洁净室施工及验收规范

洁净室施工及验收规范一、施工前准备（一）材料要求建筑装饰材料墙体和吊顶材料应选用不产尘、不吸附微粒、易清洁且防火性能良好的材料。例如，常见的彩钢板，其芯材如岩棉、聚氨酯等，不仅具备良好的保温隔热性能，还能满足洁净室对材料的洁净要求。彩钢板的表面应平整光滑，涂层均匀，无划伤、凹坑等缺陷，以确保在使用过程中不会因表面问题而积尘或滋生微生物。地面材料需根据洁净室的使用功能和荷载要求选择。对于有防静电要求的洁净室，可采用防静电地板，其表面电阻应符合相关标准，一般在10⁶-10⁹Ω之间，能有效导除静电，防止静电对精密设备和产品造成损害。若洁净室对耐磨性要求较高，可选用环氧自流平地面材料，其具有良好的耐磨性、耐腐蚀性和整体性，表面平整光滑，便于清洁和消毒。密封材料用于洁净室嵌缝的弹性密封材料必须有详细的产品说明书，注明成份、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法，同时具备产品合格证书。严禁使用过期或未经鉴定的产品。密封材料应具有良好的弹性、耐老化性和密封性，能有效防止灰尘、微生物等通过缝隙进入洁净室。例如，硅酮密封胶因其优异的耐候性和密封性能，在洁净室施工中被广泛应用于墙体、门窗、吊顶等部位的缝隙密封。净化设备材料高效过滤器作为洁净室净化空气的关键设备，其滤纸、框架等材料应符合相应的标准。滤纸应具有高效的过滤性能，对0.3μm粒径的粒子过滤效率可达99.97%以上（以H13级高效过滤器为例），且具有良好的耐温、耐湿性。框架材料一般采用铝合金或不锈钢，确保结构牢固，密封性好，防止未经过滤的空气泄漏。净化空调系统的风管材料应根据设计要求选用，当设计无明确要求时，优先采用冷轧钢板或优质镀锌钢板。镀锌钢板表面应镀锌均匀，无锌层脱落、划伤等缺陷，以保证风管在长期使用过程中不会生锈，影响空气质量。对于有特殊要求的洁净室，如生物安全实验室，风管材料还需满足相应的生物安全标准，如采用不锈钢风管，防止微生物滋生。（二）设备准备净化空调设备选用的净化空调机组应具备良好的空气过滤、温湿度调节和空气输送功能。其制冷量、制热量、风量等参数应根据洁净室的面积、高度、人员数量以及工艺设备的散热量等因素进行精确计算和选型。例如，对于面积为500㎡、高度为3m的洁净室，若室内人员数量为20人，工艺设备散热量为50kW，经过计算，可能需要选用一台风量为15000m³/h、制冷量为80kW的净化空调机组。净化空调机组的安装应严格按照产品说明书进行，确保机组的水平度和垂直度符合要求。机组与风管的连接应严密，采用密封垫或密封胶进行密封，防止漏风。在安装过程中，要注意保护机组内部的过滤器、换热器等部件，避免受到损坏。空气过滤器根据洁净室的洁净度等级要求，选择合适等级的空气过滤器。如对于万级洁净室，通常采用初效、中效和高效三级过滤系统。初效过滤器一般安装在新风口，用于过滤5μm以上的大颗粒灰尘，其过滤效率应不低于80%（计重法）。中效过滤器安装在空调机组的中间段，用于过滤1-5μm的颗粒灰尘，过滤效率一般在60%-95%（比色法）。高效过滤器安装在送风口末端，是保证洁净室洁净度的关键设备，其对0.3μm粒径粒子的过滤效率应达到相应等级标准。在安装空气过滤器前，应对过滤器进行外观检查，确保滤纸无破损、框架无变形。安装时，要注意过滤器的气流方向，正确安装在过滤器框架内，并采用密封胶或密封条进行密封，保证过滤器与框架之间的密封性，防止泄漏。其他设备对于有特殊工艺要求的洁净室，如电子芯片制造洁净室，可能需要配备超纯水制备设备、高纯气体供应设备等。超纯水制备设备应能生产出符合工艺要求的高纯度水，其电阻率一般要求在18MΩ・cm以上。高纯气体供应设备应能提供纯度高达99.999%以上的氮气、氢气等气体，以满足芯片制造过程中的工艺需求。这些设备的安装应严格按照工艺流程和设备说明书进行，确保设备之间的连接正确，运行稳定。洁净室的照明设备应选用无眩光、无频闪、易清洁的灯具。灯具的布置应满足洁净室的照度要求，一般洁净室的照度不低于300lx，对于有特殊视觉要求的区域，照度可适当提高。在安装照明灯具时，要确保灯具与吊顶之间的密封良好，防止灰尘进入灯具内部。（三）场地准备施工现场封闭管理在洁净室施工前，应对施工现场进行封闭管理，设置明显的施工标识和围挡。围挡的高度应符合相关安全规定，一般不低于1.8m，确保施工现场与外界环境有效隔离，减少外界灰尘、杂物等对施工环境的影响。同时，在施工现场的出入口设置门禁系统，对进出人员、设备和材料进行严格管理，防止未经许可的人员和物品进入施工现场。场地清洁与清扫对施工现场进行全面清洁，清除场地内的杂物、垃圾和灰尘。在施工过程中，应定期进行清扫，特别是在进行吊顶、墙体等隐蔽工程施工前，要确保隐蔽空间内无杂物、灰尘。对于新建建筑，在主体结构施工完成后，应对建筑物内部进行彻底的清扫，清除残留的建筑垃圾和灰尘。对于改建工程，在拆除原有设施后，要对现场进行全面清理，为洁净室施工创造良好的环境。临时设施搭建根据施工需要，搭建必要的临时设施，如办公室、仓库、工人休息室等。临时设施的搭建应符合安全、卫生和防火要求。办公室应配备必要的办公设备，用于施工管理人员的日常办公和资料管理。仓库用于存放施工材料和设备，应保持干燥、通风，对易受潮、易损坏的材料和设备要进行妥善保管。工人休息室应设置必要的休息设施，为施工人员提供舒适的休息环境，同时要注意保持休息室的清洁卫生。二、洁净室施工规范（一）建筑装饰施工施工顺序洁净室建筑装饰施工应在屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装完毕，主体结构验收后进行。其施工顺序一般为：留洞打底、各专业安装（如电气、管道等）、内门窗安装、修补洞口及周边、基层打底、饰面抹灰和罩面板工程、嵌缝处理、油漆刷浆工程和裱糊工程。在施工过程中，各工种之间应密切配合，按照既定的施工顺序进行，先行施工的工种不得妨碍后续施工的进行。墙体施工墙体板材安装应垂直、平整，位置准确。在安装前，应根据设计要求进行放线，确保墙体的垂直度偏差不大于0.2%。墙体与吊顶板和相关墙体板的交接处，应采取防开裂措施，如采用弹性密封材料进行密封或设置伸缩缝。对于医药洁净室的洁净区，墙与墙、墙与地、墙与顶之间需采用铝合金圆弧过渡，内圆弧、外圆弧的半径一般不小于50mm，以减少积尘和便于清洁。墙与顶之间的圆弧应固定可靠，避免因吊顶上人而脱落，圆弧内支架应满布。墙体面板接缝间隙应一致，每条面板缝间隙误差不大于0.5mm。安装过程中，应使用专用的密封胶对缝隙进行密封，确保墙体的气密性。墙体面板上的电气接线盒、控制面板和管线穿越处的各种洞口，应位置正确、边缘整齐、严密、清洁、不产尘，并应以不燃或难燃材料封堵，防止灰尘和微生物通过洞口进入洁净室。吊顶施工吊顶应按房间宽度方向起拱，起拱高度一般为房间宽度的0.1%-0.3%，使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整。吊顶周边应与墙体交接严密，采用密封胶进行密封。吊顶的吊杆应垂直安装，间距应符合设计要求，一般不大于1.2m。吊杆与主体结构的连接应牢固，采用膨胀螺栓或焊接等方式进行固定。吊顶板材的安装应平整，不得有变形、凹陷等缺陷。板材之间的接缝应紧密，采用密封胶密封。在安装吊顶板材时，要注意保护板材表面，避免划伤、污染。对于有上人要求的吊顶，应设置专用的检修通道，确保人员在检修过程中不会对吊顶造成损坏。地面施工洁净室地面垫层下应铺设0.4-0.6mm厚的防水薄膜作防潮层，接头处搭接50mm，用胶带粘牢，防止地下水汽渗透到地面，影响地面材料的性能和洁净室的环境。混凝土浇筑时分仓线不宜通过洁净室，避免分仓缝处积尘和滋生微生物。当采用卷材面层或涂料面层时，应确保基层含水率符合要求，一般不应大于6%-8%。施工前，应对基层进行处理，使其表面平整、坚实。卷材面层或涂料面层应与垂直壁板交接处进行密封处理，防止灰尘从交接处进入洁净室。踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2-3mm，当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角，其圆角半径R应大于等于50mm，当踢脚板与地面材料不同时，应用弹性材料嵌固。门窗施工门窗表面应不发尘、不霉变、不吸附污染物、易清洁和消毒、平整、光滑。门窗上的玻璃均应为固定型，避免采用可开启式玻璃，减少灰尘进入洁净室的途径。门窗槽口对角线长度的允许偏差应为3mm，门窗横框水平度的允许偏差应为2mm。门窗安装时，缝隙应以密封材料填嵌和密封胶密封，确保门窗的气密性。玻璃夹层空间应清洁、玻璃表面应明亮。在安装门窗前，应检查预留洞口的尺寸和位置是否符合设计要求，洞口应平整、严密、清洁、不产尘。安装完成后，应进行门窗的开启和关闭试验，确保门窗开关灵活，密封良好。（二）净化空调系统施工风管制作与安装风管和部件的板材应按设计要求选用，当设计无要求时，应采用冷轧钢板或优质镀锌钢板。镀锌钢板的镀锌层应均匀，不得有锌层脱落、划伤等缺陷。风管的制作应符合现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》的有关规定，风管的咬口应紧密，宽度应一致，折角应平直，表面应平整，凹凸不应大于5mm。风管安装前，应对风管进行清洗，去除风管内的灰尘、油污等杂质。安装时，应确保风管的水平度和垂直度符合要求，水平风管的水平度偏差不应大于3mm/m，总偏差不应大于20mm；垂直风管的垂直度偏差不应大于2mm/m，总偏差不应大于20mm。风管与风管、风管与部件之间的连接应严密，采用密封垫或密封胶进行密封，防止漏风。对于净化空调系统的风管，还应进行漏光检测和漏风量测试。漏光检测应在黑暗环境下进行，用强光手电筒照射风管的咬口、接缝、法兰及其连接处，观察是否有光线泄漏。漏风量测试应按照相关标准进行，采用专用的漏风量测试设备，对风管系统的漏风量进行检测，确保漏风量符合设计要求。空调机组安装净化空调机组的安装应在基础验收合格后进行，机组的基础应平整、牢固，基础高度应符合设计要求。机组安装时，应确保机组的水平度和垂直度符合要求，水平度偏差不应大于1mm/m，垂直度偏差不应大于2mm/m。机组与风管、水管的连接应正确，密封良好，防止漏风、漏水。空调机组的过滤器、换热器、加湿器等部件应安装正确，固定牢固。在安装过滤器时，要注意过滤器的型号和规格应与设计要求一致，安装方向应正确，过滤器与框架之间的密封应严密。换热器的安装应保证其换热效果，管道连接应正确，无泄漏。加湿器的安装应符合产品说明书的要求，确保加湿效果良好，且不会对空气造成污染。空调机组安装完成后，应进行调试。调试内容包括风机的启动、运行，检查风机的转向是否正确，运行是否平稳，有无异常噪声和振动。同时，要对空调机组的温湿度调节功能进行调试，通过调整空调机组的制冷、制热、加湿、除湿等设备的运行参数，使洁净室内的温湿度达到设计要求。高效过滤器安装在安装高效过滤器前，应对洁净室进行全面清洁，确保室内无灰尘、杂物。高效过滤器应在安装现场拆开包装，检查过滤器的外观是否完好，滤纸有无破损、框架有无变形等缺陷。安装时，应注意过滤器的气流方向，确保与设计要求一致。高效过滤器与框架之间应采用密封垫或密封胶进行密封，密封垫的压缩量应控制在1/3-1/2之间，确保密封严密，防止泄漏。过滤器的安装应平整、牢固，与框架之间的缝隙应均匀。安装完成后，应对高效过滤器进行检漏测试，采用扫描法或光度计法等方法，对过滤器的边框、滤纸等部位进行检测，确保过滤器的泄漏率符合相关标准要求。（三）电气系统施工电线电缆敷设洁净室内的电线电缆应采用低烟、无卤、阻燃的电线电缆，以减少火灾发生时对人员和环境的危害。电线电缆的敷设应符合设计要求，一般采用线槽、线管等方式进行敷设。线槽、线管应安装牢固，横平竖直，线槽、线管的连接处应紧密，采用专用的连接配件进行连接，防止灰尘进入线槽、线管内部。电线电缆在敷设过程中，应避免交叉、缠绕，电线电缆的弯曲半径应符合相关标准要求，一般不小于电线电缆外径的6倍。电线电缆与电气设备、器具的连接应牢固，采用压接或焊接等方式进行连接，确保接触良好，导电性能可靠。在电线电缆穿越墙体、楼板等部位时，应采用防火、密封材料进行封堵，防止火灾蔓延和灰尘进入。照明系统安装洁净室的照明灯具应选用无眩光、无频闪、易清洁的灯具，如洁净室专用的LED灯具。灯具的布置应满足洁净室的照度要求，一般洁净室的照度不低于300lx，对于有特殊视觉要求的区域，照度可适当提高。灯具的安装应牢固，与吊顶之间的密封应良好，防止灰尘进入灯具内部。照明系统的开关、插座等电器元件应安装在便于操作的位置，且应与墙体之间密封良好。开关、插座的接线应正确，牢固，防止松动。在安装照明系统时，要注意保护灯具和电器元件的表面，避免划伤、污染。照明系统安装完成后，应进行通电调试，检查灯具的亮度、开关的灵活性等是否符合要求。接地系统施工洁净室应设置完善的接地系统，包括工作接地、保护接地和防静电接地等。接地系统的接地电阻应符合设计要求，一般工作接地和保护接地的接地电阻不大于4Ω，防静电接地的接地电阻不大于100Ω。接地极应采用镀锌角钢、镀锌钢管等材料，接地极的埋设深度应符合相关标准要求，一般不小于0.6m。接地线应采用铜质导线，其截面积应根据接地电流的大小进行选择，一般不小于6mm²。接地线与接地极、电气设备之间的连接应牢固，采用焊接或压接等方式进行连接，确保接地可靠。在洁净室内，所有金属设备、管道、构架等都应与接地系统可靠连接，形成等电位联结，防止静电积累和电击事故的发生。（四）其他系统施工给排水系统施工洁净室内的给排水管道应采用耐腐蚀、不结垢、易清洁的管材，如不锈钢管