项目7 任务7-2 特殊气体的介绍

半导体厂务项目工程管理项目七气体的分类任务7-2特殊气体的介绍任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】什么是特殊气体特殊气体是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。在目前工艺技术较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的气体。除了大宗气体，特殊气体主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体以及其他为各种制程设备所使用的惰性气体等。任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（1）按特气在压力容器中的状态分类特气在运输、储存、输送过程中都是充装在压力容器中。在一般填充压力和温度下始终保持气体形式存在的称之为永久性气体，而发生液化现象的气体，称之为液化气。液化气又分为两种类型，高压液化气如：HCl（氯化氢）、N2O（一氧化二氮）；低压液化气如：NH3（氨气）、Cl2（氯气）、PH3（磷烷）。监控永久性气体残余量的方法————压力监控监控液化气的残余量————————重量监控。任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（2）按特气比重分类以空气分子量为分界点，工业中常见的比空气轻的气体有：H2、He、NH3、CH4（甲烷）等等；比空气重的气体有：AsH3（砷烷）、PH3、SiH4（甲硅烷）、CF4（四氟化碳）等等。比重轻————抽风位置和气体采样点在钢瓶上方比重重————抽风位置和气体采样点在钢瓶下方任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（3）按特气的化学性质分类易燃性气体包含有自燃、易燃、可燃气体等，如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧；当环境温度达到一定时，PH3与B2H6（乙硼烷）等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，范围越大的气体其爆炸燃烧危险性就越高，如B2H6的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。代表性的易燃性气体有SiH4、Si2H6（乙硅烷）、NH3、PH3、B2H6、ClF3等。任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（3）按特气的化学性质分类毒性气体反应性极强，严重危害人体功能。代表性的毒性气体有NO（一氧化氮）、C4F6（六氟丁二烯）、C5F8（八氟环戊烯）、NF3（三氟化氮）、CH3F（氟甲烷）等。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（3）按特气的化学性质分类腐蚀性通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，危害人体。常见的腐蚀性气体有HCl、HF（氟化氢）、PCl3（三氯化磷）、SiF4（四氟化硅）、ClF3（三氟化氯）、WF6（六氟化钨）等。任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（3）按特气的化学性质分类惰性气体隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。常见的惰性气体有C2F6（六氟乙烷）、CF4（四氟甲烷）、SF6（六氟化硫）、CHF3（三氟甲烷）等。任务7-2特殊气体的介绍【相关知识】特殊气体的分类（3）按特气的化学性质分类氧化性气体这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。常见的氧化性气体有ClF3、Cl2、NF3、NO等。