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文档简介

半导体厂务项目工程管理项目五排气系统的设计与维护任务5-1一般废气处理系统任务5-1一般废气处理系统在半导体器件的制造过程中，需历经诸多复杂的工艺流程。这些流程中使用的药品和气体种类繁多，总数可达数十种，其中包括有毒、有害及具有爆炸危险性的物质。例如，在光刻、蚀刻及清洗环节，会产生酸碱废气；光刻工艺的清洗步骤则会释放有机溶剂废气；而在氧化、扩散和溅镀等工艺过程中，则会产生有毒气体。这些化学材料在密闭空间内使用完毕后，必须通过专业的废气处理排放设施安全地排出室外，并在排放端实施无害化处理，以确保室外环境空气的清洁与安全。因此，废气处理设备在半导体产业制造流程中占据着举足轻重的地位。【任务背景】任务5-1一般废气处理系统半导体厂的废气种类有哪些呢？制程排气系统（EXHAUST）一般废气（GEX）酸/碱废气（SEX/AEX）有机废气（VEX）含毒性废气任务5-1一般废气处理系统1.废气种类一般废气（GEX）：这类废气主要来源于氧化扩散炉的热气、烤箱及干式泵的排气等，它们通常是无毒的。这类废气经过简单处理后，由于其不含有害物质，可以直接排放至大气中。管道材质常选用镀锌螺旋风管。任务5-1一般废气处理系统1.废气种类酸碱性废气（SEX/AEX）：这类废气主要来源于化学清洗站，具有刺激性或对人体有害。在清洗芯片时，会产生挥发性气体，部分含有浓烟，对呼吸系统有刺激性作用，对人体有害。这类废气必须经过中央废气处理系统进行水洗中和处理后才能排入大气。管道材质通常采用不锈钢铁氟龙全焊式内衬全焊管，以确保其耐腐蚀性和安全性。任务5-1一般废气处理系统1.废气种类有机废气（VEX）：这类废气主要来源于有机化学溶剂的使用。在半导体制造业中，这类废气常通过活性碳吸附塔或填充式洗涤塔进行处理，有时也采用沸石浓缩转轮和燃气式焚化炉的组合技术，去除率可达90%以上。管道材质常用SUS304/316L不锈钢全焊管，以保证其耐腐蚀性和密封性。任务5-1一般废气处理系统1.废气种类含毒性废气：这类废气主要来源于化学气相沉积、刻蚀、扩散、离子注入等制程。由于这些制程中大量使用毒性气体，机台上通常会配备吸附式尾气处理设备进行预处理。预处理后的废气还需送入中央废气处理系统，经过水洗中和处理，确保其安全性后，方可排放至大气中。这类废气的处理过程相对复杂且严格，以确保其对环境和人体的影响降到最低。任务5-1一般废气处理系统2.一般废气处理系统一般排气（GEX）系统，也称为热排气系统。任务5-1一般废气处理系统2.一般废气处理系统GEX系统的一个关键特点是，它直接从洁净室内抽取气体，而且排放的含尘浓度很低，因此在总风管处检测的结果仍然达到洁净级别，

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