GB/T 14851-2025电子特气磷化氢

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T14851—2025

代替GB/T14851—2009

电子特气磷化氢

Electronicspecialtygas—Phosphine

2025-03-28发布2025-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T14851—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体磷化氢与相比除结构

GB/T14851—2009《》。GB/T14851—2009,

调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了磷化氢应符合的技术要求见第章年版的第章

———(4,20093);

增加了采样一章见第章

———“”(5);

更改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷其他碳氢化合物砷化氢含量的测定方法见

———+、、、、、、(

年版的

6.2,20094.4、4.5、4.6);

增加了硅烷硫化氢含量的测定方法见

———、(6.2);

更改了水分含量的测定方法见年版的

———(6.3,20094.8);

更改了金属元素及其他元素含量的测定方法见年版的

———(6.4,20094.9);

增加了锗烷含量的测定方法见

———(6.5);

增加了颗粒含量的测定方法见

———(6.6);

增加了检验规则一章见第章

———“”(7);

更改了标志包装运输贮存及安全信息的要求见第章年版的第章

———、、、(8,20095)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位西南化工研究设计院有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司上海正帆科

:、、

技股份有限公司广东华特气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司中船重工邯郸派瑞特种

、、、()

气体有限公司苏州金宏气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司湖北和远气体股份有限公

、、、

司全椒南大光电材料有限公司大连保税区科利德化工科技开发有限公司浙江省标准化研究院昊华

、、、、

气体有限公司西南分公司宿州伊维特新材料有限公司上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分

、、、

析技术有限公司大连大特气体有限公司上海凡伟仪器设备有限公司联雄投资上海有限公司上海

、、、()、

飞择科技有限公司上海市计量测试技术研究院沈阳中复科金压力容器有限公司浙江东开半导体科

、、、

技有限公司和立气体上海有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限

、()、、

公司武汉分公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

、。

本文件主要起草人孙福楠曾庆腾李东升傅铸红王百林曹素英何经余沙婷倪珊珊

:、、、、、、、、、

万娟秀朱明王新喜孙猛戴玺徐孝天方强孙建施旖旎赵趫郑新权陈洁吴靓方华李扬

、、、、、、、、、、、、、、、

杨康唐中伟黄辉施卫丰姜阳李春华宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静赖晓峰

、、、、、、、、、、、、、、

谭依玲周鹏云王科熊壮

、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为年第一次修订

———1993GB/T14851—1993,2009;

本次为第二次修订

———。

Ⅰ

GB/T14851—2025

电子特气磷化氢

1范围

本文件规定了电子级磷化氢的技术要求采样试验方法检验规则标志包装运输贮存及安全

、、、、、、、

信息

。

本文件适用于亚磷酸热分解磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢

、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804