字500pounds

公斤）；110公斤的固体。

6.3.4标示：手推车和搬运车必须标示其运

送物品之内容。不能兼容物品不得置

放于同一手推车或者搬运车。

6.4管线

6.4.1通则：若输送危害物的管线是在走道

的墙面，地板或者顶部，则相关装置

须符合下列要求。

6.4.2关闭阀：手动或者遥控失效一安全紧

急关闭阀必须装设在：

A.管线系统进入走道之进口处。

B.分支管联结至制程区处。此种阀必

须标示清晰而且可清楚目视之。

6.4.3溢流控制：同3.5.1所要求者。

6.4.4气体监测。同3.5.3所要求者。

6.4.5电器设备：在管线空间之电线和相关

设备，应符合ClassI,Division2危|险

位置要求者。亦应遵循2.6之要求。

7服务走道中危害物的处理

7.1运送标准

7.1.1通则：若危害物必须运送至储存偶尔

从该储存间运出，或者者由建筑物外

送至制成区之外墙，则必须有专用

之服务走道。用来搬运危害物之服

务走道应符合下列要项。

7.1.2储槽：同6.2.2之要求。

7.1.3宽度：服务走道之最小净宽为1.5公原数字5ft

尺。

**若有使用手推车或者搬运车，则最小宽度

应为手推车或者搬运车最大宽度再加之原数字33inches

0.8公尺。

7.1.4容量：服务走道中，一次运送危害物

的量，不得超过6.3所规定者的两倍。

7.1.5紧急警报：应有手动警装置或者其它

审核认可之警告讯号装置。亦可见

627之要求。消防主管机关得要求

增加装置。

7.1.6消防设施：应设置洒水头，其设置应

根据6.2.8之规定

7.2禁止程序：在服务走道中，禁止分装危

害物。

7.3结构要求：依建造法规之规定。

7.4紧急出口：依建造法和「各类场所消防见2.7之说明

安全设备设置标准」之规定。

7.5管线：同3.5之规定。

8危害物储存

8.1在建造物外之储存

8.1.1通则：建造物外之储存场所应依建造

法规之区别，结构和防火要求之规定

和本基准之规定。

8.1.2管线遮断装置：从建筑物外面进来之

危害物气体供应管线应具备有3.5.1

之规定。建物外每一个储存槽危害物

供应管线均应设有紧急手动关闭阀，

该阀位置，标示应明显目视且易于激

活。

8.1.3特殊要求：建造物外之危害物储存槽

应对公共场所保持适当的安全距离。

8.2在建造物内之危害物储存

8.2.1结构：危害物储存场所须依建造法规原数字6,000ft2

相关规定。其面积不得超过550平方原数字300ft2

公尺。若其面积超过28平方公尺，则

须有两小时防火时效之隔间墙。若面

积在28平方公尺以下，则隔间墙须一

小时防火时效。除非经审核认可，所

有墙面及地板均须为不燃材质所构

成。若储存场所亦用来分装ClassI或

者II之易燃性气体和液体，则其面原数字10o0ft2

积不得超过90平方公尺。八'

8.2.2建造物内之位置：危害物储存场所至

少要有一面墙至少离距境界线原数字30ft

(propertyline)10公尺以上。若有爆

炸之可能性，则须有爆炸控制系统。

该系统之设计应依建筑法规之相关规

定。

8.2.3储存场所内之分隔区划须求：在储存

场所中易燃性，腐蚀性，氧化性，亲

水性等固体和液体，应依表四方式作

分隔区划。

表四原料分隔区划1.2

区划最小防火时效

材料毒性酸盐基易燃性号1化性另W水性易爆性

毒性1hr1hr1hr1hr1hr1hr

酸1hrSS3SSS3

盐基1hrsSSSS

易燃性1hrS3SS4S

氧化性1hrsSSSS3

亲水性1hrsS4SS

易爆性1hrS3SSS3S

|S=不燃性隔间o该隔间离储存原料之高、前及后至少45公分

(Winches)以上。

2危害物气体和危害物液体及固体的区划可见8.2.3o

3若距离超过6公尺(20ft)以上，则允许可以不用不燃性(见1.3.1

之说明)隔间。

4必须要有另一个储存场所。

当表四中允许在不同等级的危害物有

不燃材质构成的隔间，则这些危害物可置放

在同一储存场所。

亲水性危害物不得和易燃性和可燃性

液体置放在同一储存场所而必须有所区隔。

他们之间的区划墙不须具有防火时效。

有毒性物质如表四所示必