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文档简介
《洁净室及相关受控环境静电控制技术要求》征求意见稿
编制说明
1.工作概况
根据“国家标准化管理委员会关于下达2023年国家标准复审修订计划的通
知”(国标委发〔2023〕64号)要求,全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员
会(SAC/TC319)组织成立了《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》(计划
编号:20233891-T-469)国家标准的修订工作组。修订工作组严格按照国家标准制
定工作程序开展工作,对标准草案进行了认真的讨论、修改,形成了本标准的征求
意见稿。
2.修订意义、原则和主要内容
2.1修订意义
现行的《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》(GB/T33555-2017)从
术语和定义、静电控制、培训与规范等方面对洁净室及相关受控环境的静电控制提
出了指导性建议和技术方向,为行业发展做出了重大贡献。
随着我国电子、航空航天、医疗卫生等行业的快速发展,对洁净室及相关受控
环境的静电控制要求不断提高,国际上以IEC61340为代表的静电控制技术体系也
不断更新。本次修订在2017版基础上,针对洁净室及相关受控环境中的静电来源
和危害特点,围绕静电控制要素,结合静电控制技术的发展和进步,系统提出符合
洁净室设计、运行特点的静电控制技术要求,有助于不断提升洁净室静电控制技术
水平。
2.2修订原则
(1)在2017年版本“静电控制”基础上,突出洁净环境下的静电控制要素,
对人员,工作表面,环境和区域,工艺设备及工具,包装、转运和储存等方面,系
统的提出了符合洁净室设计、运行特点的静电控制技术要求。
(2)充分考虑洁净室洁净度、气流组织、温湿度、压差等技术特点,提出适
合在洁净室及相关受控环境中应用的静电控制技术要求。
2.3主要修订内容
本标准主要修订内容如下:
(1)更改了标准适用范围(见第1章,2017版的第1章);
(2)术语和定义:
更改了静电控制、静电放电、静电耗散材料等定义(见3.1、3.3和3.13,2017
年版的3.4、3.5和3.1);
删除了静电场等术语(见2017年版3.2、3.3、3.6和3.7);
增加了静电放电敏感(的)、静电吸引、防静电工作区、静电起电、孤立导体、
人员操作表面、设备工作表面、围护结构、离子化静电消除器、微环境、医疗场所
等定义(见3.2、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、3.10、3.11、3.12和3.14);
(3)静电来源和危害:
更改标题为“静电来源和危害”(见第4章,2017版的第4章);
更改了原4.1“静电来源、危害及监测”中有关内容(见4.1、4.2,2017版的
4.1);
删除了原4.2“控制”(见2017版的4.2);
删除了原4.3“控制措施”(见2017版的4.3);
(4)技术要求:
更改第5章标题为“技术要求”(见第5章,2017版的第5章);
更改了原5.1为“一般要求”(见5.1,2017版的5.1);
更改了原5.2为“人员”(见5.2,2017版的5.2);
更改了原5.3为“工作表面”(见5.3,2017版的5.3);
更改了原5.4为“环境和区域”(见5.4,2017版的5.4);
增加了5.5“工艺设备及工具”;(见5.5);
增加了5.6“ESDS产品包装、转运和储存”;(见5.6);
增加了5.7“监视和测量”;(见5.7);
(5)更改了原附录A“防静电洁净工作服主要性能”为“静电来源”(见附录
A,2017版的附录A);
(6)增加了附录B“技术措施”(见附录B);
(7)增加了附录C“不同场景的静电控制设施配置”(见附录C);
(8)增加了附录D“等级划分和分类”(见附录D);
(9)增加了附录E“电子行业防静电地面选择”(见附录E);
(10)更改了参考文献(见参考文献,2017版的参考文献)。
3.主要编制工作
3.1调研
修订工作组于2023年9月至2023年10月,通过走访电子、航空航天、医疗
卫生等行业洁净室用户,与行业资深专家讨论等方式,梳理了用户在洁净室静电控
制要素和技术要求,形成了本次修订的基本思路。2023年9月至2023年10月期间,
共召开研讨会2次。
3.2标准框架和草案
修订工作组于2023年11月至2024年4月,基于用户需求结合行业专家建议,
在秉承原版标准核心思想的基础上,充分考虑洁净室特点,以洁净室静电控制的不
同要素(包括人员,工作表面,环境和区域,工艺设备及工具,ESDS产品包装、转
运和储存等)为基础,提出了标准的主体框架和初步草案。
3.3启动会
2024年5月28日,修订工作组邀请中国标准化协会、各参编单位召开标准修
订启动会。会上修订工作组汇报了修订思路、技术路线、标准草案等内容,充分征
求各参编单位意见,讨论并形成了分工与编制计划。
3.4征求意见
2024年6月至9月,修订工作组多次讨论,就启动会中各参编单位意见对标准
草案进行修改和完善,期间对部分修订意见与相关专家多次沟通,形成征求意见稿,
拟向洁净室及相关受控环境静电控制所涉行业及专家广泛征求意见。
3.5初审会
修订工作组拟于2024年10月,邀请中国标准化协会、行业专家和主要参编单
位召开标准初审会,审议修订思路、技术路线、初审稿等内容,充分听取专家意见
并完善后形成送审稿。
3.6送审会
修订工作组拟于2024年11月,邀请中国标准化协会、行业专家和主要参编单
位召开标准送审会,对标准送审稿进行审议,充分听取专家意见并完善后形成报批
稿。
4.采用国际标准和国外先进标准的情况
未直接采用国际和国外标准。修订工作组对“洁净室及相关受控环境静电控
制”等方面的内容进行了广泛查询,本标准涉及的国际和国外先进标准已被等同转
化为GB/T37977系列标准。
5.与我国现行有关法律、法规和标准的关系
本标准符合相关法律、法规,与现行有关国家标准、国家军用标准、行业标准
无冲突。
6.重大分歧意见的处理经过和依据
针对标准主要内容无重大分歧意见。
7.标准性质(强制性、推荐性)的建议
本标准为推荐性标准。
8.贯彻标准的要求和建议措施(组织措施、技术措施、过渡办法等)
8.1组织措施
我国电子、航空航天、医疗卫生、医药等行业对其生产、科研用洁净室静电控
制要求不断提升,且静电控制水平直接关系到企业产品良率、精密设备性能和人员
与电气安全。鉴于此标准为修订版,在静电控制技术要求和应用方面做了系统梳理
和迭代,因此标准颁布后需加强宣贯工作,如采取成立标准宣贯小组、召开培训会
议、线上线下答疑等方式,使本标准的实施能够更好的服务于用户的生产、科研等
工作。
在本标准实施过程中,希望用户、设计单位、施工单位等总结经验,如发现需
要修改和补充之处,请将意见和有关资料及时反馈到修订工作组,供今后修订时参
考。
8.2过渡办法
为保证本标准的顺利实施,建议设置适度的过渡期。
9.废止现行有关标准的建议
本标准实施后,可替代GB/T33555-2017洁净室及相关受控环境静电控制技
术指南。
10.其他应予说明的事项
无。
《洁净室及相关受控环境静电控制技术要求》
国家标准修订工作组
2024年9月
《洁净室及相关受控环境静电控制技术要求》征求意见稿
编制说明
1.工作概况
根据“国家标准化管理委员会关于下达2023年国家标准复审修订计划的通
知”(国标委发〔2023〕64号)要求,全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员
会(SAC/TC319)组织成立了《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》(计划
编号:20233891-T-469)国家标准的修订工作组。修订工作组严格按照国家标准制
定工作程序开展工作,对标准草案进行了认真的讨论、修改,形成了本标准的征求
意见稿。
2.修订意义、原则和主要内容
2.1修订意义
现行的《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》(GB/T33555-2017)从
术语和定义、静电控制、培训与规范等方面对洁净室及相关受控环境的静电控制提
出了指导性建议和技术方向,为行业发展做出了重大贡献。
随着我国电子、航空航天、医疗卫生等行业的快速发展,对洁净室及相关受控
环境的静电控制要求不断提高,国际上以IEC61340为代表的静电控制技术体系也
不断更新。本次修订在2017版基础上,针对洁净室及相关受控环境中的静电来源
和危害特点,围绕静电控制要素,结合静电控制技术的发展和进步,系统提出符合
洁净室设计、运行特点的静电控制技术要求,有助于不断提升洁净室静电控制技术
水平。
2.2修订原则
(1)在2017年版本“静电控制”基础上,突出洁净环境下的静电控制要素,
对人员,工作表面,环境和区域,工艺设备及工具,包装、转运和储存等方面,系
统的提出了符合洁净室设计、运行特点的静电控制技术要求。
(2)充分考虑洁净室洁净度、气流组织、温湿度、压差等技术特点,提出适
合在洁净室及相关受控环境中应用的静电控制技术要求。
2.3主要修订内容
本标准主要修订内容如下:
(1)更改了标准适用范围(见第1章,2017版的第1章);
(2)术语和定义:
更改了静电控制、静电放电、静电耗散材料等定义(见3.1、3.3和3.13,2017
年版的3.4、3.5和3.1);
删除了静电场等术语(见2017年版3.2、3.3、3.6和3.7);
增加了静电放电敏感(的)、静电吸引、防静电工作区、静电起电、孤立导体、
人员操作表面、设备工作表面、围护结构、离子化静电消除器、微环境、医疗场所
等定义(见3.2、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、3.10、3.11、3.12和3.14);
(3)静电来源和危害:
更改标题为“静电来源和危害”(见第4章,2017版的第4章);
更改了原4.1“静电来源、危害及监测”中有关内容(见4.1、4.2,2017版的
4.1);
删除了原4.2“控制”(见2017版的4.2);
删除了原4.3“控制措施”(见2017版的4.3);
(4)技术要求:
更改第5章标题为“技术
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