CN120094927B 玻璃基板清洗设备及清洗工艺 （奥芯半导体科技(太仓)有限公司）

(19)国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN120094927B(65)同一申请的已公布的文献号(73)专利权人奥芯半导体科技(太仓)有限公司地址215000江苏省苏州市太仓市璜泾镇鹿河汪家泾路1号(72)发明人刘正爱陶子鹏洪志王华德政(74)专利代理机构苏州市科汇新创专利代理有限公司32777专利代理师汤勇B08B3/02(2006.01)审查员石夫雨玻璃基板清洗设备及清洗工艺本发明属于清洁领域，具体涉及一种玻璃基板的清洗设备，尤其涉及一种玻璃基板清洗设备设置有多个清洗工位；清洗花篮，其设置在对应的清洗工位中，且等间隔设置有多个待清洗的玻璃基板；清洗组件，其用于对清洗花篮中的玻璃进液管；套设在进液管外部的进气管。通过设置切换机构，来切换清洗喷头与进液管和进气管的导通状态，在需要将水渍吹干时，仅需将进气管与清洗喷头连通，从而解决相关技术中，采用一根管道与清洗喷头连通导致的进气时管道内还2清洗台(100),其设置有多个清洗工位(110);清洗花篮(200),其设置在对应的清洗工位(110)中，且等间隔设置有多个待清洗的玻璃基板(210);清洗组件(300),其用于对所述清洗花篮(200)中的玻璃基板(210)进行清洗；切换机构(350);进液管(310);套设在进液管(310)外部的进气管(320);多个清洗喷头(340),其在切换机构(350)的控制下与进液管(310)和/或进气管(320)控制模块，其被配置为在清洗工况时，控制切换机构(350)将每个清洗喷头(340)与进液管(310)连通，进行清洗；在吹干工况时，控制每个清洗喷头(340)与将水渍清除；所述进液管(310)与所述进气管(320)之间形成用于通气的气腔(330);所述清洗喷头在吹干工况时，与所述气腔(330)连通；所述切换机构(350)包括：推杆电机(351)以及切换板(352);所述切换板(352)与所述清洗喷头(340)对应处设置有第一通孔(3521);所述清洗喷头(340)设置在所述进气管(320)上；所述清洗喷头(340)的顶部设置有通过复位弹簧(342)与清洗喷头(340)弹性连接的连接管(341);在推杆电机(351)将切换板(352)向第一方向推动时，连接管(341)插入到所述第一通孔(3521)中，将清洗喷头(340)与进液管(310)连通；在推杆电机(351)将切换板(352)向第二方向拉动时，连接管(341)被切换板(352)挤压向下，将气腔(330)与连接管(341)的气孔2.如权利要求1所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，在每个所述第一通孔(3521)的第二方向侧设置有辅助通孔(3522);推杆电机(351)推动所述切换板(352)逐次将清洗喷头(340)与对应的辅助通孔(3522)连通，且每次仅有一个清洗喷头(340)与对应的辅助通孔(3522)连通，完成加压清洗。3.如权利要求1所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述清洗组件(300)还包括：视觉检测模块，其用于对清洗花篮(200)中的清洗效果进行检测；所述控制模块还被配置为在检测工况时，依据检测结果控制切换机构(350)进入加压清洗模式。4.如权利要求3所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述控制模块还被配置为依据检测结果控制切换机构(350)进入加压清洗模式，即：将接收到的检测结果与预设值进行比对，在检测到清洗花篮(200)中的多个玻璃基板(210)存在污渍时，控制切换机构(350)使清洗组件(300)进入加压清洗模式。3通过切换机构(350),间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头(340)与进液管(310)连通；在当前清洗喷头(340)加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头(340)清洗完毕；依据每个清洗喷头(340)的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板(210)的位置，并控制对应的清洗喷头(340)进入到加压清洗模式，直至清洗干净。通过切换机构(350),间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头(340)与进液管(310)和进气管(320)同时连通；在当前清洗喷头(340)加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头(340)清洗完毕；依据每个清洗喷头(340)的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板(210)的位置，并控制对应的清洗喷头(340)进入到加压清洗模式，直至清洗干净。7.一种应用于如权利要求1所述的玻璃基板清洗设备的清洗工艺，其特征在于，所述清洗工艺包括：将待清洗的玻璃基板(210)放入到对应的清洗花篮(200);将清洗花篮(200)放入清洗工位(110);通过切换机构(350)将每个清洗喷头(340)与进液管(310)连通，进入清洗工况，对玻璃基板(210)进行清洗；在清洗完毕之后，通过切换机构(350)将每个清洗喷头(340)与进气管(320)连通，进入吹干工况，将玻璃基板(210)残留的水渍清除；在清洗工况完成之后，且进入到吹干工况之前，所述清洗工艺还包括：对清洗花篮(200)中的清洗效果进行检测；依据检测结果控制切换机构(350)进入加压清洗模式；所述加压清洗模式即：通过切换机构(350),间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头(340)与进液管(310)连通；在当前清洗喷头(340)加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头(340)清洗完毕；依据每个清洗喷头(340)的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板(210)的位置，并控制对应的清洗喷头(340)进入到加压清洗模式，直至清洗干净。4玻璃基板清洗设备及清洗工艺技术领域[0001]本发明属于清洁技术领域，具体涉及清洗玻璃基板的清洁机器，尤其涉及一种玻璃基板清洗设备及清洗工艺。背景技术[0002]在玻璃基板在加工成成品时，需要将玻璃基板进行减薄抛光。在抛光时，会导致碎屑附着在玻璃基板的表面，因此，需要对刚抛光完的玻璃基板进行清洗。[0003]相关技术中，供气和供液采用同一个管道进行，以减少清洗喷头的用量，在玻璃基板清洗完成之后，需要通气将水渍清除干净。然而，在实际使用时发现，按照清洗设备规定的通气时间并不能将液体完全清除，需要延长通气时间，才能将玻璃基板表面的水渍完全清除。[0004]因此，如何提高玻璃基板表面的水渍的清除效率是目前亟待解决的技术问题。[0005]需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的背景技术，因此，并不认为上述描述构成现有技术的信息。发明内容[0006]本公开实施例至少提供一种玻璃基板清洗设备及清洗工艺。[0007]第一方面，本公开实施例提供了一种玻璃基板清洗设备，包括：[0008]清洗台，其设置有多个清洗工位；[0009]清洗花篮，其设置在对应的清洗工位中，且等间隔设置有多个待清洗的玻璃基板；[0010]清洗组件，其用于对所述清洗花篮中的玻璃基板进行清洗；[0011]其中，清洗组件包括：[0012]切换机构；[0013]进液管；[0014]套设在进液管外部的进气管；[0015]多个清洗喷头，其在切换机构的控制下与进液管和/或进气管导通；[0016]控制模块，其被配置为在清洗工况时，控制切换机构将每个清洗喷头与进液管连通，进行清洗；在吹干工况时，控制每个清洗喷头与进气管连通，以将玻璃基板残留的水渍清除。[0017]在一种可选的实施方式中，所述进气管套设在所述进液管的外部；[0018]且，所述进液管与所述进气管之间形成用于通气的气腔；[0019]所述清洗喷头在吹干工况时，与所述气腔连通。[0020]在一种可选的实施方式中，所述切换机构包括：[0021]推杆电机以及切换板；[0022]所述切换板与所述清洗喷头对应处设置有第一通孔；[0023]所述清洗喷头设置在所述进气管上；5[0024]所述清洗喷头的顶部设置有通过复位弹簧与清洗喷头弹性连接的连接管；[0025]所述切换板嵌设在所述进液管的内壁中，在推杆电机将切换板向第一方向推动时，此时连接管的顶部插入到所述第一通孔中，每个清洗喷头与进液管连通；在推杆电机将切换板向第二方向拉动时，此时连接管的顶部被切换板挤压并向下运动，以使气腔与连接管侧壁的气孔连通，即使每个清洗喷头与进气管连通。[0026]在一种可选的实施方式中，在每个所述第一通孔的第二方向侧设置有辅助通孔；[0027]推杆电机推动所述切换板逐次将清洗喷头与对应的辅助通孔连通，且每次仅有一个清洗喷头与对应的辅助通孔连通，将清洗喷头与进液管连通，完成加压清洗。[0028]在一种可选的实施方式中，所述清洗组件还包括：[0029]视觉检测模块，其用于对清洗花篮中的清洗效果进行检测；[0030]所述控制模块还被配置为在检测工况时，依据检测结果控制切换机构进入加压清洗模式。[0031]在一种可选的实施方式中，所述控制模块还被配置为依据检测结果控制切换机构[0032]将接收到的检测结果与预设值进行比对，在检测到清洗花篮中的多个玻璃基板存在污渍时，控制切换机构使清洗组件进入加压清洗模式。[0034]通过切换机构，间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头与进液管连通；[0035]在当前清洗喷头加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头清洗完毕；[0036]依据每个清洗喷头的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板的位置，并控制对应的清洗喷头进入到加压清洗模式，直至清洗干净。[0038]通过切换机构，间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头与进液管和进气管同时连[0039]在当前清洗喷头加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头清洗完毕；[0040]依据每个清洗喷头的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板的位置，并控制对应的清洗喷头进入到加压清洗模式，直至清洗干净。[0041]第二方面，本公开实施例还提供了一种应用于如上述的玻璃基板清洗设备的清洗[0042]将待清洗的玻璃基板放入到对应的清洗花篮；[0043]将清洗花篮放入清洗工位；[0044]通过切换机构将每个清洗喷头与进液管连通，进入清洗工况，对玻璃基板进行清[0045]在清洗完毕之后，通过切换机构将每个清洗喷头与进气管连通，进入吹干工况，将玻璃基板残留的水渍清除。[0046]在一种可选的实施方式中，在清洗工况完成之后，且进入到吹干工况之前，所述清洗工艺还包括：6[0047]进入检测工况，即：[0048]对清洗花篮中的清洗效果进行检测；[0049]依据检测结果控制切换机构进入加压清洗模式。[0050]在一种可选的实施方式中，所述加压清洗模式即：[0051]通过切换机构，间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头与进液管连通；[0052]在当前清洗喷头加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头清洗完毕；[0053]依据每个清洗喷头的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板的位置，并控制对应的清洗喷头进入到加压清洗模式，直至清洗干净。[0054]本发明的有益效果是，本玻璃基板清洗设备及清洗工艺通过设置切换机构，来切换清洗喷头与进液管和进气管的导通状态，在需要将水渍吹干时，仅需将进气管与清洗喷头连通，从而解决相关技术中，采用一根管道与清洗喷头连通导致的进气时管道内还残留有大量液体，从而导致通气时间过长的问题，进而提高了清洗效率。[0055]本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。[0056]为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，本文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明[0057]为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0058]图1为本公开实施例提供的玻璃基板清洗设备的结构示意图；[0059]图2为本公开实施例提供的清洗组件的剖视图；[0060]图3为本公开实施例提供的清洗组件的电控原理图；[0061]图4为本公开实施例提供的清洗组件与清洗花篮配合时的状态示意图；[0062]图5为图4中A处的放大图；[0063]图6为本公开实施例提供的清洗喷头同时与进气管和进液管连通时的结构示意[0064]图7为本公开实施例提供的玻璃基板清洗设备的清洗工艺的流程图。辅助通孔。具体实施方式[0066]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明7的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0067]在本文中，当提到第一部件位于第二部件上时，这可以表示第一部件可以直接形成在第二部件上，或者第三部件可以插置在第一部件和第二部件之间。此外，在附图中，为了有效描述技术内容，部件的厚度可以被夸大或缩小。[0068]经研究发现，相关技术中为了减少清洗喷头的数量，将清洗喷头设置在一根管道通气，气体进入管道后从清洗喷头喷出，对玻璃基板进行吹干。然而，由于管道内残留的大量液体，会导致气体在吹干时，会附带大量的液体吹向玻璃基板，从而在吹干的前半段时间[0069]基于上述研究，本公开实施例提供了一种玻璃基板清洗设备及清洗工艺，通过将进气管和进液管套设，共用同一组清洗喷头，并设置对应的切换机构，对清洗喷头的导通状态进行切换，从而在不增加清洗喷头数量的情况下，减少通气时清洗喷头带出的清洗液的数量，以解决相关技术中吹干时间过长，清洗工艺整体时间耗费较长的问题。[0070]针对以上方案所存在的缺陷，均是发明人在经过实践并仔细研究后得出的结果，因此，上述问题的发现过程以及本文中本公开针对上述问题所提出的解决方案，都应该是发明人在本公开过程中对本公开做出的贡献。个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。[0072]下面结合附图，对本发明的一些实施施例及实施例中的特征可以相互组合。[0073]请参阅图1及图2,至少一个实施例公开了一种玻璃基板清洗设备，包括以下结构：[0074]清洗台100,其设置有多个清洗工位110。每个清洗工位110上郡设置有盖板111,以避免清洗液发生飞溅。[0075]清洗花篮200,其设置在对应的清洗工位110中，且等间隔设置有多个待清洗的玻璃基板210.需要说明的是，清洗花篮200采用透明材质，以便于后续进行视觉检测。[0076]清洗组件300,其用于对所述清洗花篮200中的玻璃基板210进行清洗。[0078]切换机构350,其用于将切换清洗喷头340与进液管310和进气管320的连通状态。[0079]进液管310,其一端与外部水泵连通，另一端为封堵状态。[0080]套设在进液管310外部的进气管320。具体来说，所述进液管310与所述进气管320之间形成用于通气的气腔330。[0081]多个清洗喷头340,其在切换机构350的控制下与进液管310和/或进气管320导通。[0082]控制模块，其被配置为在清洗工况时，控制切换机构350将每个清洗喷头340与进液管310连通，进行清洗；在吹干工况时，控制每个清洗喷头340与进基板210残留的水渍清除。[0083]需要说明的是，所述清洗喷头340在清洗工况时，与所述进液管310连通，在吹干工8况时，与所述进气管320的气腔330连通。[0084]通过设置切换机构350,来切换清洗喷头340与进液管310和进气管320的导通状态，在需要将水渍吹干时，仅需将进气管320与清洗喷头340连通，从而解决相关技术中，采用一根管道与清洗喷头340连通导致的进气时管道内还残留有大量液体，从而导致通气时间过长的问题，进而提高了清洗效率。[0085]请继续参阅图2及图4,所述切换机构350包括：推杆电机351以及切换板352。通过控制模块控制推杆电机351工作，从而推动切换板352进行移动。[0086]其中切换板352一端嵌设在所述进液管310的侧壁中，另一端与外部的推杆电机351的推杆连接。[0087]所述切换板352与所述清洗喷头340对应处设置有第一通孔3521;所述清洗喷头340设置在所述进气管320上；所述清洗喷头340的顶部设置有通过复位弹簧342与清洗喷头340弹性连接的连接管341。[0088]其中，连接管341的顶部设置有外倒角，从而减少切换板352在移动时与连接管341顶部之间的冲撞。[0089]在推杆电机351将切换板352向第一方向推动时，此时连接管341的顶部插入到所述第一通孔3521中，每个清洗喷头340与进液管310连通；在推杆电机351将切换板352向第二方向拉动时，此时连接管341的顶部被切换板352挤压并向下运动，以使气腔330与连接管[0090]其中，气孔343的数量为一个，且由连接管341的侧壁倾斜朝向清洗喷头340的出口开设，从而对进入到清洗喷头340的气体进行导向，进而增加清洗喷头340内的压力。[0091]需要说明的是，所述清洗喷头340与所述气孔343适配处也开设有进气口344,在连接管341的顶部被切换板352挤压并向下运动，使气腔330与连接管341侧壁的气孔343连通，此时，清洗喷头340的进气口344与连接管341的气孔343连通，从而使，气腔330与清洗头340[0092]设置简单的机械结构，完成对气源和水源的切换，减少了气源和水源共用的管路的长度，从而最大程度上，减少了烘干时气体带出的液体含量。[0093]需要说明的是，即使，清洗喷头340与气腔330之间的密封性较差，也不会影响到清洗喷头340的清洗效果，伸着从清洗喷头340泄露出来的气体还可以增加液体的压力，起到提高清洗效果的目的。[0094]请参阅图2、图4及图5,为了能使每个清洗喷头340,能单独对清洗花篮200中的玻璃基板进行清洗，在每个所述第一通孔3521的第二方向侧设置有辅助通孔3522;推杆电机351推动所述切换板352逐次将清洗喷头340与对应的辅助通孔3522连通，且每次仅有一个清洗喷头340与对应的辅助通孔3522连通，将清洗喷头340与进液管310连通，完成加压清洗。[0095]通过切换板352的推动，将多个清洗喷头340中的其中一个打开，其余的关闭，从而提高清洗时的水压，进而提高清洗效果。[0096]请继续参阅图3,所述清洗组件300还包括：视觉检测模块，其用于对清洗花篮200中的清洗效果进行检测；所述控制模块还被配置为在检测工况时，依据检测结果控制切换9机构350进入加压清洗模式。[0097]具体来说，所述控制模块还被配置为依据检测结果控制切换机构350进入加压清洗模式，即：将接收到的检测结果与预设值进行比对，在检测到清洗花篮200中的多个玻璃基板210存在污渍时，控制切换机构350使清洗组件300进入加压清洗模式。[0099]使用高分辨率相机获取多个清洗干净的玻璃基板在清洗时的图像信息；[0100]将获取的图形信息转换为灰度图像，并进行去噪处理，完成图像的预处理；[0101]选取每张图像的灰度图像中最高的灰度值作为该图像的清洗效果的表征值；[0102]计算所有图像的清洗效果的表征值的平均值，将该平均值作为预设值，一共后续检测进行比对。[0103]通过对玻璃基板的清洗效果进行检测，来提高清洗效果，在检测结果为玻璃基板存在污渍时，依次控制每个清洗喷头340进行加压清洗，来确定污渍所在的位置，便于后续进行针对性的清洗。[0105]通过切换机构350,间隔预设时间逐次控制每个清洗喷头340与进液管310连通；在当前清洗喷头340加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头340清洗完毕；依据每个清洗喷头340的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板210的位置，并控制对应的清洗喷头340进入到加压清洗模式，直至清洗干净。[0106]具体来说，通过推动切换板352,将对应的清洗喷头340与进液管310或进气管320连通，从而实现加压清洗模式。由于气孔343和进气口344均为倾斜设置的，从而对进入到清洗喷头340的气体进行导向，使大部分气体沿清洗喷头340的出口流动，进而对液体进行增时间逐次控制每个清洗喷头340与进液管310和进气管320同时连通；在当前清洗喷头340加压清洗预设时间后，控制视觉检测模块再次进行检测，直至所有清洗喷头340清洗完毕；依据每个清洗喷头340的加压清洗后的检测结果，获取污渍所在的玻璃基板210的位置，并控制对应的清洗喷头340进入到加压清洗模式，直至清洗干净。[0108]将气体和液体同时通入到清洗喷头340中，从而对液体进行加压，提高冲洗能力，针对性的对顽固污渍进行清洁。在具体实现时，可以将清洗喷头340顶部的连通管部分与辅助通孔3522连通，此时气腔330与连接管341的气孔343也处于连通状态。[0109]请参阅图7,至少一个实施例还提供了一种应用于如上述的玻璃基板清洗设备的[0110]S110:将待清洗的玻璃基板210放入到对应的清洗花篮200;[0111]S120:将清洗花篮200放入清洗工位110;[0112]S130:通过切换机构350将每个清洗喷头340与进液管310连通，进入清洗工况，对玻璃基板210进行清洗；[0113]S140:在清洗完毕之后，通过切换机构350将每个清洗喷头340与进气管320连通，进入吹干工况，将玻璃基板210残留的水渍清除。[0114]在清洗工况完成之后，且进入到吹干工况之前，所述清洗工艺还包括：[0115]进入检测工况，即：对清洗花篮200中的清洗效果进行检测；依据检测结果控制切换机