2025年半导体刻蚀工艺服务合同协议

2025年半导体刻蚀工艺服务合同协议本合同由以下双方于2025年[具体日期]在[具体地点]签订：甲方（委托方）：法定全称：[甲方公司全称]注册地址：[甲方公司注册地址]联系人：[甲方联系人姓名]联系方式：[甲方联系人电话/邮箱]乙方（服务方）：法定全称：[乙方公司全称]注册地址：[乙方公司注册地址]联系人：[乙方联系人姓名]联系方式：[乙方联系人电话/邮箱]鉴于：甲方需要委托乙方提供半导体刻蚀工艺服务，以支持甲方在半导体器件制造或研发活动中的需求；乙方具备提供相关刻蚀工艺服务的能力和资质。根据《中华人民共和国民法典》及相关法律法规，双方经友好协商，达成如下协议，以资共同遵守。第一条服务定义与范围1.1乙方同意根据甲方要求，使用位于[乙方设施地址或说明]的[刻蚀设备具体型号名称，例如：ICP-RIE刻蚀机]为甲方提供半导体刻蚀工艺服务。1.2本次服务的刻蚀对象主要为[具体说明刻蚀材料，例如：硅(Si)衬底上的二氧化硅(SiO2)层]，用于制造[具体说明应用，例如：MEMS传感器或其他半导体器件]。1.3刻蚀工艺类型为[具体说明工艺类型，例如：干法刻蚀]，采用[具体说明气体配方，例如：SF6/Cl2混合气体]进行等离子体刻蚀。1.4乙方应按照甲方提供的工艺需求文件（具体文件名称可列明，如《刻蚀工艺规程V1.0》）设定的主要工艺参数（包括但不限于功率、气压、温度、衬底偏压等）进行操作，并根据实际情况与甲方协商进行参数优化。1.5服务范围包括刻蚀设备的操作、工艺执行、结果初步检测以及必要的工艺维护。不包括刻蚀前道的光刻准备工作以及刻蚀后道的清洗、検测等工序。1.6乙方应保证在服务期内，刻蚀服务的可交付能力满足甲方[具体说明，例如：每月XX片晶圆的需求或每周XX次工艺运行的需求]。第二条双方权利与义务2.1甲方的权利与义务：(1)有权要求乙方按照合同约定及工艺规程提供合格、稳定的刻蚀服务。(2)有权对乙方提供的刻蚀结果进行检验，并根据本合同第五条约定的标准进行验收。(3)应向乙方提供清晰、完整的工艺需求文件、设计图纸、相关材料信息及必要的工程背景，并保证信息的准确性。(4)应按照合同约定及时向乙方支付服务费用。(5)应遵守乙方的厂区安全管理规定，指派专人配合乙方进行工艺相关工作。(6)对乙方在服务过程中知悉的甲方商业秘密和技术信息承担保密义务。2.2乙方的权利与义务：(1)有权按照合同约定收取服务费用。(2)应确保提供的刻蚀设备处于良好运行状态，并具备进行约定服务的资质和能力。(3)应严格按照甲方确认的工艺规程或双方协商一致的工艺参数进行刻蚀操作，并对工艺结果负责。(4)应持续监控刻蚀工艺稳定性，定期向甲方报告工艺运行状态和关键参数。(5)应对甲方提供的样品或信息承担保密义务，未经甲方书面同意，不得泄露给任何第三方。(6)应配合甲方进行必要的工艺问题分析和解决，提供必要的技术支持。(7)应确保其操作人员和设备符合相关的安全生产和环境保护法律法规要求。第三条技术合作与知识产权3.1双方同意就本次刻蚀工艺服务相关的工艺优化进行合作。具体合作方式为：甲方提供需求输入和验证样品，乙方负责工艺开发和实施，双方共同评估结果。3.2双方同意，在本合同履行过程中，双方共同完成的技术开发成果，其知识产权归属双方另行协商确定，或按事先约定的比例共同拥有。未经对方同意，任何一方不得单独将包含共有知识产权的技术成果申请专利或进行商业化应用。3.3乙方在提供服务过程中产生的标准操作规程、维护记录等技术文档，其知识产权归乙方所有，但甲方有权在服务范围内使用。第四条费用与结算4.1本合同项下的服务费用采用[选择一种计费方式，例如：按晶圆片数计费]方式。费用标准为人民币[具体金额]元/每片[具体说明晶圆规格，例如：200mm晶圆]。4.2服务费用按[具体频率，例如：月度]结算。乙方应在每个结算周期结束后[具体天数，例如：10]个工作日内，向甲方提供详细的服务量清单及费用账单。甲方应在收到账单后[具体天数，例如：15]个工作日内进行核对，并支付相应费用。4.3甲方应将服务费用支付至乙方指定的以下银行账户：开户行：[乙方开户行名称]账户名称：[乙方账户全称]账号：[乙方银行账号]4.4所有费用均以人民币结算，乙方不再收取其他任何性质的费用。第五条验收与质量保证5.1乙方提供的刻蚀结果应达到甲方在《刻蚀工艺规程V1.0》中明确的质量标准，包括但不限于：刻蚀深度偏差不超过±[具体百分比或微米数]，线宽对准偏差不超过[具体微米数]，侧壁粗糙度在[具体范围]内，且无影响器件性能的关键缺陷。5.2验收程序如下：乙方完成每次刻蚀服务后，应将结果样品及检测报告提交给甲方。甲方应在收到样品后[具体天数，例如：5]个工作日内，按照约定标准进行抽样检测和评估。若检测结果符合约定标准，甲方签署验收确认单；若不符合，甲方应书面通知乙方不合格项及具体原因，乙方应在[具体天数，例如：7]个工作日内对不合格样品进行免费返工或重做，直至符合标准为止。若乙方连续[具体次数，例如：三次]无法使刻蚀结果达到约定标准，甲方有权解除合同。5.3乙方承诺其提供的刻蚀服务符合业界普遍接受的质量水平，并针对本次合作工艺进行专门的质量保证。第六条保密条款6.1甲乙双方应对在履行本合同过程中获悉的对方的任何商业秘密、技术信息、经营数据、客户信息等（以下简称“保密信息”）承担保密义务。保密信息包括但不限于：工艺参数、设备配置、财务数据、未公开的测试结果、甲方提供的样品及设计文件等。6.2未经对方书面同意，任何一方不得向任何第三方泄露、披露或使用对方的保密信息，但法律法规另有规定或监管机构要求的除外。双方仅可将保密信息用于履行本合同之目的。6.3本保密义务不因本合同的终止而失效，持续有效期限为本合同终止后[具体年限，例如：五]年。6.4任何一方违反本保密义务，应赔偿因此给对方造成的一切直接和间接损失。第七条违约责任7.1若甲方未按时支付服务费用，每逾期一日，应按逾期支付金额的[具体百分比，例如：万分之五]向乙方支付违约金。逾期超过[具体天数，例如：30]日，乙方有权暂停服务或解除合同，并要求甲方支付全部应付费用及违约金。7.2若乙方提供的刻蚀服务持续不符合合同约定的质量标准，经甲方书面通知后仍无法在合理期限内纠正，甲方有权拒付相应部分的费用，或直接从应付费用中扣除相应金额，或解除合同，并要求乙方赔偿由此造成的损失。7.3若任何一方违反本合同项下的保密义务，应向对方支付违约金人民币[具体金额]元，并赔偿因此给对方造成的全部损失（包括但不限于直接损失、间接损失、调查费、律师费等）。7.4因不可抗力（如战争、自然灾害、政府行为等）导致本合同无法履行或延迟履行，遭遇不可抗力一方应立即通知对方，并在合理期限内提供证明。根据不可抗力的影响，部分或全部免除责任，或允许延期履行。第八条法律适用与争议解决8.1本合同的订立、效力、解释、履行及争议解决均适用中华人民共和国法律。8.2因本合同引起的或与本合同有关的任何争议，双方应首先通过友好协商解决。协商不成的，任何一方均有权将争议提交至[选择一种方式：A.甲方所在地有管辖权的人民法院诉讼解决；B.乙方所在地有管辖权的人民法院诉讼解决；C.[具体仲裁委员会名称]按照其届时有效的仲裁规则进行仲裁，仲裁地点在[具体城市]，仲裁语言为中文]。第九条合同期限与终止9.1本合同自双方授权代表签字并加盖公司公章（或合同专用章）之日起生效，有效期为[具体年限，例如：壹]年，自[起始年]年[起始月]月[起始日]日起至[终止年]年[终止月]月[终止日]日止。9.2合同期满前[具体月数，例如：三个月]，如双方均未提出书面异议，本合同自动续展[具体年限，例如：壹]年。任何一方欲终止续展，应在期满前[具体月数，例如：三个月]书面通知对方。9.3除本合同另有约定外，发生下列情况之一时，守约方有权书面通知违约方解除本合同：(1)一方严重违反本合同约定，经守约方书面催告后[具体天数，例如：30]日内仍未纠正的。(2)一方进入破产、清算程序的。(3)不可抗力导致合同目的无法实现的。9.4合同终止或解除后，双方应在[具体天数，例如：15]个工作日内结清所有费用。乙方应将甲方提供的样品、资料等归还甲方，并继续履行保密义务。第十条其他条款10.1本合同构成双方就本合同标的达成的完整协议，取代双方此前就该事项进行的所有口头或书面沟通、协议。10.2对本合同的任何修改或补充，均需以书面形式进行，并经双方授权代表签字盖章后生效。10.3若本合同任何条款被认定为无效或不可执行，不影响其他条款的效力。10.4本合同未尽事宜，由