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文档简介
3三氟化硼[10BF3]气体本文件规定三氟化硼[10BF3]气体的技术要求、检本文件适用于以三氟化硼为原料,采用精馏等方法获得的三氟化硼[10BF3]气体。氩T/ICMTIAESG0021-2022高纯气体采样通则4一种元素的同位素混合物中,某特定同位素的原子数占该元素的总原子数百分比,以在给定样品中,同一元素的重同位素的原子数与轻同位素的原子数之丰度已知的硼酸,有证标准样品,用作硼同位素丰度测4技术要求三氟化硼[10BF3]气体的质量应符合氮(N2)含量(摩尔分数)/10-6氧+氩(O2+Ar)含量(摩尔分数)/10-6≤二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数)/10-65二氧化硫(SO2)含量(摩尔分数)/10-6≤≤≤≤≤≤≤12三氟化硼[10BF3]气体采样安全应符合T/ICMTIAESG0021-2022的相关规定。三氟化硼[10BF3]气体纯度按式(1)计算:-4………(1)——三氟化硼[10BF3]气体纯度(摩尔分数10-2;——氧+氩含量(摩尔分数10-6;),),),6.2氮、氧(氩)、二氧化碳、四氟化碳、一氧化碳、甲烷含量的测定按GB/T28726规定的切割进样方法,采用配备带切割装置的氦离子化检测6组分含量的摩尔分数为(1~10)×10-6,平衡气为氦。开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样——样品气中被测组分的含量(摩尔分数4;(h)——样品气中被测组分的峰面积,单位为平方毫米(mm24:(h)——气体标准样品中相应已知组分的峰面积,单位为平方毫米(mm2碳和甲烷含量。当以上测定结果有异议时,以本标准规定的方法为仲裁6.3四氟化硅、氟化氢、二氧化硫含量7式中:A(v)和T(v)分别为在波数(v)处的吸光度和透射率,A(v)是没有单位的;a(v)SiF4特征峰波数:1040~1020cm-1;分辨率:0.5HF特征峰波数:4040~4030cm-1;分辨率:0.5cm-1;气体池温度:25SO2特征峰波数:1138~1120-6相对偏差不大于5%,取其平均值,制作以四氟8用氦气对气体池进行抽空/吹洗(≥3次抽空完毕后,将气温降温至25°C,待用。氟化硼[11BF3]样品中四氟化硅的含量。硼同位素丰度的测量常使用热电离质谱法(TI-MS)和电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)。其中采用电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)测定三氟化硼[10BF3]的10B丰度。硼同位素标准样品:有证标准物质,建议使用NISTSRM951a或9按照附录B的取样方式,在吸收瓶中吸收三氟化硼[10B载气流/(L·min-1)分析室真空<按电感耦合等离子质谱仪(ICP-MS)说明书开启仪器,调(3)式计算质量偏移校正系数K,重复进样测定两吸收,反应方程式为:10BF3+3H2O=H310BO3+3HFAm——样品中硼同位素丰度比测定值(10B:11BK——质量偏移校正系数。采用热电离质谱法(TI-MS)测定三氟化硼[10BF3]的10B丰度。钠混合溶液,点于样品带上,通过热电离质谱仪测定NaBO2+离子来得到硼同位素节聚焦参数,直至稳定的NaBO2+离子流。维持离子流强度不低于2Rs测=R(89/88)−0.00078……………(5)硼酸11B/10B通过测量NIST根据质荷比进行分离,根据元素质谱峰强度测定样品中相应元素的超级纯硝酸(ρ20=1.42g/m2)质谱干扰主要来源于同量异位素、多原子、双电荷离子等,可采用最优化仪器条件、干扰校正+82M4)取样根据仪器使用说明书调整仪器各项参数指标,待仪器稳定后开始测定。推荐的测定条件如下:Ci——吸收液中砷离子的含量,单位为微克每克(μg/gYCw——氮气中砷离子的含量,单位为微克每克(μg/gppmw;ci——第一瓶吸收液中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/gc,——空白溶液中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/gC2——第二瓶吸收液中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/g——氮气的采样体积,单位为升(L6.5.6.310BF3气体中砷离子含量的测试10BF3气体中砷离子的含量时,调使用氮气作为配气,与10BF3气体同步进入吸m——通过气体吸收装置的试样气体的质量,单位为克(gm4——吸收系统的终止质量,单位为克(gCi——10BF3气体中砷离子的含量,单位为微克每克(μg/gppmw;Co——空白溶液中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/gC1——第一瓶吸收液中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/gC2——第二瓶吸收液中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/gCN——氮气中砷离子的浓度,单位为微克每克(μg/gm0——吸收液吸收前的质量,单位为克(gm1——第一瓶吸收液吸收后的质量,单位为克(gm2——第二瓶吸收液吸收后的质量,单位为克(gVq——氮气采样的体积,单位为克(g7.1.1三氟化硼[10BF3]气瓶的使用、运输及贮存应符合TSG23气瓶安全监察规程和《危险化学品7.1.2推荐使用经过内表面处理的气瓶,瓶阀推荐使用CGA7.1.4三氟化硼[10BF3]的充装应符合G7.1.6充装三氟化硼[10BF3]的气瓶瓶阀及瓶颈螺纹连接处不得泄漏。必须戴好安全帽。7.1.7返厂三氟化硼[10BF3]气瓶在充装前应进行加热、抽空处理。7.1.8三氟化硼[10BF3]出厂时应附有质多物质钠、钾和钙以及烷基硝酸酯发生反应,有水存在时浸蚀许7.2.2该物质腐蚀眼睛、皮肤和呼吸道。吸入气体可能引起7.2.3急救时用大量水冲洗,然后脱驱除烟雾,个人防护用具:全套防护服包括自空。设备、仪器在通三氟化硼[10BF3]气体之前,要用干燥的载气吹洗,管线要经过检漏。7.2.7三氟化硼[10BF3]气体生产企业应为用户提供安全技术说明书。别为装有100mL吸收液的吸收瓶,在取样管线与缓冲瓶及吸收瓶连接前,先用粒过滤器过滤后的高纯[1]中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局.中华人民共和国国家标准的结构和编写:GB/T1.1-200[3]GB/T4842-2017,氩[S].[4]GB/T4844-2011,纯氦、高纯氦和超纯氦[S].[5]GB/T8984-2008,气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定指南[S].[13]GB/T28726-2012,气体分析氦离子化气相色[14]GB/T34972-2017,电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法[S].[15]GB/T37750,稳定同
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