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文档简介

应用物理学高科技公司研发工程师实习生实习报告一、摘要2023年7月1日至2023年8月31日,我在应用物理学高科技公司担任研发工程师实习生,负责半导体器件的微纳结构设计与仿真验证。通过优化P型掺杂浓度分布,将器件开关电流比从1.2×10^4提升至2.8×10^4,击穿电压稳定性提高15%,成果写入项目技术文档V1.2版。应用COMSOLMultiphysics软件进行电磁场仿真,完成3组晶体管栅极结构参数的迭代优化,仿真结果与实验数据偏差控制在5%以内。提炼出基于有限元方法的器件性能快速评估流程,该方法将后续验证周期缩短了30%,并形成标准化操作指南SOP003文档。掌握的等离子刻蚀工艺参数调优技术,使沟槽深度重复性误差从±20nm降至±8nm。二、实习内容及过程2023年7月1日到8月31日,我在一家做半导体器件研发的公司实习,岗位是研发工程师助理。公司主要搞功率器件和射频器件,有500多人,研发团队分好几个小组,我跟着做功率器件的师傅学东西。实习初期,师傅让我熟悉氮化镓GaN的器件结构设计,主要是看文献和整理资料,把前人做过的HEMT器件的参数都记下来,像二维电子气密度、二维导电类型这些。7月10号左右,我开始接触仿真软件,用COMSOL跑一个简单的栅极氧化层电场分布,师傅说初始模型边界条件设不对,结果偏差大,我就重新分了网格,又调整了边界条件,最后偏差从15%降到8%以内。7月20号开始参与一个项目,是优化EnhancementModeGaNHEMT的栅极结构,目标是提高漏电流密度。我负责做参数扫描,改变金属接触层厚度和掺杂浓度,每天跑3个仿真案例,记录下饱和漏电流和击穿电压的变化。8月5号出结果了,我调的方案比初始值漏电流低22%,击穿电压稳了10%,师傅让我再跑一遍温度依赖性分析,我就加了两个温度点200K和350K,数据都挺稳定的。跑仿真的时候遇到一个麻烦,就是模型网格划分特别慢,有时候一个案例要跑大半天,电脑配置也就中配的,8月15号我问师傅怎么办,他说可以试试局部网格加密,不用全区域都细,我就改了设置,果然跑同一个案例快了快一半时间。还学了怎么用Python脚本批量设置案例参数,效率高多了。最后一个月,我整理了整个项目的仿真数据,和实验组对了几组参数,发现仿真击穿电压普遍比实测高510%,师傅说这是材料参数不确定性导致的,让我在报告里注明。实习结束前,我把优化后的器件结构参数和仿真流程写成操作指南,师傅看了说还不错,能帮新来的同事快速上手。这次实习最大的收获是搞懂了功率器件从设计到仿真验证的完整流程,还有怎么用有限元方法处理实际工程问题。最大的挑战就是第一次正经做项目,对工艺参数和仿真结果关联理解不深,后来多看师傅怎么分析数据,自己再对着文献琢磨,才慢慢明白。公司的培训机制其实一般,很多技术细节都是师傅带的时候顺口一提,过后得自己找资料补。建议可以搞些标准化的仿真案例库,新来的同学直接上手练,也能减少重复工作。岗位匹配度上,我学的更多是仿真设计那块,动手实验机会少,要是能有更多实验室轮岗就更好了。这段经历让我更确定想往器件设计方向发展,但知道还有好多东西得学,特别是材料学和工艺方面的知识。三、总结与体会这8周在公司的经历,感觉像是从理论世界一头扎进了真实的工业应用里,收获挺大的。7月1号刚去的时候,面对实际的器件参数和设计需求,说实话有点懵,连怎么设置仿真软件的边界条件都要反复确认。但到8月31号离开时,能独立跑完一个完整的HEMT器件仿真流程,并且跟实验数据对出来误差控制在10%以内,这个转变挺明显的。实习最大的价值在于把学校学的电磁场理论和半导体物理知识,真真切切用在了器件性能优化上。比如7月15号负责的栅极结构优化项目,通过迭代调整金属接触厚度和掺杂浓度分布,把器件的漏电流密度从7.2mA/mm降到了5.4mA/mm,这个结果直接体现在项目文档V1.3版里。这种把理论变成实际成果的感觉,比单纯做功课要有成就感得多。这次经历也让我更清楚自己的职业规划了。以前觉得做研发工程师就是会仿真和编程就行,现在明白还得懂工艺、会分析实验数据,甚至要了解市场需求。我打算下学期重点补材料学和器件工艺那块短板,看能不能把公司用的那个有限元仿真技巧的系统课学得更深入,争取明年考个相关方向的工程师资格证。行业里现在都在搞第三代半导体,特别是氮化镓和碳化硅,感觉挺有前景的。我实习期间接触的那个项目,就是用GaN材料做射频器件,最后性能指标确实比硅基的好不少。未来要是能继续往这个方向发展,得多学才行。最深的体会是心态上的变化。以前做实验失败就想着重做,现在明白工程上很多问题是要在资源限制下权衡解决的。比如8月10号跑仿真时电脑配置不够,跑一夜都没结果,最后改用分块计算法才搞定,虽然慢点但总算能看了。这种在压力下想办法解决问题的经历,比单纯做研究要锻炼人得多。感觉离真正的职场人又近了一步,肩上的责任意识明显强了。四、致谢感谢公司提供实习机会,让我接触到真实的器件

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