CN115616384B 一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法 （中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）_第1页
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US6249342B1,2001.06.19一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量本发明公开了一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法，属于集成电路测试系统领2所述载物台（4）用于安装晶圆，所述载物台（4）上同轴设有不同大4.如权利要求1所述的针对不同尺寸晶圆的测试装置，其特征在于：所述晶圆限位槽7.如权利要求1所述的针对不同尺寸晶圆的测试装置，其特征在于：所述晶圆限位槽310.一种采用如权利要求1_9任意一项所述的测试装置进行针对不同尺寸晶圆的测试S2、直线运动组件和环形驱动组件带动载物台整体S3、直线运动组件和环形驱动组件带动载物台整体4缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。四探针测试仪中的载物台设计非常关键，它直接决定了设备能够测试的晶圆尺寸范围5[0015]更进一步地，所述晶圆限位槽上还可拆卸的设有用于固6[0035]图7是本发明提供的针对不同尺寸晶圆的测试装置的滚轮支撑组件的结构示意[0037]图9是本发明提供的针对不同尺寸晶圆的测试装置的弹性探针组件的结构示意7[0045]固定架6跨设于直线运动组件2上方，且与直线运动组件2的长度方向垂直并固定度，在第二滑块22上设有支撑滚轮组件24，支撑滚轮组件24和载物台4下端面接触辅助支8位槽41上还可拆卸的设有用于固定晶圆的辅助下压组件10，和定位卡子5配合对晶圆轴向用于和晶圆限位槽螺纹连接的螺栓101，螺栓101上从上至下依次设有调节螺母102、压板9

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