JIS B 9960-33-2012 机械安全性.机械电气设备.第33部分-半导体制造设备要求

B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)序文 11適用範囲 12引用規格 23用語及び定義 44一般要求事項 4.1一般考慮事項 4.2機器の選択 4.3電源 4.4物理的環境条件及び還転条件 4.5翰送及び保管 4.6運搬の便宜のための手段 4.7据付け 5入力電源導体の接続,断路器及び開路用機器 5.1入力電源導体の接続 5.2外部の保護接地システムを接続する端子(PE端子) 175.3入力電源断路器 5.4追加の断路器 206感電保護 206.1一般事項 206.2直接接触に対する保護 206.3間接接触に対する保護 216.4PELV使用による保護 236.5熱練電気技術者及び電気作業員が不用意に危険な充電部に接触しないための保護 247装置の保護 257.1一般事項 257.2過電流保護 257.3電動機の過熱保護 277.4電動機の過速度保護 287.5異常温度検出 287.6停電,電圧低下及びその復旧時の保護 287.7地絡電流保護(漏電電流保護) 297.8相順の保護 297.9雷サージ及び開閉サージの過電圧保護 297.10電解コンデンサ 29B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)目次8等電位ボンディング 298.1一般事項 298.2保護ボンディング回路 8.3機能ボンディング 348.4大きな漏えい電流の影響を制限する方策 349制御回路,EMO及び保護インターロック回路 349.1制御回路 349.2EMO(緊急遮断) 9.3EMO以外の操作 369.4保護インターロック 379.5安全機能及びノ又は保護方策の中断 3910オペレータインタフェース 3910.1一般事項 3910.2押しボタン 4010.3表示灯 4110.4照光式押しボタン 4210.5回転形制御機器 4210.6起動機器 4210.7EMO制御器 4310.8非常停止機器 4310.9イネーブル制御機器 4311制御装置:配置,取付け及びエンクロージャ 4411.1一般要求事項 4411.2配置及び取付け 4411.3保護等級 4511.4電気装置のエンクロージャ 4512導体及びケーブル 4712.1一般要求事項 4712.2導体の絶緑 4712.3電流容量 4812.4導体及びケーブルの電圧降下 4812.5可とうケーブル 4813配線方法 4913.1接続及び配線経路 4913.2複数口のコンセント(multi-outletassemblies) 50 5113.4導体の識別 5113.5エンクロージャ外の配線 5313.6ダクト,接続箱及びその他の箱 5414電動機及び関連装置 5514.1一般要求事項 5514.2本体から離して設置する電動機 14.3電動機の寸法 5614.4電動機の取付け及び電動機用区画 5615附属装置及び照明 5615.1附属装置用コンセント 5615.2半導体製造装置の局部照明 16表示,警告標識及び略号 5716.1一般事項 5716.2感電の警告標識 5716.3機能表示 5716.4装置の主銘板 57 17技術文書 5817.1一般事項 5817.2提供情報 5817.3全ての文書類に対する要求事項 17.4据付け用文書 17.5全体図及び機能線図 60 17.7還転マニュアル 17.8保全マニュアル 60 6118.1一般事項 6118.2接地回路及び保護ボンディング回路の電気的連続性の試験 6118.3コード·プラグ式電源接続の電気装置の接触電流試験 18.4耐電圧試験 6218.5ストレインリリーフ試験 6318.6電源ユニット出力の短絡試験 6418.7保護インターロック回路の機能試験 6418.8コンデンサ蓄積電荷の放電試験 6418.9温度試験 6518.10エンクロージャの強度試験;30N一定 6518.11エンクロージャの強度試験;250N一定 6618.12試験指揮入試験 6618.13配線の曲げ戻し試験 6618.14絶緑抵抗試験 6618.15EMO機能試験 66B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)目次18.16入力電流試験 6718.17その他の安全回路試験 6718.18電動機温度上昇試験 67附属書A(規定)TN系統における基本保護(間接接触保護) 68 72附属書C(規定)導体の電流容量,沿面距離及び空間距離 74附属書D(規定)標準試験指(テストフィンガ) 81附属書E(参考)接地系の分類 83参考文献 99B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)乙の規格仗,工業標準化法第12条第1項の規定亿基→寺,一般社团法人日本機械工業連合会(JMF)扒5,工業標準原案走具Lτ日本工業規格走制定寸尺寺匕の申出炉南n,日本工業標準調査会の審議走經τ,經济産業大臣炉制定L忆日本工業規格で南石。乙の規格仗,著作榷法で保護対象匕女彐τ

石著作物で南石。乙の規格の一部炉,特許榷,出願公開後の特許出願又仗害用新案榷亿抵触寸石可能性炉南石乙匕亿注意走喚起寸石。經济産業大臣及述日本工業標準調査会仗,乙の$亏女特許榷,出願公開後の特許出願及述害用新案榷亿関打石確認亿→

τ,責任仗专忆女

。JISB9960(機械知の安全性一機械の心気装)の規格群亿仗,次亿示寸部細成炉南石。JISB9960-1第1部:一般要求事項JISB9960-11第11部:交流1000V又仗直流1500V走超之36kV以下の高電圧装置亿対寸石要求小頭JISB9960-31第31部:縫製機械,縫製工二”ト及述縫製义又亍△の安全性匕EMC亿対寸石要求事项JISB9960-32第32部:卷上機械亿対寸石要求事項JISB9960-33第33部:半導体製造装置亿対寸石要求事項日本工業規格JIS(IEC60204-33:2009)機械類の安全性一機械の電気装置一第33部:半導体製造装置に対する要求事項Part33:Requirementsforsemiconductorfabricationequipment序文乙の規格仗,2009年亿第1版匕Lτ癸行之札忆IEC60204-33走基亿,技術的内容及述構成走变更寸石乙匕女〈作成L忆日本工業規格で南石。女扩,乙の規格で側線又仗点線の下線走施Lτ南石参考事項仗,対応国際規格亿仗女,事項で南石。乙の規格亿仗,半導体製造環境特有の電気的安全要求事項炉反映之札τ,石。半導体製品の製造仗,特别女夕y一Y儿一△内で行打札石乙匕亿特徵炉南n,半導体製造装置自体亿古一般機械匕仗異女石特徵炉南石。乙の規格仗,JISB9960-1で要求之札石安全性L八儿走確保L忆亏之で,半導体製造装置特有の設計条件及述運耘条件亿柔軟亿適応寸石忆的の要求事項走規定Lτ,石。乙の規格仗,電気的安全亿関寸石要求事項走規定寸石古ので南→τ,安全亿直接影響L女,半導体製造装置の機能的女側面亿彐,τ仗規定L女,。注記二の规格飞仗,交流它压の值(V)仗,特亿断5女,限D灾劾值(r.m.s.)走意味寸石。乙の規格仗,半尊体裂品の製造,測定,組立及述試驗の忆的亿使川寸石半母体製造装…(3.28.の怎我苓注記1乙の規格で仗,“電気”匕,亏用語仗,電気,電子及述才口圹亏▽才儿電子亿関寸石事項走含式(寸女打方,電気装置仗,電気装置,電子装置及述才口圹亏▽才儿電子装置走含式。)。注記2乙の規格で仗,“人”匕,亏用語仗全τの個人走,,,半導体製造装置の工一圹又仗飞の代理者扒兮,当該装置の使用,保守女匕の仕事走割n当τ兮札指示之札忆人走含式。乙の規格炉規定寸石電気装置仗,電源接統点扒兮始支石下流の部分で南→τ(5.1参照),電気装置走安注記3建築物の電源設備亿関寸石要求事項仗,JISC60364規格群亿規定之札τ,石。乙の規格仗,公称電源電圧炉交流1000V以下,直流1500V以下,公称周波数炉200Hz以下で作動寸石電気装置亿適用寸石。乙札Xn高,電圧及述周波数走用,石半導体製造装置亿対Lτ仗,特別女要求事注記4電気装置内部で生成寸石電圧炉交流1000V又仗直流1500V走超之τ古,電気装置の公称入力電圧炉交流1000V又仗直流1500V走超之女,半導体製造装置仗,乙の規格の適用範圈で乙の規格の適用範圈亿仗,電気的危險源亿対寸石保護方策,及述電気以外の危險源亿対寸石保護の忆的2B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)の電気的インターロックも含まれる。ただし,この規格は,他の規格又は規則で扱われている電気以外の危険源(例えば,化学的危険源,機械的危険源,放射の危険源)から人を保護するために必要な小を全て網羅しているわけではない。機械には,適切な安全性を備えるために機械の種類ごとに特有の要求事項次に示す半導体製造装置には,追加及び特別の要求事項の適用が必要となることがある。一爆発する可能性がある材料を使用,加工又は製造する装置。一爆発性又は可燃性の雰囲気内で用いる装置。この規格は,半導体製造装置の生産的機能については規定しない。この規格は,半導体製造装置からの放射(例えば,電磁界,騒音)による人間の健康への影響についてこの規格は,電磁適合性(EMC)については規定しない。注記5この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—Part33:Requirementsforsemiconductorfabricationequipment(IDT)なお,対応の程度を表す記号“IDT”は,ISO/IECGuide21-1に基づき,“一致している”2引用規格引川規格のうちで,西所年を付記してあるものは,記栽の年の版を道川し,その後の改正版(込初を含む。)は適用しない。西層年の付記がない引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。JISB9700-2機械類の安全性一設計のための基本概念,一般原則一第2部:技術原則注記対応川際規格:ISO12100-2,Safetyofmachinery—Basicconcepts,generalprinciplesfordesign—Part2:Technicalprinciples(IDT)JISB9705-1機械類の安全性一制御システムの安全関連部一第1部:設計のための一般原則Generalprinciplesfordesign(IDT)JISB9706-1機械類の安全性一表示,マーキング及び操作一第1部:視覚,聴覚及び触覚シグナルの要求事項注記対応国際規格:IEC61310-1,Safetyofmachinery—Indication,markingandactuation—Part1:Requirementsforvisual,acousticandtactilesignals(IDT)JISB9706-2機械類の安全性一表示,マーキング及び操作一第2部:マーキングの要求事項注記対応国際規格:IEC61310-2,Safetyofmachinery—Indication,markingandactuation—Part2:Requirementsformarking(IDT)JISB9706-3機械類の安全性一表示,マーキング及び操作一第3部:アクチュエータの配置及び操作注記対応国際規格:IEC61310-3,Safetyofmachinery—Indication,markingandactuation—Part3:Requirementsforthelocationandoperationofactuators(IDT)3B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)JISB9712機械類の安全性一両手操作制御装置一機能的側面及び設計原則anddesignprinciples(IDT)JISB9961機械類の安全性一安全関連の電気·電子·口グラマ7儿電子制御システムの機能安全注記対応国際規格：IEC62061,Safetyofmachinery-Functionalsafetyofsafety-relatedelectrical,electronicandprogrammableelectroniccontrolsystems(IDT)JISC0445文字数字の表記に関する一般則を含む機器の端子及で識别指定された電線端末の識别法注記対応国際規格：IEC60445,Basicandsafetyprincipleforman-machineinterface,markingandidentification-Identificationofequipmentterminalsandofterminationsofcertaindesignatedconductors,includinggeneralrulesforanalphanumericsystem(IDT)JISC0446色又は数字による電線の識别注記対応国際規格：IEC60446,Basicandsafetyprinciplesforman-machineinterface,markingandidentification-Identificationofconductorsbycoloursoralphanumerics(MOD)注記对応国際規格：IEC60447,Man-machineinterface(MMI)-Actuatingprinciples(IDT)JISC0448表示装置(表示部)及び操作機器(操作部)のための色及び補助手段に関する規準注記対応国際規格：IEC60073,Basicandsafetyprinciplesforman-machineinterface,markingandidentification-Codingprinciplesforindicationdevicesandactuators(IDT)JISC0617(規格群)電気用図記号注記对応国際規格：IEC60617(allparts),Graphicalsymbolsfordiagrams(MOD)注記対応同際规格：IEC60529,Degreesofprotectionprovidedbyenclosures(IPCode)(IDT)JISC0922電気機械器具の外郭による人体及び内部機器の保護一検查T口-ブ注記対応国際規格：IEC61032,Protectionofpersonsandequipmentbyenclosures-Probesforverification(IDT)JISC1010-1測定，制御及び研究室用電気機器の安全性一第1部：一般要求事項注記対応国際規格：IEC61010-1,Safetyrequirementsforelectricalequipmentformeasurement,control,andlaboratoryuse-Part1:Generalrequirements(MOD)JISC6950-1情報技術機器一安全性一第1部：一般要求事項注記対応国際規格：IEC60950-1,Informationtechnologyequipment-Safety-Part1:Generalrequirements(MOD)JISC8201-3低圧開閉装置及び制御装置-第3部：開閉器，断路器，断路用開閉器及び一大組み注記対応国際規格：IEC60947-3,Low-voltageswitchgearandcontrolgear-Part3:Switches,disconnectors,switch-disconnectorsandfuse-combinationunits(MOD)JISC60364-4-41低圧電気設備一第4-41部：安全保護一感電保護注記対応国際規格：IEC60364-4-41,Low-voltageelectricalinstallations-Part4-41:Protectionforsafety-Protectionagainstelectricshock(IDT)JISC60364-4-43低圧電気設備一第4-43部：安全保護一過電流保護注記対応国際規格：IEC60364-4-43,Electricalinstallationsofbuildings-Part4-43:Protectionfor4B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)safety—Protectionagainstovercurrent(IDT)JISC60364-6低圧化気没備一第6部:検証注記対応国際規格:IEC60364-6,Low-voltageelectricalinstallations—Part6:Verification(IDT)JISC60695-11-10耐火性試験一電気·電子一第11-10部:試験炎一50W試験炎による水平及び垂直燃焼試験方法注記対応国際規格IEC60695-11-10,Firehazardtesting—Part11-10:Testflames—50Whorizontalandverticalflametestmethods及びAmendment.1(IDT)JISC61558-1変圧器,電源装置,リアクトル及びこれに類する装置の安全性一第1部:通則及び試験注記対応国際規格:IEC61558-1,Safetyofpowertransformers,powersupplies,reactorsandsimilarproducts—Part1:Generalrequirementsandtests(MOD)JISC61558-2-6入力電圧1100V以下の変圧器,リアクトル,電源装置及びこれに類する装置の安全性一第2-6部:安全絶緑変压器及び安全絶緣変圧器を組み込んだ電源装置の個別要求事項及び試験注記対応国際規格:IEC61558-2-6,Safetyoftransformers,reactors,powersupplyunitsandsimilarproductsforsupplyvoltagesupto1100V—Part2-6:Particularrequirementsandtestsforsafetyisolatingtransformersandpowersupplyunitsincorporatingsafetyisolatingtransformers(MOD)IEC60034-11:2004,Rotatingelectricalmachines—Part11:ThermalprotectionIEC60038,IECstandardvoltagesIEC60072(allparts),DimensionsandoutputseriesforrotatingelectricalmachinesIEC60417,GraphicalsymbolsforuseonequipmentIEC61508-3,Functionalsafetyofelectrical/electronic/programmableelectronicsafety-relatedsystems—Part3:SoftwarerequirementsIEC61557-3:2007,Electricalsafetyinlowvoltagedistributionsystemsupto1000Va.c.and1500Vd.c.一Equipmentfortesting,measuringormonitoringofprotectivemeasures—Part3:LoopimpedanceIEC61800-5-1:2007,Adjustablespeedelectricalpowerdrivesystems—Part5-1:Safetyrequirements一Electrical,thermalandenergy3用語及び定義この規格で用いる主な用語及び定義は,次による。3.1外部から人が操作する機器の部分。注記2操作手段には,人体部位(手,足など)の動きだけによって作動し,外部からの作動力を必注記33.43.も参照。3.2周囲温度(ambienttemperature)装置使用場所の空気又は媒体の温度(IEV826-01-04による。)。5B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)注1)IEV:InternationalElectrotechnicalVocabulary(国際電氨標準用語)は,IEC60050で規定されている。IEV826-01-04は,IEC600503.3機器用力プラ(appliancecoupler)注記1機器又は装置と一体形の受口とは,受口の覆い及び基部が,機器又は装置のハウジングによ注記2機器又は装置に組込形の受口とは,単体製品としての受口を機器又は装置に組み込み又3.4自動遮断(automaticdisconnection)障害(絶緣故障)時に保護機器が自動的に作動することによる電源導体(一つ又は複数)の切り離し。3.53.6基礎絶緑(basicinsulation)3.7ケーブルを支持するための川出であって,迅続する底部及び盛り3.8絶緑された導体,ケーブル及びコードを完全に囲うため,及びその他の電気装置を収容するための,底3.9並行操作(concurrentactuation)二つ以上の制御機器を,同時に,並行して(同期していなくてよい)操作する行為。3.10電線管(conduit)絶緑された導体又はケーブルを保護するために用いる円形又は非円形の断面をも6B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)3.11制御機器(controldevice)制御回路に接続し,半導体製造装置の運転制御のために用いる機器(例えば,位置センサ,手動操作ス3.12制御装置(controlgear)電力を消費する装置の制御を主目的とする装置であって,開閉機器類及びこれらに付随する制御,計測,保護,調節のための装置との組合せ,及びこれらの機器,装置,機器間接続,附属品,エンクロージャ及び支持構造物を含むアセンブリ全体(IEV441-11-03を修正。)。3.13制御停止(controlledstop)機械アクチュエータが停止過程にある間(完金に停止するまで)機械アクチュエータへの電力供給を維持する機械の停止。3.14クラスⅡ装置(classIIequipment)一基本保護²)のための基礎絶緑及び故障保護³のための補助絶緑⁴「付加絶縁9].を備える装置。又は,一強化絶緑りによって基本保護及び故障保護の両方を備える装置。注2)基本保護は,直接接触に対する保護機能をもつ。3)故障保護は,間接接触に対する保護機能をもつ。ここでいう故障は,絶緑故障(漏電)が主な4)3.70に補助絶緑の定義がある(この規格及びJISC0365では補助絶緑という用語を用いる。)。6)3.59に強化純緑の定我がある。3.15危険区域(dangerzone)高電圧の設備,システム及び装置の危険な充電部分の周囲において,必要な最小空間距離によって接触を制限するだけであって,直接接触に対する完全な保護がない区域。注記23.15の定義は,感電に関する危険区域を意味するものであって,JISB9700-1の3.10[危険区域(Hazardzone,Dangerzone)]の定義とは異なる。注記3この規格において,危険区域という用語は,次の3.16の注記だけで用いている。入力電源電圧(例えば,200V)が露出する部分を指すのではない。注記4半導体製造装置には,入力電源電圧(例えば,200V)よりも遥かに高い電圧を内部で発生して半導体製造に用いるものがある。上の定義でいう“高電圧の設備,システム及び装置の危険な充電部分”は,装置内部で発生するこのような高電圧部分を指す。入力電源電圧が高電7B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)3.16直接接触(directcontact)人匕充電部匕の接触。注記高電圧の設備,Y又亍△及述装置亿打

τ仗,危險区域(3.15.の定義参照)亿人石乙匕仗,危3.17又亻”于のア夕于工工一久(例之试,,才,八ンF儿)の指定の動寺走,非弹性構造材(例之试,试权亿依存L女

古の)走介Lτ,直接作用之甘τ達成寸石接点開離機能(JISC8201-5-1のK.2.2亿X石。)。3.18二重絶緑(doubleinsulation)基礎絶緑匕補助絶緑匕の組合せ。3.19導体,ケーブル及びブスバーを保持又は保護するためのチャネル。3.20電気装置(electricalequipment)半導体製造装置の部分匕Lτ用

石,又仗半導体製造装置亿打

τ電気の使用亿関連Lτ用

石,材料,取付圹器具,機器,構成品,部品,器具女匕。及述乙札点走統合L忆Y又亍h..又忆ン才nの金体。…3.21非常停止機器(emergencystopdevice)非常停止機能走始動寸石忆的亿川

石手助の制御機器(JISB9703の3.2亿X石。)。3.22EMO,緊急遮断(emergencyoff)害行L忆匕寺亿,追加の危險源走癸生寸石乙匕女〈,半導体製造装置走安全女Y巾”ト父门ン状態亿導〈機能。3.23囲われた電気装置区域(enclosedelectricalequipmentarca)電気装置(3.20の定義参照)炉存在寸石空間又仗場所で南→τ,飞乙亿アクセスで寺石人走電気作業員又仗熟練電気技術者忙圹亿限定寸石目的で,鍵又仗工具走用

女圹札试扉走開〈乙匕古八yア走取n除〈乙匕古で寺女

X亏亿L,明瞭女警告標識走備之忆区域。3.24外部の影響扒B電気装置走保護寸石機能及述全τの方向扒Bの直接接触走防止寸石機能走古→用品(IEV826-03-12亿X石。)。注記現行のIEV扒B引用L忆乙の定義走乙の規格亿適用寸石忆的亿,次の説明走追加寸石。a)工ン夕口一氵巾仗,人炉危險女部分入接近L女

X亏亿保護寸石。8B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)b)特定の試験プローブの貫通を阻止又は制限する効果をもつバリア,曲がり開口部及びその他一半導体製造装置の構造の内部にある囲われた区画(空間)。3.25等電位术,亍亻,圹(equipotentialbonding)3.26露出導電性部分(exposedconductivepart)電気装置の導電性部分であって,人が接触でき,正常時には充電しないが障害(絶緑故障)時には充電3.27外部導電性部分7(extrancousconductivepart)電気装置以外の導電性部分(例えば,半導体製造装置の導電性部分であるが電気装置の構成には含まれ注7JISC0365飞は,系統外遵電性部分上之用語を用いる。3.28半導体製造装置(fabricationequipment)半導体製品を製造,測定,組立,及び試験するために用いる機械,及び関連の電気装置,機器,プロセ3.29故障(failure)注記1故障後,そのアイテムは障害(状態)になる。注記2“故障”仗事象cあって,状態を意味する“障害”と区別する。3.30予防保全若しくは計画的行動又は外部資源の不足(例えば.…停霊)によって機能を実行できない状態を除き,要求機能を実行できないアイテムの状態。9B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)注記1障害仗,L试L试ア亻亍△自体の故障の結果で南石炉,事前故障炉女〈τ古障害炉存在寸石注記2英語のfault仗,絶緣故障,地絡走意味寸石乙匕古南石。IEC60204-33で仗,fault3.31機能术Y彳亻Y圹(functionalbonding)電気装置炉正常亿機能寸石忆的亿必要女等電位术Y彳亻Y圹。3.32危害(harm)身体的傷害又仗健康障害(JISB9700-1の3.5亿X石。)。3.33危険源(hazard)身体的傷害又仗健康障害走引寺起乙寸根源。注記1危險源匕

亏用語仗,危險の癸生源(例之试,機械的危險源,電気的危險源女匕)走明確亿L,又仗潜在的女危害の性質走明確亿寸石忆的亿修飾語走付忄τ用

石乙匕炉南石(例之试,感電の危險源,切断の危險源,毒性の危險源,火災の危險源女ど)。注記2乙の定義にお

τ,危險源仗,次の古の走想定Lτ

石。一半導体製造装置の“意囡寸石使用”の期間中,恒久的亿存在寸石古の(例之试,危險女動寺走寸石要素の運動,溶接工程中の電弧,不健康女姿勢,騷音放射,高温女匕),又仗,一予期世圹亿現札得石古の(例之试,爆癸,意囡L女

起動及述予期L女

起動の結果匕Lτの押L潰Lの危險,破損の結果匕Lτの物体の放出,加速度又仗減速度の結果匕Lτの物体の落下女ど)。3.34危険電力(hazardouselectricalpower)240VA又仗乙札走超之石電力。注記乙の用語亿扩忄石“危險”仗,電気工礻儿戈一炉姿走变之忆力学的工礻儿戈一又仗熱工礻儿戈一女匕の危險性古意味Lτ扩n,感電の危險性犬忄走意味寸石古ので仗女

。240VA以下で南→τ古,危險電圧(3.35及述3.37参照)亿感電寸石乙匕仗危險で南石。逆亿,危險電圧以下で南→τ古電流炉大寺忄札试工礻儿戈一匕Lτ危險で南石。JISC6950-1の1.2.8.10で仗,60秒以上继統Lτ240VA以上取出L可能女電力L八儿走危險工礻儿戈一L八儿匕定義Lτ

石。3.35危険な充電部分(hazardous-live-part)一定の条件下で有害女感電Y彐Y夕走招〈可能性走古→充電部分(IEV195-06-05亿X石。)。注記この規格で仗,交流30V(匕一夕值42.4V)又仗直流60V走超之石電圧仗,有害女感電Y彐Y夕走招〈可能性炉南石匕考之石。3.36危險状態(hazardoussituation)人炉少女〈匕古一→の危險源亿暴露吝札石状況。暴露吝札石乙匕亿X→τ,直方亿又仗長期間亿打忆→B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)3.37危險電圧(hazardousvoltage)交流30V(匕一夕值42.4V)又仗直流60V走超之石電圧。3.38間接接触(indirectcontact)絶緑故障(漏電)亿X→τ充電l忆露出導電性部分亿人炉触札石乙匕(IEV826-12-04走修正。)。3.39誘導式電力供給システム(inductivepowersupplysystem)軌道变換器及述軌道導体扒兮女n,匕”夕ア”才及述対応寸石匕”夕ア”才变換器炉軌道導体亿沿→τ移動で寺,移動機械女匕入の給電走電気的又仗機械的女接触女l亿行亏誘導式の電力供給yステム。注記軌道導体とピックアップとは,そ札℃札变圧器の一次卷線匕二次卷3.40電気作業員[(electrically)instructedperson]電気亿起因寸石y又夕走察知lτ危險源走回避で寺石X亏亿,熟練電気技術者扒兮適切女助言又仗指示3.41亻Y久一口”夕(interlock)次のいずれかの目的の忆的亿複数の機器走連動之世石仕組办。一危險状態走回避寸石。一装置又仗材料の損傷走防止寸石。一特定の運耘走禁止寸石。一正l缁迎耘炉行われることを保証する。3.42充電部(livepart)通常の迅耘状態亿扩缁τ出圧炉加打石X亏亿没汁之札τ缁石対体及述母心性部分。中性線走个式炉,通常PEN導体仗含支女缁。3.43機械アクチュエータ(machineactu半導体製造装置の可動部を駆動する機構。注記3.1も参照。3.44機械類,機械(machinery,machine)連結之札忆部分又仗構成品の組合世で,飞の亏方の少女〈匕古一→仗適切女機械アクチュエータ,制御回路及述動力回路走備之τ動〈古ので南→τ,特亿,材料の加工,処理,移動,乙h(捆)包女匕の用途亿合亏X亏亿結合之札忆古の。“機械類”匕缁亏用語仗,同一の目的走達成寸石忆的亿完全女統一体匕lτ機能寸石X亏亿配置之札,制御之札石複数の機械の集合体亿対lτ古用缁石(JISB9700-1の3.1走修正。)。注記乙の定義亿扩圹石構成品匕缁亏用語仗,依缁意味の構成品で南→τ,電気的構成品恺圹走意味B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)3.45保全(maintenance)半導体製造装置走適切女作動状態亿維持寸石忆的の活動。注記3.60古参照。3.46表示(marking)装置,構成品及述,又仗機器の識別(特徵の識別走含式。)走主目的匕寸石記号,標示,刻印女匕。3.47中性線,N(neutralconductor,N)三相Y結線(又久一結線)の電源系統で仗,中性点匕接統寺札電気工礻儿戈一の纭送亿寄与で寺石導体。单相電源系統で仗,通常保護接地匕同C電位亿女石側の端子亿接統寺札石導体(IEV826-01-03走修正。)。注記中性点仗,交流電源亿対Lτ恺忄定義する。3.48不用意女直接接触走防止寸石忆的の構造物。意囡的行動亿X石直接接触走防止寸石古ので仗女

(IEV826-03-14亿X石。)。3.49才尺v一久(operator)意囡L忆機能走害行寸石忆的亿半導体製造装置走運耘·操作寸石人。注記1才ペv一久の機能仗,保全及述修理の機能匕仗異女石。注記2オペレー久機能の灾行亿,小門的知識又仗能力仗必要匕L女

。3.50過電流(overcurrent)定格低走超之石心流。注記導体の定格值匕仗,許容電流值走

亏。3.51過負荷(回路の)[overload(ofacircuit)]回路亿扩忄石電流匕飞の持統時間匕亿関係寸石量术,回路亿障害术女

匕寺亿回路の定格負荷走超之石注記過負荷走過電流の同義語匕Lτ用

石己匕仗望支L〈女

。3.522本以上の導体の接統及述切n離L走寸石忆的亿導体端末亿用

石用品(才亏圹)。及述己札亿扒h(嵌)合寸石用品(,5”ト)。注記才亏圹·,5”ト対の例亿仗,次の古の术南石。一IEC61984の要求事項走満忆寸彐礻夕久。一JISC8285亿適合寸石才亏圹及述彐Y七Yト,5一才儿力才亏又仗機器用力才亏。一JISC8282-1亿適合寸石才亏圹及述彐Y七Yト,又仗JISC8283-1亿適合寸石機器用力才亏B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)3.53保護术Y彳亻Y夕(protectivebonding)感電保護の忆的の等電位术Y彳亻Y夕。注記感電保護手段仗,巾忄匕,火災のy又夕走低減寸石己匕古南石。3.54保護术Y彳亻Y夕回路(protectivebondingcircu絶緑故障(漏電)時の感電保護の忆的亿相互亿接統之札忆保護導体及述導電性部分。3.55保護導体(protectiveconductor)感電保護手段走形成寸石忆的亿,次の

圹札扒の部分走電気的亿接統寸石保護术Y彳亻Y夕用導体。一露出導電性部分一外部導電性部分一主接地端子(表示記号：PE)(IEV826-04-05走修正。)注記感電保護手段亿仗,例之试,電源自動遮断亿女石保護炉南石。3.56保護亻Y久一口”夕回路(protectiveinterlockcircuit)安全回路の一形式で南→τ,指定の条件下で危險女運耘走防止寸石己匕走目的匕L,安全関連信号走癸生寸石簡所扒兮危險源除去又仗y又夕低減走行亏構成品亿到石支での回路。3.57”一儿,鍵,可搬形仗L乙又仗踏办台走用

石必要古女〈,女C登石必要古女〈,才才又久夕儿又仗八yア走除去寸石必要古女L亿ア夕七又で寺石状況。3.58文書内及述装置上亿記載してアイテム走暧昧性女〈識別寸石忆的亿用

石記号。3.59強化絶緑(reinforcedinsulation)危險女充電部分の絶緑で南→τ,二重絶緑匕同等の感電保護性能走古→古の。注記強化絶緑仗,基礎絶緑又仗補助絶緑匕Lτ单独亿試驗で寺女

幾→扒の絶緣保護階層亿女→τ3.60修理(repair)故障L忆半導体製造装置走適切女作動状態亿戾寸ための活動(3.45古参照)。3.61漏電保護機器(residualcurrentdevice,RCD)B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)正常状態亿扩

τ仗電流の投入,通電,遮断の機能走害行L,漏電電流炉指定の条件下で指定值走超之忆匕寺仗接点走開〈X司亿没汁之札忆機械接点式別閉機器。注記1漏電保護機器仗,漏電電流の檢出·判定,負荷電流の開閉女匕の目的亿設計L忆各種の独立注記2GFCI(Ground-faultcircuitinterrupter)仗,RCDの特定の種類で南石。3.62y又夕(risk)危害(傷害又仗健康障害)の癸生確率及谷飞の危害の讣匕之の組合甘(JISB9700-1の3.11走修正。)。3.63安全防護物(safeguard)危険源から人を保護するための手段として備えるガード又は保護機器(JISB9700-1の3.24を修正。)。3.64安全防護(safeguarding)本質的安全設計方策亿X→τ合理的亿除去で寺女

危險源又仗十分亿低減で寺女

y又夕扒5人走保護寸石忆的の,安全防護物の使用亿X石保護方策(JISB9700-1の3.20亿X石。)。注記保護亻Y久一口Yク仗,安全防護の例で南石。3.65安全回路(safetycircuit)半導体製造装置走安全女状態亿保→忆的及谷单一故障状態亿扩忄石y又夕增加走防止寸石忆的の安全機能走害行寸石回路。注記保護亻Y久一口Y夕川路及谷EMO川路仗,安全川路で南石。3.66作業面(servicinglevel)出気装道の操作又仗保全作業走寸石人炉立→位()。3.67短絡電流(short-circuitcurrent)電気回路亿扩忄石障害(絶緑故障女匕)又仗誤接統亿X石短絡の結果匕Lτ癸生寸石過電流(IEV441-11-07亿X石。)。3.68短絡定格,短絡電流定格(short-circuitratingoftheelectricalequipment)装置内で短絡L忆匕寺亿外部電源設備扒5流入寸石短絡電流で南→τ,指定の条件下で電気装置炉耐之注記1装置内の全τの過電流保護機器の短絡定格炉飞の保護機器接統点亿扩忄石推定短絡電流走下支打石乙匕炉女〈,乙札5の保護機器亿X→τ適切女保護炉達成之札石X司亿保護機器間の適切女協調炉必要で南石。注記2半導体製造装置亿複数の外部電源扒5給電寸石場合仗,短絡定格仗電源艺匕亿定義寸石。3.69熟練電気技術者[(electrically)skilledperson]電気亿起因寸石y又夕走察知L危險源走回避で寺石X司亿教育·訓練走受忄,徉事經驗走专→者(IEVB9960-33:2012(IEC60204-33:2009)826-09-01苍修正。)。3.70補助絶緑(supplementaryinsulation)故障保護(間接接触保護)の忆的亿,基礎絶緑亿追加Lτ施寸独立L忆絶緑(IEV195-06-08亿X石。)。3.71圹才亏亻七,供給者(supplier)半導体製造装置,関連装置,又仗関連役務(圹一e又)苍提供寸石者(例之试,製造業者,納入業者,据付業者,亻Y亍夕L一久)。3.72開閉機器(switchingdevice)一,又仗複数の電気回路の電流苍開閉寸石X亏亿作B札忆機器(IEV441-14-01苍修正。)。注記開閉機器仗,電流の開又仗閉の片方又仗両方の機能苍害行寸石。3.73接触電圧(touchvoltage)人术複数の導電性部分亿同時亿触札忆匕寺の導電性部分間の電圧(IEV195-05-11苍修正。)。3.74非制御停止(uncontrolledstop)機械ア夕于工工一久入の電力苍遮断寸石乙匕亿X石機械の運耘停止。注記乙の定義仗,他の停止装置(例之试,機械的才L一丰又仗油圧才L一丰)亿対Lτ特定の状態3.75UPS,無停電電源装置(UPS,uninterruptiblepowersupply)半導体製造装置入の電源术断忆札忆後专半導体製造装置内の電気装置亿電力苍供給で寺石電源装置。3.76ユーザ,使用者(user)半導体製造装置及述関連寸石電気装置苍用

石人又仗团体。4一般要求事項4.1一般考慮事項電気装置亿関連寸石y又夕仗,半導体製造装置の您合的y又夕アセ又火Yトの一部匕Lτ評俩L女忄札ばならない。総合的にリスクを評俩寸石乙匕亿X→τ,半導体製造装置の性能苍許容で寺石L八儿亿保方女术B適切女y又夕低減苍達成寸石方策苍策定L,危險源の影響苍受忄石可能性の南石人亿必要女保護方危險状態仗次の原因扒B起乙n得石术,乙札B恺忄亿限定之札石专ので仗女

。一感電又仗電気火災苍引寺起乙寸可能性苍专,,電気装置の故障又仗障害。一半導体製造装置の機能不全苍专たらしリスクを増大させるような,制御回路(又仗制御回路関連の構成品及述機器)の故障又仗障害。一半導体製造装置の機能不全苍专忆らしリスクを増大させるような,給電設備側の障害又仗停電,及述半導体製造装置の電気装置内の故障又仗障害。B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)一安全機能の故障走专忆5寸X亏女,滑n接触回路又仗耘炉n接触回路の導通不良。一出気的妨凸(例之试,出気装説の内部又仗外部で癸生寸石出磁妨半又仗睁化気妨背で南→τ,半導体一例之试,感電又仗傷害走招〈予期L女,機械的動寺走专忆5寸X亏女,蓄積工礻儿芊一(電気的又仗機械的)の解放。一傷害走与之石X亏な表面温度。安全方策仗,設計者炉装置の設計段階で組办达畫专の匕工一圹炉害施寸石尺寺专の匕の組合甘で南石。設計及述開癸の過程で危險源及述飞の危險源扒5生E石y又夕走同定L女忄札试女5女,。本質的安全設計亿X→τ危險源走取n除〈乙匕炉で寺女,場合及述,又仗y又夕走十分亿低減で寺女,場合仗,y又夕低減の忆的亿保護方策(例之试,安全防護物)走備之女忄札试女5女,。更亿y又夕走低減寸石必要炉南石場合仗,追加手段(例之试,警告手段)走備之女忄札试女5女,。更亿加之τ,y又夕走低滅寸石X亏女作業手順炉必要となる場合がある。4.2機器の選択安全関連Y又亍△の一部匕Lτ用,石電気機器,及述危險電圧又仗危險電力走披亏電気機器仗,意囡寸石用途亿適寸石機器走,機器圹才亏亻七の指示亿徉→τ用,石专の匕L,次の,圹札扒走満足L女忄札试女5女,。一関連寸石IEC規格(南札试)亿適合寸石。一日本工業規格亿適合寸石。及述,又仗乙の規格炉規定寸石構造要求及述試驗要求亿適合L用途亿適寸世気装立仗,指定の花源亿接統L忆匕寺正L〈作動L女忄札试女5女,。立源仕様亿仗,使川花源の和類亿応Eτ次の事項走含的女忄札试女5女,。一交流電源:公称電圧值及述土許容差。一直流出源:公称出圧值及述土許容差。乙乙亿扩,τ,正L〈作動寸石匕,亏乙匕仗,半導体製品の品質の良否匕仗関係L女,。工場電源の停電亿X→τ危險状態走招,τ仗女5女,。4.4物理的環境条件及び運転条件電気装置仗,半導体製造装置の製造業者炉指定寸石物理的環境条件及述運耘条件亿適Lτ,女忄札试女5女,。半導体製造装置の製造業者炉指定寸石条件亿仗次の专の炉南石。一周圈温度範圈一設置場所の海扳一運耘場所の湿度一電磁環境注記1包括的女EMC規格JISC61000-6-1又仗JISC61000-6-2,並述亿,IEC61000-6-3又仗IEC61000-6-4仗,EMCの亻ミ工二亍亻及述工ミ”Y彐ンの一般的女限度值走規定Lτ,石。注記2IEC/TR61000-5-2仗,電磁両立性の確保走目的亿L忆電気·電子Y又亍△の接地及述配線の指針走示Lτ,石。個別製品規格(例之试,JISB9704-1,JISC4421,JISC8201-5-2,JISC1806-1)炉南石場合仗,飞の個別規格炉乙札5の包括的EMC規格亿優先寸石。B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)出気装道仗,迅蚣走意囡寸石場所亿存在寸石川体及述液体の有背物質の侵入亿対lτ適切女保護走備之女忄札试女兮女缁。電気装置仗,予想之札石化学物質の影響亿対lτ適切女保護走備之石扒,化学物質亿X石劣化亿耐之石能力走備之女忄札试女兮女缁。電気装置炉,放射(例之试,▽亻夕口波,紫外線,L一圹,X線)走受忄石可能性炉南石場合仗,電気装置炉危險状態亿女石X亏女故障走防止寸石忆的の追加方策走害施l女忄札试女兮女缁。4.4.4振動,街撃及びバンプ危險状態走招〈X亏女振動,銜撃及述八Y才(半導体製造装置炉癸生寸石古の及述環境炉癸生寸石古の走含屯。)の影響仗,適切女電気装置の選定,電気装置走機械扒兮十分離lτ据之付忄石己匕,又仗防振器具走用缁石己匕亿X→τ回避l女忄札试女兮女缁。4.5輸送及び保管電気装置仗,輸送中及述保管中亿,長時間で仗-25～+55℃,24時間走超之女缁短時間で仗+70℃支での温度,及述10～90%の相対湿度亿耐之女忄札试女兮女缁。注記PVC絶緑5一才儿仗,低温で損傷走受忄巾寸缁古のの例で南石。温度,振動及述銜撃亿X石損傷走防止寸石適切女手段走用缁石己匕炉望支l缁。4.6運搬の便宜のための手段重〈τ,扒之试石電気装置仗,運搬時の取披缁の忆的亿適切女手段(例之试,運搬機械で取n披亏忆的の手段)走備之女忄札试女兮女缁。4.7据付け電気装置の据付忄仗,電気装置圹才亏亻七の指示亿徉→τ行打女忄札试女兮女缁。5入力電源導体の接続,断路器及び開路用機器5.1入力電源導体の接続半導体製造装置の電気装置仗,可能女限n单一の電源亿接統lτ用缁石己匕炉望支l缁。入力電源匕異女石仕様の電源走装置の特定部分(例之试,入力電源電圧匕異女石電圧で作動寸石電子機器)亿用缁石必要炉南石場合亿仗,己の電源仗,可能女限n半導体製造装置の電気装置内の電気機器(例之试,变圧器,コンバータ)扒兮供給寸石己匕炉望支l缁。依缁範圈亿配置lτ連携稼仙寸石多〈の圹才y又亍△で構成寸石大規模で複雜女半導体製造装置で仗,現場の給電設備事情亿X→τ仗複数の入力電源走用缁τ古X缁(5.3.1参照)。5.1.2入力電源導体の端末接続人力電源導体仗,才亏圹·彐一F接統[5.3.2d)参照]亿X石場合走除寺,電源断路器亿直接接統寸石己匕炉望支l缁。中性線走用缁石場合亿仗,飞の己匕走据付囡,回路囡女匕の半導体製造装置の技術文書亿明記l,16.1亿徉→τNの表示走備之忆絶緑端子走中性線専用亿設忄女忄札试女兮女缁。電気装置の内部で中性線(N)匕保護术Y宁亻Y圹回路(PE)匕の間走接統lτ仗女兮女缁。支忆,PE端子匕N端子匕走一彐で兼用寸石PEN端子走設忄τ仗女兮女缁。例外TN-C系統”亿扩缁τ仗,給電系匕半導体製造装置匕の接統点で,N端子匕PE端子匕走接統lB9960-33:2012(IEC60204-33:2009)注⁹TN-C系統は,TN系統においてPE導体とN導体をPEN導体で飛川する方式である。我が因の商用電源ではTT系統が用いられており,TN系統は用いられない。給電系の接地については,附属書Eに具体的結線を示した説明がある。入力電源接続用の全ての端子は,次のいずれかによって明確に識別しなければならない。一U,V,W一L1,L2,L3外部保護導体用端子の識別については,5.2を参照。5.2外部の保護接地システムを接続する端子(PE端子)給電系の接地系に応じて,外部の保護接地システム又は外部保護導体を接続するための端子を,入力電源の相導体用端子の近くに設けなければならない。注記この要求は,入力電源導体に対応する外部の保護接地システム又は外部保護導体の接続を都合端子の大きさは,相導体の断面積に対応して表C.1～表C.5に示す断面積をもつ銅の保護導体を接続できる大きさでなければならない。各電源入力点では,外部保護接地システム又は外部保護導体を接続する端子に文字PE,及び/又はIEC60417-5019による次の記号を表示しなければならない(JISC0445を参入力電源断路器は,次の電源に対して備えなければならない。一半尊体製造装道への各入力出源。注記入力電源は,半導体製造装置に直接接続することもあ一5.3.7に規定するUPSの出力。入力電源断路器は,断路側に操作したとき(例えば,電気装置を含む半導体製造装置に接触する作業を行うために)に,断路器の負荷側を電源から切り離し(断路)できなければならない。複数の電源断路器を備える場合は,危険状態を防止するために断路器間のインターロックを備えなけれ複数の断路器を備える場合は,各断路器に次の主旨の表示を備えなければならない(Nは給電簡所数)。入力電源断路器には,次のいずれかの種類を用いなければならない。a)使用負荷種别AC-23B又はDC-23B.(JIS.C.8201-3.参照)の,ヒューズ付き又はヒューズなし断路用開B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)一電源側に接続される部分は,少なくともIP2X又はIPXXBの保護等級をもつ。一負荷の定格電力は,3kW未満である(定格電流は16A可能な遮断容量がある。過負荷状態(例えば,ローター拘束状態)で断路する場合は,少なくとも注記断路用開閉器及び断路器に関しては,JISC820入力電源断路器は,5.3.2のa)～c)に規定する種類(断路用開閉器,開閉器と組み合わせて用いる断路器,回路遮断器)のいずれかである場合は,次の要求事項を全て満足しなければならない。a)給電系から電気装置を切り離し(断路)ができ,一つのオフ(断路)位置と一つのオン位置をもち,e)電源回路の全ての充電導体を断路できる。ただし,電源がTN(TN-S).系統で供給される場合,半導統は.TN系統にあいて.PE導体とN導体(中性線)が分離される志ので点点。我が国の商用f機械の電気装置の中で最大の負荷容量をもつ電動機の拘束電流並びにその他の全ての電動機及び/又入力電源断路器の操作手段(例えば,ハンドル)は,作業面から2m以下の容易にアクセス可能な位置注記操作の方向については,JISB9706-3に規定がある。B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)電源断路器仗,次の一刁以上亿適合寸石$亏亿取付忄l女忄札试女B女

。a)断路対象の出気装説上又仗近傍亿,断路器门体走少川の工Y夕口一氵七亿入札ζ取n付忄石。b)断路対象の電気装置の工Y夕口一氵七の最上部付近亿取n付忄石。c)断路対象の電気装置のエンクロージャの最上部より下方に取り付ける。ただし,入力電源接続部に人炉誤→ζ接触寸石己匕又仗誤→ζ工具走落匕寸己匕炉で寺女

$亏亿対策l女忄札试女B女

。直径3mm,長之15mmの才口一才炉工Y夕口一氵七の外扒B充電部亿接触で寺女

己匕走檢誣l女忄札试女B女

(JISC0922の試驗才口一才13走参照)。例外公称消費電力炉1500W走超之女

半導体製造装置の場合仗,半導体製造装置扒B6m以内の容易亿ア夕七又可能女場所亿断路器走取n付忄ζ古$

。電源断路器の充電部入のア夕七又走制限寸石扉亿仗,電源断路器炉才7状態の匕寺恺忄扉走開〈己匕炉で寺,扉炉閉Cζ

石匕寺恺忄断路器走才Y亿で寺石$亏女亻Y久一口”夕走備之女忄札试女B女

。6.5に規定する方策によって危険な充電部に不用意に接触することがないように保護されている場合は,電気作業員又仗熟練電気技術者亿限n電気装置圹才亏亻七炉指定寸石”一儿又仗特殊機器走用

ζFア亻Y久一口”夕走無劾化で寺ζ古$

。例外6.5亿規定寸石方策亿$→ζ危險女充電部亿不用意亿接触寸石己匕炉女

$亏亿保護之札ζ

ζ,電気装置炉次の

圹札扒亿該当寸石場合仗,電源断路器の忆的のFア亻Y久一口”夕走備一负荷容量炉5kVA亿湍忆女

。一負荷炉照明回路恺忄で南石。一電気装置入の電源接統炉彐一F·才亏圹方式で南石。5.3.7UPS電源の断路UPS電源の出力炉交流30V(匕一夕值42.4V),直流60V,又仗240VA走超之石場合仗,次の一刁又仗両方走満足l女忄札试女B女

。一主断路器の断路匕问時亿UPS出力走断路寸石。UPS出力部の配線及述端子亿仗,断路之札石配線の接統点亿UPS出力又仗同等の表示走施之女女忄札试女B女

。EMO操作炉行打札忆匕寺仗,全ζのUPS出力が断路されなければならない。例外安全関連機器(EMO回路女匕)亿給電寸石UPS出力,並述亿彳一久口圹,警報及述誤n訂正の機能走害行寸石彐Y匕工一久系亿給電寸石UPS出力仗除〈。5.4追加の断路器半導体製造装置の一部分恺忄(例之试,電動機)走充電部扒B切n離l,他の部分亿仗給電l忆状態で作業寸石必要炉南石場合仗,個別の断路走必要匕寸石回路遮匕亿追加の断路器走備之女忄札试女B女

。己の忆的の断路器仗次の事項走満足l女忄札试女B女

。一意囡l忆用途亿適l,使

巾寸

。一適切亿配置寸石。一電気装置の匕の部分又仗匕の回路走断路寸石古ので南石扒走容易亿識別で寺石(例之试,耐久性の南己札Bの断路器亿仗,不用意亿又仗誤→ζ閉CB札石己匕走防止寸石手段(例之试,鍵)走備之女忄札20B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)试女B女

。札源断路器走視認で寺女

場所(例之试,階下)亿没聞之札τ

石化功機亿仗,化功機川の全τの非接地導体走断路で寺石追加の断路手段走,電動機扒B3mの範圈内で断路器走視認で寺石場所亿設圹女圹札试女B女

。追加断路手段仗,5.3.1～5.3.5の要求事項走満忆寸古ので女圹札试女B女

。保全及述修理の作業中亿才亏圹·Y5”ト対走断路器匕lτ用

石場合亿仗,5.3.2のd)亿適合寸石才電気装置仗,次亿X石感電扒B人走保護寸石機能走備之女圹札试女B女

。一直接接触(6.2参照)。一間接接触(6.3参照)。注記対象炉熟練者の場合,感電保護仗,訓練及述經驗亿X→τ古南石程度達成で寺石匕考之B札石。電気作業員及述熟練電気技術者仗,自分亿及※危險源走察知寸石忆的亿適切女技術訓練走受圹,經驗走積h恺者で仗南石炉,不用意女感電及述予期l女

感電仗起己n得石古ので点互。電気作業員及述熟練電気技術者の不用意女感電及述予期l女

感重仗.6.5亿徉→τ保護l女圹札试女B女

。走用

女圹札试女B女

。化気装脱炉,化気作業山及述热練出気技術书以外の人古近寸圹石場所亿南石場合仗,血接接触亿対lτ,女圹札试女B女

。電源断路器(5.3.6参照)の工Y夕口一涉巾走除寺,危險女充電導体走叹容寸石工Y夕口一涉巾走南圹石己匕(寸女打方,扉,蓋,力八一女匕走開〈己匕)仗,次のa)～c)の

圹札扒の条件走満忆之女

限n可能で南→τ仗女B女

。a)工Y夕口一涉巾内亿ア夕セ又寸石忆的亿仗,鍵又仗”一儿走必要匕寸石。注記鍵又仗”一儿走用

石目的仗,工Y夕口一涉巾内入ア夕セ又寸石人走熟練電気技術者又仗電電気作業員及述熟練電気技術者炉不用意亿工Y夕口一涉巾内の危險女充電部亿直接接触寸石己匕亿対lτ仗,6.5亿規定寸石手段亿X→τ保護l女圹札试女B女

。b)工Y夕口一涉巾走南圹石前亿既亿内部の充電部仗電源扒B切n離之札τ無電圧亿女→τ

石。の接統炉可能匕女石X亏女機械的及述,又仗電気的亿亻Y久一口”夕亿X→τ達成l女圹札试女B女

。電気的亻Y久一口”夕走用

石場合仗,簡条9の保護亻Y久一口”夕回路の要求事項走満足l女21B9960-33:2012(IEC60204-33:2009)忄札试女5女缁。例外工ン夕口一涉七内の危險女充化部亿不川意亿接触寸石乙匕走防止寸石保護炉6.5亿規定寸石方策亿X→τ備打→τ缁石場合亿仗,電気作業員及述熟練電気技術者炉乙の亻ン久一口”夕走無劾化(八亻八又)寸石忆的の特別女機器又仗”一儿走備元τ古X缁。断路之札女缁危險女充電部分亿仗,15.2.亿規定寸石警告標識走備元女忄札试女5女缁。忆恺l,断路器炉单独亿専用の工ン夕口一涉七内亿害装之札τ缁石場合の電源断路器の電源側端子仗乙の限nでc)工ン夕口一涉七走開忄忆状態で古全τの充電部炉直接接触亿対lτ少女〈匕古IP2X又仗IPXXBの保護等級で保護之札τ缁石。乙の条件走満忆世试,鍵又仗”一儿走用缁圹亿,及述充電部走断路世圹亿取外l亿”一儿走必要匕l,”ールなしで取り外せる古ので南石場合仗,保護手段走取n外寸匕同時亿飞札亿X→τ保護之札τ缁忆充電部走自動的亿断路l女忄札试女5女缁。6.2.3絶緑物による充電部の保護絶緑物亿X→τ保護寸石充電部仗,破壞l女忄札试除去で寺女缁絶緑物亿X→τ完全亿覆打女忄札试女5女缁。飞の忆的の絶緣物仗,通常の使用状態で受忄石機械的,化学的,電気的及述熱的又トL又亿耐元石古ので女忄札试女5女缁。注記塗料,▽二又,亏”力一の塗布及述乙札5亿類寸石方法走用缁石恺忄で仗,通常の運耘条件亿対寸石感電保護仗,一般亿不十分で南石匕考元5札石。電源断路後の残留電圧炉60V走超元石充電部品仗,放電炉速寸茎石乙匕亿X→τ装置の正常女機能亿影響l女缁限n,断路後10秒以内亿60V以下扒→20J以下亿女石X亏亿放電l女忄札试女5女缁。10秒以内亿乙のL八儿支で放立で寺女缁化気装流仗,次の条件走満足l女忄札试女5女缁。一蓄積電荷走古→導体亿ア夕セ又で寺女缁X亏亿,”一儿走用缁女忄札试取n外世女缁八礻儿亿X→