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文档简介

光栅位移传感器机械位移传感器01光栅位移传感器02目录ContentsPART01机械位移传感器1.机械位移传感器的分类机械位移传感器（1）模拟式电位器式电阻应变式电容式螺旋管电感式差动变压器式涡流式光电式霍尔器件式微波式超声波式（2）数字式光光栅式光栅式磁栅式PART02光栅位移传感器2.1莫尔条纹光栅结构放大图刻痕狭缝a=bW=a+b2.1莫尔条纹

莫尔条纹

指示光栅

主光栅2.2光栅位移传感器的结构及工作原理光栅位移传感器的结构原理图主光栅指示光栅光电器件输出X位移聚光灯光源2.3光栅位移传感器的应用测量精度高（分辨率为0.1μm）动态测量范围广（0～1000mm）可进行无接触测量容易实现系统的自动化和数字化广泛应用于量具、数控机床的闭环反馈控制、

工作母机的坐标测量等方面本讲小结机械位移传感器光栅位移传感器思考题如何用光栅位移传感器设计一

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