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电火花加工技术的发展研究国内外文献综述1.1电火花加工技术发展现状随着时代的进步,芯片行业、制造行业的发展,各行各业中使用的元器件对精密度要求都越来越高,对电火花加工技术的要求也在不断提高,微细电火花加工和复杂型腔加工是目前电火花成型加工技术的主要两种应用。(如图1.1-1.2展示了电火花加工技术在加工精密仪器上的应用)。图1-1涡轮叶片的加工图1-2半导体穿孔电火花脉冲放电控制是电火花加工领域的核心技术之一,电火花脉冲电源可以对放电脉冲做到毫秒级的控制[25],国内外很多数控机床公司都对电火花脉冲放电做了不同程度的研究。目前瑞士GF公司的电火花iQ加工技术和日本三菱电机公司的IDPM2技术已经可以做到在使用石墨电极和铜电极加工时基本无损耗,如图1-3所示为瑞士GF采用iQ加工技术的MikronHPM1150U数控电火花机床,可以实现微米级的细微精加工。日本沙迪克公司的“无电弧Plus”放电稳定电路可以在超微细底面尖角加工中极大的提升加工效果。日本三菱电机公司最新研制出的iQCareRemote4U放电加工机床远程服务,使得客户可以在远离机床时通过手机或者平板电脑实现对机床的远程操作,且能够准确的反馈当前加工状态、加工时间等等数据,而在机床出现故障时也可以远程连接到公司的数据服务中心,完成机床的远程检测,在最短的时间内找出问题,大幅减少机床的维修时间和成本[26]。图1-3瑞士MikronHPM1150U机床随着我国电加工机床行业的快速发展,国产数控电火花机床在实用化、自动化和信息化程度上也有了很大进步。牧野机床公司设计的U6高精密数控线切割机,使用了新型的PICO导丝系统,丝的直线度可达5µm,丝径可选择0.1-0.3mm。并且配置了Hyper-i控制系统,数据库支持包括工件材料、电极种类和尺寸设置功能,内设丰富的加工条件,拥有多种智能工具和高效直观友好的人机界面,能够适应多种加工需求。北京电加工所HS600小孔机床采用了最新的WindowsMarkPower软件,搭载智能专家系统,使用特色精密微细电源,具有电容增效、微精加工、低损耗加工回路等功能,有效的提高了加工效率。如图1-4所示,苏州宝玛数控设备有限公司推出了基于ARM硬件平台和Linux操作系统的软件平台的BMD703W六轴数控电火花小孔机,能够支持MES、远程监控、大触屏全数字化显示等等功能。图1-4苏州宝玛BMD703W-400CNC1.2电加工智能控制的研究现状图1-5电火花加工模型参考自适应控制框图工件加工效果的好坏很大程度上取决于加工过程,这也使得电加工研究领域的研究人员针对电火花加工过程进行了非常全面的分析。自适应控制因为其较强的泛化能力而受到伺服控制研究领域从业人员的广泛认可。上世纪80年代末,Rajurkar等研究人员在分析极间电压的频谱特性时将提取到的高频信号作为电火花极间状态的检测目标[27],进一步实现了上述电火花五种状态的有效分类,作者在此基础上进一步提出了一种如图1-5所示的自适应控制系统,该系统将极间平均电压作为一种反馈信号,利用这种反馈信号帮助实现对击穿延时时间的有效调控,从而实现极间距离(DistanceofGap)的调节,另一方面,采用极间状态周期时间比为基础构建了相应的数学映射模型,利用该模型也可以实现对极间参考电压的调节,并最终在实践应用当中使得加工效率的提高能够达到50%左右[28]。进入上世纪90年代以后,Rajurkar进一步提出将伺服系统驱动信号等作为输入特征构建自回归模型,在此基础上利用具有动态随机特性的一系列参数的调节来提升自适应算法的性能[29]。Rajurkar在之后又采用数学建模的方式针对伺服运动单元和EDM加工过程进行了深入分析,并且提出了一种系统静差和过程噪声的去除方法,在相同的工作条件下可以显著提升加工效率(10%左右)[30~31]。Snoeys等研究人员在上世纪70年代末尝试将电火花加工过程进行了进一步的细分,分为了离线优化以及在线控制两个基本环节,前者主要是针对加工过程中的参数进行最优解的求解,后者则是将传感器的监测结果作为评价指标,进一步实现对伺服参考电压、脉间参数、冲液流速三个过程参数的自适应性调节,从而显著提升材料去除率[32],其控制器结构如图1-6所示。进入上世纪80年代以后,Snoeys在原有的基础上进一步对系统进行了优化,从而显著降低了有害脉冲的产生频率,并且基于材料去除率、电极损耗等量化参数开展了一系列涉及石墨(+)-钢(-)、钢(+)-石墨(-)的加工试验,并进一步将其应用于实际工业生产当中,从而帮助上述自适应控制算法实现了一定程度的工业推广[33]。图1-6根据极间伺服电压、脉间电源值、冲液强度的自适应控制除了上文介绍的自适应控制系统以外,学术界还提出了模糊控制与电火花加工过程相结合的研究思路,模糊控制由于不涉及数学建模的过程,再加上其对非线性系统有较强的适应性等诸多特点而被广泛应用在电火花伺服控制领域。上世纪90年代,Dipl团队采用了将击穿延时的误差值等参数作为构建的模糊系统的输入参数的方法,并将模糊系统的输出参数设为电机的指令速度,该系统结合了五个域度范围(NB、NS、Z、PS、PB)的隶属度函数和相对应的推理规则[34]。进入二十一世纪以后,Kaneko在推理规则的基础上进一步设计出了一种加工状态可调的模糊控制系统。该系统能够实现对加工状态的量化评价,并且通过归一化因子来实现推理规则的改变[35]。学术界还有一部分研究人员尝试将神经网络等新工具与电火花伺服控制相结合,并且形成了一大批研究成果,例如Behrens提出的神经网络-模糊控制结合的控制器[36]、Caydas提出的自适应神经网络-模糊控制器[37]、以及Yan提出的基于遗传算法的模糊控制系统都是其中的典型代表[38]。国内针对电加工智能控制领域的研究并没有落后发达国家太多。例如,王蔚岷等[39]研究人员早在上世纪80年代初就成功研发了一款“电火花加工放电状态分析仪”,同时在硬件设备基础上还同步配套了相应的控制软件:将脉冲电压的平均值以及间隔时间作为系统的控制量,系统的输出参数则是提供给伺服电机的控制信号以及脉冲电源信号,利用该系统可以实现对解耦后的数学模型参数的有效识别,并且基于该平台设计了自校正调节器,在加工时,可以将加工状态快速的调整到最优状态。罗键等[40~41]研究人员尝试将模糊控制理论与电火花伺服控制相结合,进一步构建了非线性数学模型来分析极间电压和放电间隙之间的作用关系[42]。同时,文献[43]提出了火花放电率误差等作为输入,伺服进给信号作为输出的方法,并在此基础上设计了一款模糊控制器。赵万生[44]等研究人员重点对伺服进给的自适应控制展开了深入研究,首先利用静特性实验对抬刀周期和抬刀高度的加工稳定区域进行了分析,然后提出了一种基于极间放电状态线性组合的加工预测模型,并在此基础上设计了自校正调节器,显著提升了加工效率。随着对电加工研究的不断深入,越来越多的控制方法被应用到本行业中来。例如,周明等研究人员将模糊理论与极间电压和电流放电状态的识别问题相结合,提出了一种在线预测模型,该模型的输出为不同放电状态发生的频率,并且也利用自校正调节器提升了识别效率[45],随后进一步设计出了最小方差和超前预测控制(TSP)[46],然后利用对比实验探究了上述不同加工控制策略之间的优势和缺陷所在。Chang等研究人员针对控制器增益调节的需求提出了变结构控制的方法,能够显著提升系统的响应能力[47]。蒋毅带领的研究团队采用小波变换的方式设计了一种微细电火花极间状态的检测系统[48],并且在该系统的基础上研制了针对不同加工环节的自适应控制器[49~50]。参考文献赵万华,张星,吕盾,等.国产数控机床的技术现状与对策[J].航空制造技术,2016(09):16-22.董景荣,张文卿.技术进步要素偏向、路径选择与中国制造业升级[J].管理现代化,2019(04):26-30.李士梅,李安.中国工业行业创新技术进步偏向的适宜性研究[J].求是学刊,2019,(04):45-53王勃,杜宝瑞,王碧玲.智能数控机床及其技术体系框架[J].航空制造技术,2016(09):55-61.刘强,李冬茹.国产数控机床及其关键技术发展现状及展望[J].航空制造技术,2010(10):26-30.王志伟.数控机床控制系统设计研究[J].山东工业技术,2015(21):71.JaeWJ,YoungYH.AGeneralizedApproachfortheaccelerationanddecelerationofindustrialrobotsandCNCmachinetools[J].IEEEtransactionsonindustrialelectronics,2000,47(1):133-139.楼晓波.电火花成型机床结构的动态特性分析及优化[D].浙江工业大学,2009.Micro-andnanoelectric-dischargemachining[A].IvanoBeltrami;CédricJoseph;ReymondClavel;Jean-PhilippeBacher;StefanoBottinelli.JournalofMaterialsProcessingTech.2004.Micro-EDM—recentdevelopmentsandresearchissues[A].D.TPham;S.SDimov;SBigot;AIvanov;KPopov.JournalofMaterialsProcessingTech.2004.赵万生,刘晋春.电火花加工技术[M].哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2000.LiQ,BaiJ,LiC,etal.ResearchonMulti-ModePulsePowerSupplyforArrayMicroHolesMachininginMicro-EDM[J].ProcediaCirp,2013,6(7):168-173.KröningO,HerzigM,Hackert-OschätzchenM,etal.MicroElectricalDischargeMachiningofTungstenCarbidewithUltra-ShortPulse[J].KeyEngineeringMaterials,2015,651-653:759-764.LiuHD,XiX-C,ChenM,etal.Alook-aheadtransitionalgorithmandjumpmotionplanninginmulti-axisEDMforshroudedblisks[J].InternationalJournalofAdvancedManufacturingTechnology,2018,98(1-4):947-958.AntarM,ChantzisD,MarimuthuS,etal.HighSpeedEDMandLaserDrillingofAerospaceAlloys[J],2016,42:526-531.刘军.航空发动机气膜冷却孔的打孔工艺[J].航空发动机,1995(2):33-38.孙建军,李志永,臧传武,等.航空发动机气膜冷却孔的电解加工[J].电镀与涂饰,2015(11):626-631.刘欣.无再铸层小孔电火花—电解组合加工工艺研究[D].南京航空航天大学,2014.王一涛.短环形火焰筒的加工技术[J].内燃机与配件,2019(21):107-108.于家珊.电火花加工理论基础[M].北京:国防工业出版社,2011:185-197.SchumacherBM.After60yearsofEDMthedischargeprocessremainsstilldisputed[J].JournalofMaterialsProcessingTechnology,2004,149:376-381.胡晓明.基于电火花加工机床脉冲电源的研究现状与发展趋势[J].产业与科技论坛,2014,(13)6: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