JIS B 9960-33-2012 机械安全性.机械电气设备.第33部分-半导体制造设备要求

序文 1 12引用規格 23用語及び定義 44一般要求事項 4.1一般考慮事項 4.5翰送及び保管 4.6運搬の便宜のための手段 4.7据付け 5入力電源導体の接続,断路器及び開路用機器 5.1入力電源導体の接続 5.2外部の保護接地システムを接続する端子(PE端子) 5.4追加の断路器 6感電保護 206.1一般事項 6.2直接接触に対する保護 206.3間接接触に対する保護 216.4PELV使用による保護 6.5熱練電気技術者及び電気作業員が不用意に危険な充電部に接触しないための保護 247装置の保護 7.1一般事項 7.2過電流保護 7.3電動機の過熱保護 7.4電動機の過速度保護 7.5異常温度検出 287.6停電,電圧低下及びその復旧時の保護 287.7地絡電流保護(漏電電流保護) 7.8相順の保護 7.9雷サージ及び開閉サージの過電圧保護 297.10電解コンデンサ 298等電位ボンディング 8.1一般事項 8.2保護ボンディング回路 8.3機能ボンディング 9.1制御回路 9.2EMO(緊急遮断) 369.4保護インターロック 9.5安全機能及びノ又は保護方策の中断 39 3910.1一般事項 10.2押しボタン 4010.3表示灯 41 42 10.6起動機器 42 4310.9イネーブル制御機器 4311制御装置:配置,取付け及びエンクロージャ 4411.1一般要求事項 4411.2配置及び取付け 44 4511.4電気装置のエンクロージャ 45 4712.1一般要求事項 4712.2導体の絶緑 4712.3電流容量 4812.4導体及びケーブルの電圧降下 4812.5可とうケーブル 4813配線方法 4913.2複数口のコンセント(multi-outletassemblies) 5113.4導体の識別 5113.5エンクロージャ外の配線 5313.6ダクト,接続箱及びその他の箱 54 5514.1一般要求事項 55 14.3電動機の寸法 14.4電動機の取付け及び電動機用区画 56 15.1附属装置用コンセント 5615.2半導体製造装置の局部照明 16表示,警告標識及び略号 16.1一般事項 5716.2感電の警告標識 57 57 5817.1一般事項 5817.2提供情報 17.3全ての文書類に対する要求事項 17.4据付け用文書 17.7還転マニュアル 17.8保全マニュアル 60 6118.1一般事項 61 18.5ストレインリリーフ試験 63 6418.7保護インターロック回路の機能試験 64 6418.9温度試験 6518.10エンクロージャの強度試験;30N一定 18.11エンクロージャの強度試験;250N一定 66 18.13配線の曲げ戻し試験 6618.15EMO機能試験 66 18.17その他の安全回路試験 6718.18電動機温度上昇試験 67附属書A(規定)TN系統における基本保護(間接接触保護) 72附属書C(規定)導体の電流容量,沿面距離及び空間距離 74附属書D(規定)標準試験指(テストフィンガ) 81附属書E(参考)接地系の分類 参考文献 99この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,一般社団法人日本機械工業連合会(JMF)かこの規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実用新案権に関わる確認について,責任はもたない。JISB9960(機械知の安全性一機械の心気装)の規格群には,次に示す部細成がある。JISB9960-1第1部:一般要求事項JISB9960-11第11部:交流1000V又は直流1500Vを超え36kV以下の高電圧装置に対する要求JISB9960-31第31部:縫製機械,縫製ユ二ット及び縫製システムの安全性とEMCに対する要求事项JISB9960-32第32部:巻上機械に対する要求事項JISB9960-33第33部:半導体製造装置に対する要求事項日本工業規格JIS機械類の安全性一機械の電気装置一第33部:半導体製造装置に対する要求事項Part33:Requirementsfor序文注記二の规格飞は,交流它压の值(V)は,特に断5ない限D灾効值(r.m.s.)を意味する。この規格は,公称電源電圧が交流1000V以下,直流1500V以下,公称周波数が200Hz以下で作動す注記4電気装置内部で生成する電圧が交流10力電圧が交流1000V又は直流1500Vを2B9960-33:2012(IEC60204-33の電気的インターロックも含まれる。ただし,この規格は,他の規格又は規則で扱われている電気以外の危険源(例えば,化学的危険源,機械的危険源,放射の危険源)から人を保護するために必要な小を全て網羅しているわけではない。機械には,適切な安全性を備えるために機械の種類ごとに特有の要求事項次に示す半導体製造装置には,追加及び特別の要求事項の適用が必要となることがある。一爆発する可能性がある材料を使用,加工又は製造する装置。この規格は,半導体製造装置の生産的機能については規定しない。この規格は,半導体製造装置からの放射(例えば,電磁界,騒音)による人間の健康への影響についてこの規格は,電磁適合性(EMC)については規定しない。注記5この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electricalequipmentofmachinesなお,対応の程度を表す記号“IDT”は,ISO/IECGuide21-1に基づき,“一致している”2引用規格次に揭げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの引川規格のうちで,西所年を付記してあるものは,記栽の年の版を道川し,その後の改正版(込初を含む。)は適用しない。西層年の付記がない引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。JISB9700-2機械類の安全性一設計のための基本概念,一般原則一第2部:技術原則注記対応川際規格:ISO12100-2,Safetyofmachinery—Basicconcepts,generalprinciplesfordesign—Part2:TechnicalprincipleJISB9705-1機械類の安全性一制御システムの安全関連部一第1部:設計のための一般原則GeneralprinciplesfordesiJISB9706-1機械類の安全性一表示,マーキング及び操作一第1部:視覚,聴覚及び触覚シグナルの要求事項注記対応国際規格:IEC61310-1,Safetyofmachinery—Indication,markingandactuation—Part1:JISB9706-2機械類の安全性一表示,マーキング及び操作一第2部:マーキングの要求事項注記対応国際規格:IEC61310-2,Safetyofmachinery—Indication,markingandactuation—Part2:JISB9706-3機械類の安全性一表示,マーキング及び操作一第3部:アクチュエータの配置及び操作注記対応国際規格:IEC61310-3,Safetyofmachinery—Indication,markingandactuation—Part3:3B9960-33:2012(IEC60204-33JISB9961機械類の安全性一安全関連の電気·電子·口グラマ7儿電子注記対応国際規格：IEC62061,Safetyofmachinery-Functionalsafetyofsafety-relateJISC0445文字数字の表記に関する一般則を含む機器注記対応国際規格：IEC60445,Basicandsafetyprincipleforman-midentification-IdentificationofequipmentterminalsandofterminationsofcertaindesignatedJISC0446色又は数字による電線の識别注記対応国際規格：IEC60446,Basicandsafetyprincidentification-Identificationofconductorsbycoloursoralphanumerics(MOD)注記对応国際規格：IEC60447,Man-machineinterface(MMI)-ActuatingprincipJISC0448表示装置(表示部)及び操作機器(操作部)のための色及び補助手段に関する規準注記対応国際規格：IEC60073,Basicandsafetyprincidentification-CodingprinciplesforindicationJISC0617(規格群)電気用図記号注記対応同際规格：IEC60529,Degreesofprotectionpr注記対応国際規格：IEC61032,ProtectionofpersJISC1010-1測定，制御及び研究室用電気機器の安全性一第1部：一般要求事項JISC6950-1情報技術機器一安全性一第1部：一般要求事項注記対応国際規格：IEC60950-1,Informationtechnologyequipment-Safety-Part1:GeneralJISC8201-3低圧開閉装置及び制御装置-第3部：開閉器，断路器，断路用開閉器及び一大組み工二ッ卜注記対応国際規格：IEC60947-3,Low-voltageswitchgearandcontrolgear-Part3:Switches,disconnectors,switch-disconnectorsandfuse-combinationunits(MOD)JISC60364-4-41低圧電気設備一第4-41部：安全保護一感電保護注記対応国際規格：IEC60364-4-41,Low-voltageelectricalinstallasafety-ProtectionagainstJISC60364-4-43低圧電気設備一第4-43部：安全保護一過電流保護注記対応国際規格：IEC60364-4-43,Electricalinstallationsofbuildings-Part4-43:Protectionfor4B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)JISC60364-6低圧化気没備一第6部:検証注記対応国際規格:IEC60364-6,Low-voltageelectricalinstallations—Part6:Verification(IDJISC60695-11-10耐火性試験一電注記対応国際規格IEC60695-11-10,FJISC61558-1変圧器,電源装置,リアクトル及びこれに類する装置の安全性一第1部:通則及び試験注記対応国際規格:IEC61558-1,Safetyofpowertransformers,powersupplies,reactorsandsimilarJISC61558-2-6入力電圧1100V以下の変圧器,リアクトル,電源装置及びこれに類する装置の安全性一第2-6部:安全絶緑変压器及び安全絶緣変圧器を組み込んだ電源装置の個別要求事項及び試験注記対応国際規格:IEC61558-2-6,Safetyoftransformers,reactors,powersupplyunitsandsimilarisolatingtransformersandpowersupIEC60072(allparts),DimeIEC60417,GraphicalsymbolsforusIEC61508-3,Functionalsafetyofelectrical/electronic/progrEquipmentfortesting,measuringormonitoringofproこの規格で用いる主な用語及び定義は,次による。注記1アクチュエータには,ハンドル,ノブ,押しボタン,ローラ,プランジャなどがある。注記2操作手段には,人体部位(手,足など)の動きだけによって作動し,外部からの作動力を必注記33.43.も参照。周囲温度(ambienttemperature)5B9960-33:2012(注1)IEV:InternationalElectrotechnicalVocabulary(国注記1機器又は装置と一体形の受口とは,受口の覆い及び基部が,機器又は装置のハウジングによ二つ以上の制御機器を,同時に,並行して(同期していなくてよい)操作する行為。6B9960-33:2012(IEC60204-33制御機器(controldevice)制御回路に接続し,半導体製造装置の運転制御のために用いる機器(例えば,位置センサ,手動操作スイッチ,リレー,コンタクタ,電磁弁)。電力を消費する装置の制御を主目的とする装置であって,開閉保護,調節のための装置との組合せ,及びこれらの機器,装置,機器間接続,附属品,エンクロージャ及機械アクチュエータが停止過程にある間(完金に停止するまで)機械アクチュエータへの電力供給を維クラスⅡ装置(classIIequipment)次のような装置。一基本保護²)のための基礎絶緑及び故障保護³のための補助絶緑⁴「付加絶縁9].を備える装置。又は,注2)基本保護は,直接接触に対する保護機能をもつ。3)故障保護は,間接接触に対する保護機能をもつ。ここでいう故障は,絶緑故障(漏電)が主な危険区域(dangerzone)高電圧の設備,システム及び装置の危険な充電部分の周囲において,必要な最小空間距離によって接触を制限するだけであって,直接接触に対する完全な保護がない区域。注記1危険区域に入ることは,危険な充電部分に接触することと同等とみなされる。注記23.15の定義は,感電に関する危険区域を意味するものであって,JISB9700-1の3.10[危険注記3この規格において,危険区域という用注記4半導体製造装置には,入力電源電圧(例えば,200V)よりも遥かに高い電圧を内部で発生して半導体製造に用いるものがある。上の定義でいう“高電圧の設備,システム及び装置の危険な充電部分”は,装置内部で発生するこのような高電圧部分を指す。入力電源電圧が高電圧(交流では1000V以上)であることをいうのではない。7B9960-33:2012(注記高電圧の設備,システム及び装置においては,危険区域(3.15.の定義参照)に人ることは,危スイッチのアクチュエータ(例えば,ノプ,ハンドル)の指定の動きを,非弾性構造材(例えば,ばねに依存しないもの)を介して,直接作用させて達成する接点開離機能(JISC8201-5-1のK.2.2による。)。二重絶緑(doubleinsulation)ダク卜(duct)導体,ケーブル及びブスバーを保持又は保護するためのチャネル。注記電線管(3.10参照),ケーブルトランキング(3.8参照)及び床下チャネルは,ダクトの一形式半導体製造装置の部分として用いる,又は半導体製造装置において電気の使用取付け器具,機器,構成品,部品,器具など。及びこれ点を統合したシステん..スたンブりの金体。…非常停止機器(emergencystopdevice)EMO,緊急遮断(emergencyoff)実行したときに,追加の危険源を発生することなく,半導体製造装置を安全なシャットダウン状態に導囲われた電気装置区域(enclosedelectricalequipmentarca)電気装置(3.20の定義参照)が存在する空間又は場所であって,そこにアクセスできる人を電気作業員又は熟練電気技術者だけに限定する目的で,鍵又は工具を用いなければ扉を開くこともバリアを取り除くこともできないようにし,明瞭な警告標識を備えた区域。エンクロージャ,外郭(enclosure)外部の影響から電気装置を保護する機能及び全ての方向からの直接接触を防止する機能をもつ用品8B9960-33:2012(IEC60204-33:20注7JISC0365飞は,系統外遵電性部分上之用語を用いる。半導体製品を製造,測定,組立,及び試験するために用いる機械,及び関連の電気装置,機器,プロセスモジュールなど。加工される裂M(例えば,其板,半尋体)は含まない。注記1故障後,そのアイテムは障害(状態)になる。注》アイテムとは,ディペンダビリティの対象となる,部品,構成品,装置,機能ユニット,機器,9注記1障害は,しばしばアイテム自体の故障の結果であるが,事前故障がなくても障害が存在する危害(harm)危険源(hazard)注記1危険源という用語は,危険の発生源(例えば,機械的危険源,電気的危険源など)を明確にし,又は潜在的な危害の性質を明確にするために修飾語を付けて用いる感電の危険源,切断の危険源,毒性の危険源,火災の危険源など)。注記2この定義において,危険源は,次のものを想定している。一半導体製造装置の“意図する使用”の期間中,恒久的に存在するもの(例えば,危険な動きをする要素の運動,溶接工程中の電弧,不健康な姿勢,騒音放射,高温など),又は,一予期せずに現れ得るもの(例えば,爆発,意図しない起動及び予期しない起動の結果としての押し潰しの危険,破損の結果としての物体の放出,加速度又は減速度の結果としての危険電力(hazardouselectricalpower)注記この用語における“危険”は,電気エネルギーが姿を変えた力学的エネルギー又は熱エネルギっても,危険電圧(3.35及び3.37参照)に感電することは危険である。逆に,危険電圧以下で危険な充電部分(hazardous-live-part)注記この規格では,交流30V(ピーク値42.4V)又は直流60Vを超える電圧は,有害な感電ショ危険状態(hazardoussituation)人が少なくとも一つの危険源に暴露される状況。暴露されることによって,直ちに又は長期間にわたっB9960-33:2012(IEC60204-33危険電圧(hazardousvoltage)交流30V(ピーク値42.4V)又は直流60Vを超える電圧。絶緑故障(漏電)によって充電した露出導電性部分に人が触れること軌道変換器及び軌道導体からなり,ピックアップ及び対応するピックアッブ変換器が軌道導体に沿って移動でき,移動機械などへの給電を電気的又は機械的な接触なしに行う誘導式の電力供給システム。電気に起因するリスクを察知して危険源を回避できるように,熟練電気技術者から適切な助言又は指示一装置又は材料の損傷を防止する。充電部(livepart)通常の迅転状態において出圧が加わるように没汁されている対体及び母心性部分。中性線を个むが,通注記充電部は,必ず感電のリスクをもつとは限らない。注記3.1も参照。回路及び動力回路を備えて動くものであって,特に,材料の加工,処理,移動,こん(捆)包などの用途“機械類”という用語は,同一の目的を達成するために完全な統一体として機能するように配置され,注記この定義における構成品という用語は,広い意味の構成品であって,電気的構成品だけを意味保全(maintenance)注記3.60も参照。装置,構成品及びノ又は機器の識別(特徴の識別を含む。)を主目的とする記号,標示,刻印など。中性線,N(neutralconductor,N)三相Y結線(スター結線)の電源系統では,中性点と接続され電気エネルギーの伝送に寄与できる導体。注記中性点は,交流電源に対してだけ定義する。不用意な直接接触を防止するための構造物。意図的行動による直接接触を防止するものではない(IEV注記1オペレータの機能は,保全及び修理の機能とは異なる。注記2オペレータ機能の灾行に,小門的知識又は能力は必要としない。過電流(overcurrent)注記導体の定格値とは,許容電流値をいう。過負荷(回路の)[overload(ofacircuit)]回路における電流とその持続時間とに関係する量が,回路に障害がないときに回路の定格負荷を超える2本以上の導体の接続及び切り離しをするために導体端末に用いる用品(プラグ)。及びこれにかん(嵌)合する用品(ソケット)。注記プラグ·ソケット対の例には,次のものがある。一JISC8285に適合するプラグ及びコンセント,ケーブルカプラ又は機器用カプラ。注記感電保護手段は,やけど,火災のリスクを低減することもある。絶緑故障(漏電)時の感電保護のために相互に接続された保護導体及び導電性部分。保護導体(protectiveconductor)感電保護手段を形成するために,次のいずれかの部分を電気的に接続する保護ボンディング用導体。一露出導電性部分一主接地端子(表示記号：PE)注記感電保護手段には,例えば,電源自動遮断による保護がある。保護インターロック回路(protectiveinterlockcircuit)安全回路の一形式であって,指定の条件下で危険な運転を防止することを目的とし,安全関連信号を発ツール,鍵,可搬形はしご又は踏み台を用いる必要もなく,よじ登る必要もなく,オブスタクル又はバ強化絶緑(reinforcedinsulation)危険な充電部分の絶緑であって,二重絶緑と同等の感電保護性能をもつもの。注記強化絶緑は,基礎絶緑又は補助絶縁として単独に試験できない幾つかの絶緣保護階層によって故障した半導体製造装置を適切な作動状態に戻すための活動(3.45も参照)。漏電保護機器(residualcurrentdevice,RCD)正常状態においては電流の投入,通電,遮断の機能を実行し,漏電電流が指定の条件下で指定値を超え注記1漏電保護機器は,漏電電流の検出·判定,負荷電流の開閉などの目的に設計した各種の独立注記2GFCI(Ground-faultcircuitinterrup安全防護物(safeguard)安全防護(safeguarding)本質的安全設計方策によって合理的に除去できない危険源又は十分に低減できな注記保護インターロックは,安全防護の例である。安全回路(safetycircuit)半導体製造装置を安全な状態に保つため及び単一故障状態におけるリスク増注記保護インターロック川路及びEMO川路は,安全川路である。出気装道の操作又は保全作業をする人が立つ位()。短絡電流(short-circuitcurrent)電気回路における障害(絶縁故障など)又は誤接続による短絡の結果として発生する過電流(IEV短絡定格,短絡電流定格(short-circuitratingoftheelectricalequipment)装置内で短絡したときに外部電源設備から流入する短絡電流であって,指定の条件下で電気装置が耐え注記1装置内の全ての過電流保護機器の短絡定格がその保護機器まわることがなく,これらの保護機器によって適切な保護が達成されるように保護機器間の注記2半導体製造装置に複数の外部電源から給電する場合は,短絡定格は電源ごとに定義する。電気に起因するリスクを察知し危険源を回避できるように教育·訓練を受け,従事経験をもつ者(IEV補助絶緑(supplementaryinsulation)故障保護(間接接触保護)のために,基礎絶緑に追加して施す独立した絶緑(IEV195-06-08による。)。サプライヤ,供給者(supplier)半導体製造装置,関連装置,又は関連役務(サービス)を提供する者(例えば,製造業者,納入業者,据付業者,インテグレータ)。開閉機器(switchingdevice)注記開閉機器は,電流の開又は閉の片方又は両方の機能を実行する。注記この定義は,他の停止装置(例えば,機械的ブレーキ又は油圧ブレーキ)に対して特定の状態UPS,無停電電源装置(UPS,uninterruptiblepowersupply)ユーザ,使用者(user)4一般要求事項4.1一般考慮事項電気装置に関連するリスクは,半導体製造装置の総合的リスクアセスメントの一部として評価しなければならない。総合的にリスクを評価することによって,半導体製造装置の性能を許容できるレベルに保ちながら適切なリスク低減を達成する方策を策定し,危険源の影響を受ける可能性のある人に必要な保護方危険状態は次の原因から起こり得るが,これらだけに限定されるものではない。一感電又は電気火災を引き起こす可能性をもつ,電気装置の故障又は障害。一半導体製造装置の機能不全をもたらしリスクを増大させるような,制御回路(又は制御回路関連の構成品及び機器)の故障又は障害。一半導体製造装置の機能不全をもたらしリスクを増大させるような,給電設備側の障害又は停電,及び一安全機能の故障をもたらすような,滑り接触回路又は転がり接触回路の導通不良。一出気的妨凸(例えば,出気装説の内部又は外部で発生する出磁妨半又は睁化気妨背であって,半導体一例えば,感電又は傷害を招く予期しない機械的動きをもたらすような,蓄積エネルギー(電気的又は機械的)の解放。安全方策は,設計者が装置の設計段階で組み込むものとユーザが実施するべきものとの組合せである。設計及び開発の過程で危険源及びその危険源から生じるリスクを同定しなければなら設計によって危険源を取り除くことができない場合及びノ又はリスクを十分に低減できない場合は,リスク低減のために保護方策(例えば,安全防護物)を備えなければならない。更にリスクを低減する必要がある場合は,追加手段(例えば,警告手段)を備えなければならない。更に加えて,リスクを低滅するよ安全関連システムの一部として用いる電気機器,及び危険電圧又は危険電力を扱う電気機器は,意図する用途に適する機器を,機器サプライヤの指示に従って用いるものとし,次のいずれかを満足しなければ一関連するIEC規格(あれば)に適合する。一日本工業規格に適合する。及びノ又はこの規格が規定する構造要求及び試験要求に適合し用途に適す世気装ǔは,指定の花源に接続したとき正しく作動しなければならない。ǔ源仕様には,使川花源の和一交流電源:公称電圧値及び土許容差。一直流出源:公称出圧値及び土許容差。ここにおいて,正しく作動するということは,半導体製品の品質の良否とは関係しない。電気装置は,半導体製造装置の製造業者が指定する物理的環境条件及び運転条件に適していなければな一周囲温度範囲一設置場所の海抜一運転場所の湿度一電磁環境注記1包括的なEMC規格JISC61000-6-1又はJISC61000-6-2,並びに,IEC61000-6-3又はIEC指針を示している。個別製品規格(例えば,JISB9704-1,JISC4421,JISC8201-5-2,JISC1806-1)がある場合は,その個別規格がこれらの包括的EMC規格に優先する。B9960-33:2012(IEC60204-33出気装道は,迅忪を意図する場所に存在する川体及び液体の有背物質の侵入に対して適切な保護を備えなければならない。電気装置は,予想される化学物質の影響に対して適切な保護を備えるか,化学物質に電気装置が,放射(例えば,マイクロ波,紫外線,レーザ,X線)を受ける可能性がある場合は,電気危険状態を招くような振動,衝撃及びバンプ(半導体製造装置が発生するもの及び環境が発生するものを含む。)の影響は,適切な電気装置の選定,電気装置を機械から十分離して据え付けること,又は防振器電気装置は,輸送中及び保管中に,長時間では-25～+55℃,24時間を超えない短時間では+70℃までの温度,及び10～90%の相対湿度に耐え温度,振動及び衝撃による損傷を防止する適切な手段を用いることが望ましい。重くて,かさばる電気装置は,運搬時の取扱いのために適切な手段(例えば,運搬機械で取り扱うための手段)を備えなければならない。電気装置の据付けは,電気装置サプライヤの指示に従って行わなければならない。5入力電源導体の接続,断路器及び開路用機器半導体製造装置の電気装置は,可能な限り単一の電源に接続して用いることが望ましい。入力電源と異なる仕様の電源を装置の特定部分(例えば,入力電源電圧と異なる電圧で作動する電子機器)に用いる必要がある場合には,この電源は,可能な限り半導体製造装置の電気装置内の電気機器(例えば,変圧器,コンバータ)から供給することが望ましい。広い範囲にする大規模で複雑な半導体製造装置では,現場の給電設備事情によっては複数の入力電源を用いてもよい (5.3.1参照)。人力電源導体は,プラグ·コード接続[5.3.2d)参照]による場合を除き,電源断路器に直接接続する中性線を用いる場合には,そのことを据付図,回路図などの半導体製造装置の技術文書に明記し,16.1電気装置の内部で中性線(N)と保護ボンディング回路(PE)との間を接続してはならない。また,PE例外TN-C系統”においては,給電系と半導体製造装置との接続点で,N端子とPE端子とを接続しB9960-33:2012(IE商用電源ではTT系統が用いられており,TN系統は用いられない。給電系の接地につ入力電源接続用の全ての端子は,次のいずれかによって明確に識別しなければならない。給電系の接地系に応じて,外部の保護接地システム又は外部保護導体を接続するための端子を,入力電注記この要求は,入力電源導体に対応する外部の保護接地システム又は外部保護導体の接続を都合端子の大きさは,相導体の断面積に対応して表C.1～表C.5に示す断面積をもつ銅の保きる大きさでなければならない。各電源入力点では,外部保護接地システム又は外部保護導体を接続する端子に文字PE,及び/又はIEC60417-5019による次の記号を表示しなければならない(JISC0445を参入力電源断路器は,次の電源に対して備えなければならない。一半尊体製造装道への各入力出源。注記入力電源は,半導体製造装置に直接接続することもあり,給電システムを介して接続することもある。給電システムには,導体ワイヤ,導体バー,スリップリング機構,可とうケーブルシステム(リール巻き,懸架式),誘導式電源供給システムなどがある。一5.3.7に規定するUPSの出力。入力電源断路器は,断路側に操作したとき(例えば,電気装置を含む半導体製造装置に接触する作業を行うために)に,断路器の負荷側を電源から切り離し(断路)できなければならない。複数の電源断路器を備える場合は,危険状態を防止するために断路器間のインターロックを備えなけれ入力電源断路器には,次のいずれかの種類を用いなければならない。a)使用負荷種别AC-23B又はDC-23B.(JIS.C.8201-3.参照)の,ヒューズ付き又はヒューズなし断路用開B9960-33:2012(IEC6一負荷の定格電力は,3kW未満である(定格電流は16Aを超えないことが望ましい)。可能な遮断容量がある。過負荷状態(例えば,ローター拘束状態)で断路する場合は,少なくともa)給電系から電気装置を切り離し(断路)ができ,一つのオフ(断路)位置と一つのオン位置をもち,d)オフ(断路)位置でロックできる手段(例えば,南京従)を備えている。オフにロックされていると電源断路器は,次の一つ以上に適合するように取付けしなければならない。a)断路対象の出気装説上又は近傍に,断路器门体を少川のエンクロージャに入れて取り付ける。c)断路対象の電気装置のエンクロージャの最上部より下方に取り付ける。ただし,入力電源接続部に人が誤って接触すること又は誤って工具を落3mm,長さ15mmのプローブがエンクロージャの外から充電部に接触できないことを検証しなけれ例外公称消費電力が1500Wを超えない半導体製造装置の場合は,半導体製造装置から6m以内電源断路器の充電部へのアクセスを制限する扉には,電源断路器がオフ状態のときだけ扉を開くことができ,扉が閉じているときだけ断路器をオンにできるようなインターロックを備えなければならない。6.5に規定する方策によって危険な充電部に不用意に接触することがないように保護されている場電気作業員又は熟練電気技術者に限り電気装置サプライヤが指定するツール又は特殊機器を用いてドアイ例外6.5に規定する方策によって危険な充電部に不用意に接触することがないように保護されていて,電気装置が次のいずれかに該当する場合は,電源断路器のためのドアインターロックを備一负荷容量が5kVAに湍たない。5.3.7UPS電源の断路例外安全関連機器(EMO回路など)に給電するUPS出力,並びにデータログ,警報及び誤り訂正半導体製造装置の一部分だけ(例えば,電動機)を充電部から切り離し,他の部分には給電した状態で作業する必要がある場合は,個別の断路を必要とする回路ごとに追加の断路器を備えなければならない。一意図した用途に適し,使いやすい。一電気装置のどの部分又はどの回路を断路するものであるかを容易に識別できる(例えば,耐久性のあこれらの断路器には,不用意に又は誤って閉じられることを防止する手段(例えば,鍵)を備えなけれB9960-33:2012(IEC6一直接接触(6.2参照)。 こと(すなわち,扉,蓋,カバーなどを開くこと)は,次のa)～c)のいずれかの条件を満たさない限り可方策によって備わっている場合には,電気作業員及び熟練電気技術者がこのインターロックを無効化(バイパス)するための特別な機器又はツールを備えてもよい。断路されない危険な充電部分には,15.2.に規定する警告標識を備えなければならない。ただし,断路器が単独に専用のエンクロージャ内に実装されている場合の電源断路器の電源側端子はこの限りでc)エンクロージャを開けた状態でも全ての充電部が直接接触に対して少なくともIP2X又はIPXXBの保護等級で保護されている。この条件を満たせば,鍵又はツールを用いずに,及び充電部を断路せずにエンクロージャを開くことができてもよいが,この保護手段が取り外せるものである場合には,その取外しにツールを必要とし,ツールなしで取り外せるものである場合は,保護手段を取り外すと同時絶緑物によって保護する充電部は,破壊しなければ除去できない絶緑物によって完全に覆わなければならない。そのための絶緣物は,通常の使用状態で受ける機械的,化学的,電気的及び熱的ストレスに耐え注記塗料,ワニス,ラッカーの塗布及びこれらに類する方法を用いるだけでは,通常の運転条件に対する感電保護は,一般に不十分であると考えられる。電源断路後の残留電圧が60Vを超える充電部品は,放電が10秒以内にこのレベルまで放ǔできない化気装流は,次の条件を満足しなければならない。一蓄積電荷をもつ導体にアクセスできないように,ツールを用いなければ取り外せないパネルによって引き抜いたときに導体(例えば,ピン)が露出するプラグ類においては,放電時間は1秒以下でなけれにしなければならない。1秒間で放電せず,しかもIP2X又はIPXXB以上の保護ができない場合は,放電用の開閉機器を追加するか,適切な警告手段(例えば,16.2.による警告標識)を備えなければならない。注記UPSから給電する電圧は,電池電源とみなし,残留電圧とはみなさない。間接接触(3.38参照)に対する保護は,充電部と露出導電性部分との間の絶緑故障により危険状態が生電気装置の各回路又は各部分には,次の方策の少なくとも一つを実施しなければならない。注記1接触電圧が人体に及ぼす傷害のリスクは,接触電圧の大きさ及び接触時間に依存する。久ラスⅢがある。一電気的分離(6.3.2.3による)…注記2オートトランス(¹巻変圧器)には,出気的分離機能はない。一電気的に分離された回路の出力に接続される変圧器,電源装置,及びその他の構成品(機器)は,そ注記1TT系統は,電源の1点を直接接地L,電気装のPE導体は電源系統の接地椒には直接没置一電源及び接地系の種類(TT,TNなど)。漏電保護機器(漏電遮断器)の使用。注記PELV(保護特別低電圧)とは,定常状態及び単一故障状態(他の回路の地絡故障を除く。)に接触が予想されないときは,交流25V又は直流60V(リップルなし)。一その他の場合は,交流6V又は直流15V(リップルなし)。B9960-33:2012(IEC60204-33d)各PELV川路の導体は,他のいかなる川路の導体からも物理的に分離する。この要求事项が灾施できe)PELV回路に用いるプラグ及びコンセントは,次の事項を満足する。ープラグは,他の電圧系統のコンセントに捕入できない。ーコンセントは,他の電圧系統のプラグの捕入を許さない。6.4.2PELVの電源PELVの電源は,次のいずれかでなければならない。一安全絶緑変圧器と同等の安全度をも一電気化学的電源(例えば,電池),又はPELVより高い電圧回路から独立しているその他の電源(例えば,ディーゼル発電機)。電気装置(回路)が通電されている状態で較正,改修,修理,試験,調整,又は保全の作業をする必要性,及び危険な露出充電回路の近傍にある構成品を扱う作業の必要性が最小になるように電気装置を設計点検修理のための通切な安全手心(例えば,通切な保,護具,バリアの使川)を取扱说明片に記載しなけPELV以外の充電回路に人が不用意に接触することを設計によって防止しなければならない。作業者が一方,保全及び修理の作業のための適切なアクセスは,可能でなければならない。保全及び修理の作業者が通電中の電気装置にアクセスする必要がある場合は,充電部(PELV以外)に不用意に接触することがないように,オブスタクルによって保護しなければならない。電気的危険源(充電部)の上を越えて手を伸ばす,危険源の下を潜って手を伸ばす,及び危険源の周り又は近くに手を伸ばす必要がある簡所には,又はアークの原因になり得る場合には,落下物又は液の影響を阻止するためのオブスタクルを設けなけれ不用意な接触を防止するためのオブスタクルは,非導電性の材料で構成しなければならない。導電性材料で構成する場合は,オブスタクルを接地しなければならない。オブスタクルは,予見可能な過酷な扱い電気的試験のために必要な場合は,オプスタクルにプロープ開口を設けなければならない。プローブ開口は,被試験点の真上に設け,充電部に不用意に接触することがないようにしなければならない。プローブ開口は,必要なときに試験用プローブを試験点に適切にアクセスできるような開口にし,使用のための情報(17.2参照)に開口部を明示しなければならない。導電性材料のオブスタクルにプローブ開口を設ける場合は,開口の周囲を絶緑しなければならない。注記筒条7で規定する“装置”とは,主とLて单体の電気品(変压器，電動機,導体など)を意味する(3.20参照)。7.1一般事項簡条7は,次の影響から装置を保護するために必要な方策について規定する。一電動機の過負荷,及びノ又は冷却機能の故障一異常な温度一電源電圧の低下,又は停電一機械的部分の過速度一地絡電流(漏電電流)電気装置が正常状態又は単一故障状態にあるとき,回路電流が構成品の定格値又は導体の許容電流のいずれか小さい方を超える可能性がある全ての回路には,過電流保護を備えなければならない。保護機器の定格値又は設定値に関しては,7.2.9に規定する。注記7.2.2で規定する化源導体とは,出気装説の能源入力端子の外側の,一般には化気装ǔの構成に含まれない(電気装置ユーザが用意する)給電線をいう。電気装置のサプライヤは,電気装置へ給電する外部電源導体のための過電流保護機器を備える責任はな電気装置のサプライヤは,外部電源導体のための過電流保護機器の選定に必要なデータを据付説明書にTN系統又はTT系統においては,対応する相導体を中性線の断面積が対応する相導体の断面積と同等以上である場合には,この中性線には過電流検出器及び自動遮断器を設けなくてもよい。断面積が対応する相導体より小さい中性線の過電流保護には,JIsC60364-4-43の431.2.1を適注記IT系統は,電源系のいずれの点も接地しない給電系統である。附属書にを参照。保全作業で用いる装置に給電するためのコンセントを設ける場合は,コンセントに給電する回路に過電流保護を備えなければならない。過電流保護機器は,7.2.9に従ってこのコンセントB9960-33:2012(IEC6ない。過電流保護機器に流れる短絡電流に,電源以外(例えば,電動機,力率改善用コンデンサ)から流参照。)ンとする。このようにできない場合は,オン,オフの位置を明瞭に表示する。ヒューズの定格電流値,又はその他の過電流保護機器の作動電流(トリップ值)の設定値は,可能な限り小さく,予想される過電流(例えば,電動機の始動電流及び変圧器の突入電流)に対して適切な値でなければならない。これらの保護機器を選定する場合には,開閉機器を過電流による損傷(例えば,接点溶着)から保護することを考慮しなければならない。b)その他(導体及びプラグ·ソケット対の保護以外)の場合は,電動機が負荷になる場合を除き,流れる電流が,機器又は構成品の定格電流値の125%又は公称の全負荷定格の125%を超えないように保d)50/60Hzで作動する変圧器は,温度保護の有無に応じて表1又は表2に従って保護しなければならなする一次側保護機器の定格電流の最大值(%)する二次侧保護機器の定格電流の最大值(%)表2一温度保護のある変圧器の保護条件変圧器の%インピーダンス(%Z)側保護機器の定格電流の最大値(%)側保護機器の定格電流の最大値(%)表1及び表2に示す%率から計算した保護機器の定格電流値が製品の標準値に一致しない場合は,直近定格が240VAを超える電動機には,過熱保護を備えなけ電動機の過熱保護は,次によって達成することができる。一過負荷保護(7.3.2で規定),又は,注記1過負荷保護機器は,時間と電流に関係する量(Pt)が回路の全負荷定格を超えていることB9960-33:2012(IEC6特殊デューティの電動機を頻繁に起動又は制又は負荷より十分大きな定格の駆動装置)にも,過昇温になる可能性がある場合B9960-33:2012ィング(3.25参照)である。一絶緑故障が半導体製造装置の運転(作動)に与える悪影響。一敏感な電気装置への電磁妨害が半導体製造装置の運転(作動)に与える悪影響。敏感な電気装置のシャーシ①護ボンディングが必要な他の導出性部分(8.2)外部保護導体接続のための機械のPE端子(5.2)M①機能ボンディング(8.3)及び①保護ポンディング(8.2)の兼用外部の機能接地導体F---機能ボンディング!川(8.3)注記以前は,“機能接地導体”を“ノイズレス接地導体”と呼び,“FE端子”を“TE”と表記したことが図1一電気装置の等電位ボンディングの例a)敏感な電気回路はシャーシ(筐体)に接続する。一その接続端子には次の図記号IEC60417-5020を表示しなければならない。構成一PE端子(5.2参照)。含む。)。一電気装置の露出導電性部分及び導電性構造部分。一半導体製造装置の構造を形成する外部導電性部分。半導体製造装置の導電性構造部分が故障電流の経路になる場合は,附属書A又は附属意.B.の自動遮断の要求事項を満たす十分低いインピーダンスをもつ構造部分にするか,追加保護ボンディング導体を備えなければならない。0.1Ω以下は,十分低いインピーダンスであると考えられる。B9960-33:2012(IEC60204-33IT系統の電源を用いる場合,導電性構造部分は,保護ボンディング回路の一部となるようにして,更に絶緑監視機器を備えなければならない。大規模な半導体製造装置においては,地絡監視機器が必要になる次のように取り付けられていることによって危険源にならない露出導電性部分は,保護ボンディング回一接触面積の大きい接触が起こり得ない,又は露出導電性部分を握ることができない。露出導電性部分一露出導電性部分が,充電部間との接触及び絶緣故障が起きないような位置にある。注記この規定は,例えば,ボルト,リベット,銘板,ケーブル固定金具にも適用する。6.3.2.2に適合する電気装置(クラスⅡ電気装置)の導電性構造部分は,保護ボンディング回路に接続す6.3.2.3に従う電気装置(電気的に分離した電気装置)の導電性構造部分は,保護ボンディング回路に接保,護導体は,鲥導体とすることがましい。注記欧州においては.断面積16mm²以下の銅以外の保金属裂の可とう性ダクト又は非可とう性ダクト並びに金のケーブル外装を保護母体として川いてはならない。ただし,金属ダクト及び全ての接続ケーブルの金属外装(例えば,鋼帯外装,鉛被)は,保護ボどのような理由(例えば,定期保全)で電気装置の部分を取り外した場合にも,残った部分の保護ボンポンディング簡所(接続部)は,例えば,機械的,化学的,電気化学的な影響によって電流容量が損な注記アルミニウム又はアルミニウム合金のエンクロージャ及び導体を用いる場合は,電食の可能性電気機器が,蓋,扉,又はカバーに取り付けられている場合,保護ポンディング回路の電気的連続性を確保しなければならない。電気的連続性を確実にするために保護導体(8.2.2参照)を用いることが望ましい。保護導体を川いない場合は,低い抵抗になるように没汁した縮結部品,丁飛又はしゅう動接点を川い8.2.3.4保護導体の電気的連続性使用中に損傷を受ける可能性があるケーブル(例えば,可とう性の引きずりケーブル)の中の保護導体は,適切な方策によって電気的連続性を確保しなければならない。電気的連続性を保証する方策がない場合は,電気的連続性を監視しなければならない。8.2.4保護ボンディング回路からの開閉機器の排除保護ボンディング回路には,開閉機器及び過電流保護機器(例えば,回路遮断器,ヒューズ)を捕入し保護ボンディング導体を切り離すいかなる手段も備えてはならない。ただし,次の場合を除く。a)囲われた電気作動域内にあり,ツールを用いなければ切り離せない試験用又は測定用のリンク。b)通常運転中シャーシを非接地状態に保つ必要があるエンクロージャ。ただし,アクセスするときは,その前に自動的にシャーシを接地する手段が備わっていて,この自動接地手段は単一故障の状態においてもその機能が失われない。c)プラグ·ソケット対によって保護ボンディング回路を切り離しできる。ただし,保護ボンディング回路用接点は,充電導体用接点よりも接続時には先に閉じ,切り離し時には後に開くことが保証されている。このことは,取外し可能なプラグインユニットにも適用する(13.4.5参照)。8.2.5保護導体の接続点全ての保護導体の端末の接続は,13.1.1に従わなければならない。保護導体接続点を保護ボンディング以外の目的,例えば,器具又は部品の取付け又は接続のために用いてはならない。各保護導体接続点は,次の図記号IEC60417-5019又は文子PE(図記号を優先)を表示するか,緑と此の2色組合せの色表示をするか,又はこれらの組合せを用いて識別しなければならない。8.2.6移動式の半導体製造装置電源を搭載する移動式の半導体製造装置では,感電保護のために,保護導体,電気装置の導電性構造部分,露出導熏性部分,及び半導体製造装置の構造を形成する外部導電性部分の全てを,保護ボンディング端子に接続しなければならない。移動式の半導体製造装置を外部電源にも接続するときは,外部保護導体をこの保護ボンディング端子に接続しなければならない。注記化気装ǔが同定式,移動式又は可搬式のいずれであるかにかかわらず,心気エネルギーを内部電源から供給するものであるとき,及び外部電源を接続しない(例えば,搭載のバッテリチャージャを外部電源に接続しない)ものであるときは,そのような電気装置には外部保護導体を接就する必要はない。8.2.7コード·プラグ接続の電気装置の接触電流の制限コード·プラグ式ǔ源接続の心気装臘は,接触可能な全ての露出導化性部分と出源の保護接地導体との間に1500Ωの抵抗を接続したとき,抵抗に流れる電流が3.5mAを超えてはならない。この検証は,18.3による。B9960-33:2012(IEC60204-33制御回路の共通導体(開閉制御接点を揮入しない側の導体)を保護ポンディング回漏えい電流の大きい電気装置を用いる場合,電気装置の入力電源を,分離巻線をもつ専用の電源変圧器から供給することによって,影響をその電気装置内だけに制限することができる。この場合,保護ボンデ制御回路用電源は,電気装置に内蔵する電源装置ユニット又は制御回路用変圧器から供給することが望ましい。この変圧器は,分離巻線形(複巻)でなければならない。注記このことによって,障害(短絡,漏電)及びサージによる過電流を制限し,EMC機能を実現す安全回路は,危険でない電圧(交流.30V以下,真流60Y以下。3.37参照。)及び危険でない電力(240.YA内感す系焦源ユニットによって交流化源から変換した市流化源を川いる制御川路の一端を保護ボンディング回路(8.2.1参照)に接続する場合は,その内蔵電源ユニットの入力交流電源は,変圧器の分離巻線か注記IEC61558-2-16に適合する分離巻線形(複巻)変圧器を川いるスイッチング心源は,この要求起動機能は,関連回路にエネルギーを与える(電気を通じる)ことによって作動するものでなければな半導体製造装置の全部又は一部に適用できる停止機能には,次の三つのカテゴリがある。一停止カテゴリ0機械アクチュエータの電源を即時に遮断することによる停止(すなわち,非制御停一停止カテゴリ1機械アクチュエータが停止するまで給電し続け,停止が完了したら電源を遮断する制御停止(3.13参照)。一停止カテゴリ2停止完了後も機械アクチュエータに給電を続ける制御停止。半導体製造装置は,その種類及び用途に応じて複数の運転モードをもつことがある。モード選択によって危険状態が起こり得る場合は,適切な手段(例えば,キースイッチ,アクセスコード)によってモード注記制限手段を設けることは,モード選択を熟練者及び指示された作業者に限ることによって不用モードを選択しただけで機械が運転を開始してはならない。機械の起動には,モード選択とは別の起動全ての運転モードにおいて,関連する安全機能及び/又は保護方策が機能しなければならない。選択したモードは,表示しなければならない(例えば,モードセレクタの選択位置表示,表示灯,ディ9.1.6複数の操作盤半導体製造装置に複数の操作盤を用いる場合は,異なる操作盤からの指令が危険状態を招かないようなこのために,同時に操作可能な操作盤を一つに限る必要がある場合は,常に一つの操作盤だけが有効に作盤が半導体製造装置を制御しているかを,半導体製造装置のリスクアセスメントによって決めた適切な複数の操作盤を備える場合は,半導体製造装置のリスクアセスメントによる別の要求がない限り,停止半導体製造装置には,EMO回路を備えなければならない。EMO回路は,操作の実行によって,新たな例外1ǐ相ù源を川いる半導体製造装聞であって,負荷容最が240VA以下,対地純圧が250V未渦で,危険源が電気的なものに限られ,電源断路器が通常のオペレータ位置から3m以内に存在する場合には,EMOを備えなくてもよい。例外2ǐ独使川ではなく統合システムに紅み入れて川いる出気装微であって,化気装微個別のEMOを必要としない電気装置は例外とする。このような電気装置においては,電気装置の据付説注記1安全なシャットダウンの意味には,危険なエネルギー源の遮断,並びに危険な物質(材料)の除去又は適量化が含まれる。危険なエネルギー及び物質には,電気的危険源,化学的危険源,及び放射性の危険源を生むものが含まれるが,これらだけには限らない。EMO回路が作動したら,電気装置内の全ての危険電圧及び240VAを超える電力を遮断しなければならない。ただし,EMO機能の作動及びシャットダウン後のリセット機能の作動のために必要な電圧及び電力は,その電源が電気装置の主エンクロージャ内にある場合に限り残してもよい。例外安全関連機器(例えば,消火システム)及びデータ収集用コンピュータシステムの電源は,EMOEMO作動後に危険電圧及び危険電力が残存する全ての構成品は,明瞭な表示を備え,ユーザ用文書に明記し,不用意な接触が起こらないように保護しなければならない。B9960-33:2012(IEC6c)半導体製造装置のシャットダウンは,制御機器(例えば二ン冬々名)から励磁エネルギーを除去す半導体製造装置がどのような理由(例えば,制御不能,電源障害,電池交換,ケーブルレス制御の信号合を出し,かつ,維持する制御装置。”指令を出し,かつ,維持するために,両手による同時操作(並行操作)を少なくとも必要とす一両手によって並行操作する2個の制御機器(アクチュエー名)からなる。一危険な状態で運転を続けるためには,常に並行した連続操作を必要とする。一危険な状態での運転を継続中に一方又は両方の制御機器(プクチュエータ)から手を離すと半導タイプⅡ:両方の制御機器(アクチュエー名)から一度両手を離した後でなければ半導体製造装置の再起動ができないようにしたタイプ1の制御。一二つの制御機器(ア々チュ工ー名)を一定の時間(最大0.5秒)内に操作しなければならない。一制限時間が過ぎると,両方の制御機器(アクチュエー名)から一度両手を離さなければ再起動で“連続的に操作するとき機械が機能することを許可するように,起動制御に連携して用いる補イネーブル制御(10.9も参照)は,次のような手動の制御機能インターロックである。b)イネーブル操作をしていないときは,一停止機能が働き,一機械の運転始動を防止する。イネープル別御は,例えば,イネーブル機能を一度解除しなければ機械の迅転を小州できないようにす単な手段(例えば,イネープルボタンをテープで押さえること)によってイネーブル機能の無効化りがで注¹1)イネーブル機能の無効化の意味には,禁止されているイネーブル状態を故意に作り出すことも9.3.5ケーブルレス制御半導体製造装置と操作盤との間の指令及び信号の伝送にケーブルレス技術(例えば,電波,赤外線)を注記ここに述べることは,有線(例えば,同軸,ツイストペア,光ファイバー)のシリアルデータケーブルレス制御は,ケーブルレス制御系の故障又は不適切な作動がシステムの安全に重大な影響を及各ケーブルレス操作盤には,どの半導体製造装置がそのケーブルレス操作盤で制御されるかが明確に分9.4保護インターロックB9960-33:2012(IEC60204-33ǐ一故障によって許容できないリスクを生じる場合は,そのり一故障による被背から保護するための保保護インターロック回路は,危険でない電圧·電力を用いて回路が正しく作動するよ保護インターロック回路は,その保護機能が作動したとき半導体製造装置の関連部分が自動的に安全状注記電気品の保護を主機能とする機器(例えば,回路遮断器,ヒューズ)は,保護インターロック保護インターロック回路をリセット(手動又は自動)することによって,半導体製造装置が危険状態に保護インターロック回路が作動したことは,主操作盤に表示しなければならない。注記1表示には,保護インターロックが作動した原因を示すことが望ましい。例外保護インターロック回路がEMOを始動するものであるか,操作盤の電源を遮断するものである場合は,保護インターロックが作動したことを表示しなくてもよい。保護インターロック回路は電気機械的機器(非半導体機器)を用いて構成することが望ましいが,適切な規格に適合し川途に適することが評価されている半母体機器は川いてもよい。川途に適するかどうかの評価には,機器の信頼性及び起こり得る異常状態(過電圧,不足電圧,停電,過渡過電圧,電圧ドリフト,電磁妨害イミュニティ,静電気放電,熱サイクル,湿度,ほこり,振動,雑音,ネットワークとの接続状態など)を考慮に入れることが望ましい。例外ソフトウェア(組込ソフトウェアも含む。)を用いる保護インターロック機器であって,これらの規格に適合しないものは,治療を要するような傷害を及ほさない程度の危険状態から保護す注記…解除(overriding)は,り