洁净室施工及验收规范2025版

洁净室施工及验收规范2025版第一章总则1.1目的与依据为规范洁净室（含相关受控环境）的施工过程，统一质量标准，明确验收要求，确保洁净室建成后能够稳定、可靠地满足预定的洁净度及相关工艺要求，保障产品质量与生产安全，特制定本规范。本规范依据国家现行相关法律法规、标准规范，并结合近年来洁净室工程技术发展与实践经验编制而成。1.2适用范围本规范适用于新建、改建和扩建的各类洁净室及其辅助设施的施工及验收。其中，洁净室的空气洁净度等级划分应符合相关标准的规定。对于有特殊要求（如生物安全、无菌医疗器械、集成电路等）的洁净室，除应符合本规范外，尚应遵守国家及行业的专项规定。1.3基本原则洁净室施工及验收应遵循“质量第一、安全为本、预防为主、全程受控”的原则。施工过程应严格执行设计文件，确保各工序质量符合技术要求。验收工作应科学、公正、全面，确保洁净室各项性能指标达到设计标准及使用需求。1.4与其他标准的关系本规范未涵盖的内容，应遵守国家及行业现行有关标准的规定。若本规范与国家强制性标准相抵触，应以国家强制性标准为准。第二章术语和定义2.1洁净室(CleanRoom)空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。2.2洁净度等级(CleanlinessClass)以单位体积空气中大于或等于某一粒径的悬浮粒子数量来划分的洁净程度等级。2.3空气洁净度等级(AirCleanlinessClass)按空气中悬浮粒子浓度规定的等级。2.4悬浮粒子(AirborneParticle)悬浮在空气中的固态和液态粒子的总称，不包括微生物粒子。2.5微生物(Microorganism)个体难以用肉眼观察的微小生物的统称，包括细菌、真菌、病毒等。2.6单向流(UnidirectionalAirflow)沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。2.7非单向流(Non-unidirectionalAirflow)气流方向不平行，速度也不一致的气流，也称乱流。2.8高效空气过滤器(HighEfficiencyParticulateAirFilter,HEPA)在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.97%以上的空气过滤器。2.9超高效空气过滤器(UltraLowPenetrationAirFilter,ULPA)在额定风量下，对粒径大于等于0.12μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空气过滤器。2.10气流组织(AirDistribution)通过送风口、回风口（或排风口）的布置，在室内形成的空气流动形态和分布。2.11静压差(StaticPressureDifference)洁净室（区）与相邻房间之间，或洁净室（区）不同级别之间的空气静压力差值。2.12自净时间(Self-cleaningTime)洁净室被污染后，在规定的条件下，空气中悬浮粒子浓度恢复到稳定状态所需的时间。第三章施工准备与管理3.1技术准备3.1.1施工单位应组织相关技术人员深入学习设计图纸、本规范及相关技术标准，理解设计意图和技术要求，参加设计交底和图纸会审，并形成记录。3.1.2施工单位应根据设计图纸、合同要求及现场实际情况，编制详细的施工组织设计或施工方案。方案应包括工程概况、施工部署、主要施工工序、关键技术措施、质量保证计划、安全文明施工、环境保护措施、施工进度计划及资源配置等内容，并按规定程序审批后实施。3.1.3对于关键工序和特殊过程，应制定专项施工技术措施和质量控制要点。3.1.4施工前应进行技术交底，确保每个施工人员明确所承担工作的技术要求、质量标准和操作工艺。3.2现场准备3.2.1施工现场应具备基本的施工条件，如临时用水、用电、道路、场地平整等应符合施工要求。3.2.2洁净室施工区域应与其他施工区域进行有效隔离，防止交叉污染。隔离措施应具有一定的强度和密封性。3.2.3施工区域的环境温度、湿度应符合施工工艺要求。当环境条件不满足时，应采取相应的调控措施。3.2.4洁净室施工前，建筑主体结构工程应已验收合格，墙面、地面、顶面的基层处理应符合设计要求，预留孔洞、预埋件的位置和尺寸应准确。3.2.5施工现场应设置必要的临时设施，如材料库房、工具房、办公室等。材料库房应干燥、清洁、通风，具备防火、防潮、防尘措施。3.3材料与设备管理3.3.1用于洁净室工程的所有材料、设备、构配件等，必须具有出厂合格证、质保书、性能检测报告等质量证明文件，并符合设计要求及国家现行有关标准的规定。进口设备还应具有报关单及商检证明。3.3.2材料、设备进场时，应按规定进行外观检查和抽样送检，合格后方可使用。严禁使用不合格或过期的产品。3.3.3洁净室专用材料（如彩钢板、密封胶、过滤器、洁净灯具、风淋室等）应具有良好的洁净性能，不易产尘、积尘和滋生微生物，且应耐腐蚀、易清洁。3.3.4材料、设备的存放、搬运和保管应符合产品说明书的要求，避免损坏、污染和变质。尤其对高效过滤器等精密部件，应采取特殊的防护措施。3.4施工人员与环境控制3.4.1参与洁净室施工的人员应具备相应的专业技能和资格，熟悉洁净施工的特殊要求。施工前应进行洁净施工知识和操作规程的培训。3.4.2进入洁净室施工区域的人员，应遵守洁净管理规定，如穿戴洁净工作服、工作鞋、帽子、口罩等，不携带与施工无关的物品进入。3.4.3施工过程中应保持施工现场的清洁卫生，及时清理施工垃圾和废料。每日施工结束后，应对施工区域进行清扫。3.4.4洁净室装饰装修阶段，应控制施工作业产生的粉尘。切割、打磨等作业应采取湿法施工或在专用除尘设施内进行。3.4.5严禁在洁净室内进行焊接、油漆等产生大量有害气体和粉尘的作业，确需进行时，应采取有效的隔离和净化措施，并在完成后进行彻底清洁。第四章主要施工工序与技术要求4.1建筑装饰装修工程4.1.1墙面工程a)洁净室墙面应采用平整、光滑、不起尘、易清洁、耐腐蚀、色彩和谐的材料。常用材料有彩钢板、铝合金板、不锈钢板等。b)墙板的安装应牢固、平整，板缝应严密。采用企口或搭接方式连接时，应确保接缝处的密封性。c)墙面与地面、墙面与顶面、墙面与墙面的交接处宜做成圆弧角或钝角，半径应符合设计要求，以减少积尘和便于清洁。d)墙面上的门窗、孔洞、管线穿墙等部位的密封处理应严密可靠，不得有渗漏。密封胶应选用无溶剂、低挥发性、耐腐蚀、耐老化的专用密封胶，打胶应连续、均匀、饱满，表面光滑。4.1.2地面工程a)洁净室地面应采用平整、耐磨、防滑、不起尘、易清洁、耐腐蚀、防静电（如需）的材料。常用材料有环氧树脂自流平地坪、PVC卷材地板、聚氨酯地坪、不锈钢地板等。b)地面基层应坚实、平整、清洁、干燥，含水率应符合材料施工要求。c)地面施工应严格按照材料说明书的要求进行，确保涂层均匀、无气泡、无针孔、无裂纹。接缝处理应平整、严密。d)地面与墙面的交接处应按设计要求做圆弧或踢脚板，踢脚板应与墙面齐平或略高于墙面，与地面连接应严密。4.1.3吊顶工程a)洁净室吊顶应采用轻质、高强、平整、不起尘、易清洁、防火的材料。常用材料有彩钢板、铝合金扣板、铝合金龙骨吊顶等。b)吊顶龙骨应安装牢固，间距应符合设计要求，确保吊顶的稳定性。c)吊顶板的安装应平整、严密，板缝处理同墙面。灯具、风口、烟感、温湿度传感器等设备与吊顶板的交接处应密封严密。d)吊顶内的空间为技术夹层时，其内表面应清洁，管线布置应整齐有序，并采取防尘、防结露措施。4.1.4门窗工程a)洁净室门应采用气密门，具有良好的气密性、隔音性，启闭灵活，关闭严密。材质宜选用不锈钢、彩钢板等。b)洁净室窗应采用固定窗或可开启的密闭窗，玻璃应选用无色透明的浮法玻璃或夹胶玻璃，窗框应与墙体密封严密。c)门窗的开启方向应符合人流、物流的走向，避免对室内气流组织造成干扰。4.2净化空调系统工程4.2.1风管制作与安装a)净化空调系统的风管、风阀、风罩等部件的材料应选用优质镀锌钢板或不锈钢板，板材厚度应符合设计要求。b)风管制作应在清洁的环境下进行，下料、剪切、咬口、焊接等工序应保证风管的严密性和内表面的光滑平整。风管内表面不得有横向拼接缝和纵向焊接缝。c)风管的连接应采用法兰连接，法兰密封垫应选用不产尘、弹性好、耐老化的材料，如氯丁橡胶、硅橡胶等。垫片应平整，不得拼接，其宽度应与法兰宽度一致。d)风管安装前应进行清洁度检查，内壁应无油污、灰尘、杂物。安装过程中，应保持风管内部清洁，开口处应临时封闭。e)风管支吊架的设置应牢固可靠，与风管之间应采用防腐木垫或其他不产尘的绝缘材料隔离。4.2.2空气处理机组安装a)空气处理机组（AHU）应安装在平整、牢固的基础上，与基础之间应设置减震措施。b)机组的开箱检查应仔细，核对型号、规格、附件是否齐全，内部是否清洁。c)机组各功能段的连接应严密，风阀调节应灵活，指示应准确。d)表冷器、加热器、加湿器等热湿处理设备的安装应符合设计要求，确保其性能。凝结水排放管应畅通，并设置水封。4.2.3过滤器安装a)过滤器的安装应在洁净室内部装修和空调系统吹扫清洁完成后进行。b)安装前应检查过滤器的外观，核对型号、规格、效率等级，确认无破损、无污染。c)初效、中效过滤器应易于更换，安装应平整、牢固，与框架之间的密封应严密。d)高效过滤器（HEPA/ULPA）的安装是关键工序，应严格按照操作规程进行。安装前应在洁净环境下对过滤器进行检漏。安装时，过滤器与安装框架之间应采用密封垫或液槽密封，确保密封可靠。安装方向应正确，箭头指向气流方向。e)高效过滤器安装后，应进行扫描检漏，合格后方可进行下一工序。4.2.4送回风口及气流组织a)送风口、回风口、排风口的位置、数量、形式应符合设计的气流组织要求。b)送风口扩散板或百叶应平整、光滑、易清洁，其开孔率和气流分布特性应符合设计要求。c)回风口过滤器（如需）的安装应符合要求。d)气流组织测试应在系统调试阶段进行，确保室内气流流型、风速、换气次数符合设计规定。4.3给水排水与气体管道工程4.3.1给水系统a)洁净室给水管道应选用耐腐蚀、内壁光滑、不易结垢的管材，如不锈钢管、UPVC管等。管道连接宜采用焊接、卡压或热熔连接。b)管道安装应横平竖直，固定牢固。阀门、配件的选用应符合卫生要求，便于操作和维护。c)洁净室内的用水点，如洗手盆、纯化水点等，其水龙头应采用非接触式或肘动式，材质应为不锈钢或铜镀铬。d)管道在穿越洁净室墙面、地面、吊顶处应设置套管，并做好密封处理。4.3.2排水系统a)洁净室排水管道应选用耐腐蚀、内壁光滑的管材，如UPVC管、不锈钢管。b)排水系统应设置存水弯，防止异味和有害气体进入洁净室。c)洁净室内的地漏应采用洁净型地漏，具有水封功能，易清洁，并应设置在不易对产品造成污染的位置。d)排水坡度应符合设计要求，确保排水畅通。4.3.3气体管道a)洁净室内的工艺气体管道，其管材选择应根据气体性质、纯度要求确定，常用不锈钢管、铜管等。b)气体管道系统安装前，管道内壁必须进行严格的脱脂、酸洗、钝化和吹扫处理，确保洁净度。c)管道连接应采用焊接（如氩弧焊）或专用卡套连接，确保无泄漏。d)气体管道应设置必要的阀门、压力表、流量计、过滤器、止回阀、安全阀等附件，并应安装牢固，便于操作和维护。e)气体管道系统安装完成后，应进行压力试验、气密性试验和吹扫，合格后方可投入使用。4.4电气与自控系统工程4.4.1供配电系统a)洁净室电气设计应符合国家现行电气规范及洁净场所的特殊要求，确保供电可靠、安全。b)电气管线宜暗敷，穿线管应选用镀锌钢管或PVC管，管口应光滑，管内导线不得有接头。c)洁净室内的配电箱、开关箱应采用防尘、防水型，安装位置应便于操作和维护，且不影响洁净室的气流组织和洁净度。d)洁净灯具应选用专用洁净灯具，具有良好的防尘、易清洁性能，光源宜采用节能型。灯具与吊顶的密封应严密。4.4.2弱电系统a)洁净室内的通信、网络、监控、火灾报警等弱电系统管线敷设和设备安装，应符合相关规范要求。b)弱电设备选型应考虑其防尘、抗干扰性能。4.4.3自动控制系统a)洁净室的温湿度、压差、风量、照明、风机运行状态等参数，宜采用自动控制系统进行监测和控制。b)传感器的安装位置应具有代表性，远离气流死角和热源。c)控制系统的调试应确保各项参数控制精度符合设计要求，系统运行稳定可靠。4.5消防系统工程4.5.1洁净室消防设计应符合国家现行消防规范的要求，并结合洁净室的特点进行。4.5.2火灾自动报警系统的探测器选型应适应洁净室环境，安装位置应合理。4.5.3自动喷水灭火系统的喷头选型、布置应符合设计要求，管道应采用镀锌钢管，安装应牢固。在洁净度要求较高的区域，喷头可采用隐蔽式或嵌入式，但应确保其动作可靠性。4.5.4气体灭火系统（如适用）的设计、安装和调试应严格按照相关规范执行。4.5.5防火门、防火卷帘、疏散指示标志、应急照明等消防设施的设置应符合规范要求，并确保功能完好。第五章验收5.1验收的一般规定5.1.1洁净室工程验收应在施工单位自检合格的基础上，由建设单位组织设计、施工、监理等单位共同进行。必要时可邀请相关专家参与。5.1.2验收应依据设计图纸、合同文件、本规范及国家现行相关标准进行。5.1.3验收前，施工单位应提交完整的工程技术资料，包括竣工图、设计变更记录、材料设备合