标准解读

《GB/T 46973-2026 微波无源器件用高温超导薄膜技术规范》是一项国家标准，旨在为微波无行器件中使用的高温超导薄膜提供一套完整的技术指导与质量控制标准。该标准涵盖了从材料选择、制备工艺到性能测试等多个方面的要求。

首先，在材料选择上，标准详细规定了适用于微波应用的高温超导材料类型及其纯度要求，确保所选材料能够满足特定工作环境下的物理化学稳定性及电学性能需求。同时，还对衬底材料的选择提出了建议，以保证高温超导薄膜与衬底之间良好的匹配性。

其次，针对制备工艺流程，《GB/T 46973-2026》提供了包括但不限于溅射沉积、脉冲激光沉积等在内的多种常见方法的操作指南，并强调了每一步骤中的关键参数设置，如温度、压力以及沉积速率等，这些都直接关系到最终薄膜的质量和性能表现。

此外，对于成品检验部分，本标准也制定了严格的测试项目清单，包括但不限于临界电流密度Jc、临界磁场Hc2等重要参数的测量方法与合格标准。通过这样的方式，可以有效评估高温超导薄膜在实际应用中的效能，并据此进行必要的调整优化。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2026-01-28 颁布
  • 2026-08-01 实施
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文档简介

ICS2905031030

;

CCSH.62L9.0

;

中华人民共和国国家标准

GB/T46973—2026

微波无源器件用高温超导薄膜技术规范

Technicalspecificationsforhightemperaturesuperconductingthinfilmsof

microwavepassivedevices

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T46973—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国科学院提出

。

本文件由全国超导标准化技术委员会归口

(SAC/TC265)。

本文件起草单位天津海芯电子有限公司中国科学院物理研究所电子科技大学松山湖材料实验

:、、、

室南开大学中国电子科技集团公司第十六研究所

、、。

本文件主要起草人季来运孙延东高泽宇吴云杨景婷曾成陶伯万季鲁徐友平

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T46973—2026

微波无源器件用高温超导薄膜技术规范

1范围

本文件规定了微波无源器件用高温超导薄膜的技术要求包装标志运输和贮存描述了相应的试

、、、,

验方法

。

本文件适用于超导材料学领域微波无源器件应用的高温超导薄膜

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

半导体晶片直径测试方法

GB/T14140

钇钡铜氧相超导薄膜临界温度T的直流电阻测试方法

GB/T17711(123)c

电子学特性测量超导体在微波频率下的表面电阻

GB/T22586

真空技术真空镀膜层结合强度测量方法胶带粘贴法

GB/T28786—2012

蓝宝石衬底片厚度和厚度变化测试方法

GB/T30857

玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法

GB/T33826

纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

GB/T36969

电子学特性测量大面积超导膜的局域临界电流密度及其分布

GB/T39843—2021

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

超导薄膜superconductingthinfilm

生长于特定基底材料上的平均厚度小于的薄层超导体

1μm。

注1基底材料通常为单晶材料

:。

注2超导薄膜通常用物理气相沉积法化学气相沉积法或其他工艺制备

:、。

32

.

临界温度criticaltemperature

T

c

在零电流和零磁场强度下超导体呈现超导电性的最高温度

,。

来源

[:GB/T2900.100—2017,815-10-09]

33

.

临界电流密度criticalcurrentdensity

J

c

通过导体的电流为临界电流时导体全截面上的电流密度

,

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