CN115268164B 在铌酸锂波导中高效产生二次谐波的结构与制作方法 （四川大学）_第1页
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US2022299840A1,2022.09.22在铌酸锂波导中高效产生二次谐波的结构本发明公开了一种在铌酸锂波导结构中高效产生二次谐波的结构及制备方法。选取x_cut的理论转换效率由有效非线性磁化率和模式重锂的最大非线性磁化率d33=27pm/V,并且拥有21.在铌酸锂脊形波导中高效产生二次谐波的结构，其特征在于所选材料基底为x_cutn2),当基频光的模式有效折射率n1等于倍频光的模式有效折射率n23.根据权利要求2所述的方法，其特征在于数值模拟表明此结构具有较小的有效模式4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于数值模拟表明此结构具有很大的模式重叠2)利用真空蒸镀技术对x_cut硅基上铌酸锂镀一层200nm的C3[0005]本发明的目的在于提供一种可以高效产生二次谐波的铌酸锂波导结构及其制备[0011]本发明设计的铌酸锂波导具有极高的理论归一化二次谐波转化效率η=10872%4[0017]5)利用对准技术对基片进行曝光，在波导两侧各1um远处曝出平板电极的光刻形[0022]本发明使用优秀的非线性材料——铌酸锂，充分利用其很高的非75°。[0029]如图2所示为本发明利用有限元分析方法模拟的模式相位匹配示意图，左图1550nm基频光对应的TE00模式，右图为775nm倍频光对应的TE20模式，纵坐标为模式的Ex分为本发明波导的两个模式有效折射率随波导宽度变化而改变的示意图，结果显示在860nm5[0035]5)利用对准技术对基片进行曝光，在波导两侧各1um远处曝出平板电极的光刻形[0039]本方案提出一种新的模式相位匹配方案，通过修改波导的χ(2)分布，可以获得

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