CN115684019B 一种显示面板检测设备的对位装置、标定及对位方法 （合肥欣奕华智能机器股份有限公司）

司本发明公开了一种显示面板检测设备的对据第一相机观测检测治具上其中一基准孔在旋转工作台旋转前后时相对于第一相机视野中心第一相机观测检测治具上其中一基准孔在旋转工作台沿X轴移动前后时相对于第一相机视野中心的偏移量，计算得到旋转工作台X轴方向与设测两个基准孔相对于第一相机视野中心的偏移2后时相对于第一相机视野中心的偏移量以及第二相机（21）的坐标，计算得到旋转工作台b；（2）的Y11轴的参考点相对设备坐标系Y轴的偏移为(Y11RefOffs0_yb)，坐标(XRefOffs0_xa，3(θ/2)，YUvwCam=avgy+Δx/(2xtan(θ/2))，Δx=off2x_off1x，Δy=off2y_o4UvwCamJigUvw=off1x/2+off4x/2_XUvwCam，YJigUvw=off1y/2+off4y/2_YUv台（22）转过的角度THJigUvw，其中，THJigUvw=atan2((off4y_off1y)，(off4x_off1x))_YJigUvwJigUvwUvwCamUvwCamUvwCam)JigUvw，JigDev56[0004]基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种显示面板检测设备的对位装[0005]本发明提出的一种显示面板检测设备的标定装置，包括第一相机和可沿X向运动[0009]S3：根据第一相机观测检测治具上其中一基准孔在旋转工作台沿X轴移动前后时7[0017]龙门X轴和检测部组的Y11轴回参考点，设定此时龙门X轴的参考点相对设备坐标[0019]修改龙门X轴的参考点相对设备坐标系X轴的偏移为(XRefOffs0_xa的Y11轴的参考点相对设备坐标系Y轴的偏移为(Y11RefOffs0_yb)，坐标(XRefOffs0_xa，Y11RefOffs0_yb)作为第二相机标定[0033]旋转工作台回基准位置，操作旋转工作台的动平台相对旋转工作台的定平台向X8[0047]通过第二相机观测加载后待测基板的多个GMark坐标，确定一个测试区域的多个[0048]根据多个测试点的坐标确定测试区域坐标系XCOCYC的位姿(XJigDev，YJigDev，[0050]进一步地，在根据权利要求2的标定方法以及所述检测治具(23)的目标位姿计算9JigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvw检测部组的Y11轴坐标以及旋转工作台的旋转轴坐标的方法，计算出龙门的多个X坐标值，[0069]本发明提供的一种显示面板检测设备的对位装置、标定合相机观测到的待测基板位姿，确定检测治具上多个测针对准测试区域的多个测试点时，线电机4和X12直线电机5驱动沿X方向运动，其中龙门1通过固定在滑块上，滑块沿滑轨运龙门1可沿承载台水平运动，Y11基板24沿龙门1纵向移动，Z11基板25可相对Y11基板24升[0079]每个检测部组2包括第二相机21和旋转工作台22，第二相机21固定于Z11基板25实现绕设备坐标系的Z轴方向的转动和沿旋转工作台的[0080]需要说明的是，检测治具23在水平面内的平移可以通过龙门1的X轴和Y11轴的运通断检测不局限于同一个检测治具23中的任意两个测针232所触及的测试点之间的通断，还可检测两个检测治具23的所有测针232所触及的任意两个测试点之间的通断。根据待测两个或者两个以上龙门1上的检测治具23也可以同时与两个或者两个以上测试区域接触，[0085]通过该检测设备解决了单次测试有多个测针232和测试区域中多个测试点同时准接近标记图案C；确定第一相机的视野中心相对于标记图案C的偏移，记为(Aoffsx，[0092]此处参考点偏移是设备参数，表示参考点位置相对设备中该轴原点位置的偏b。[0097]S2：根据第一相机观测检测治具23上其中一基准孔231在旋转工作台22旋转前后前后时相对于第一相机视野中心的偏移量及第二相机21的坐标，计算得到旋转工作台22X[0099]S4：根据第一相机观测两个基准孔231相对于第一相机视野中心的偏移量及第二检测治具23的多个测针232能够与测试区域的多个测试点同时准确对位。提供了旋转工作在第一相机的视野中；记录此时第一基准孔相对于第一相机视野中心的偏移，设为(h1x，在旋转工作台22沿X轴移动前后时相对于第一相机视野中心的偏移量，计算得到旋转工作出现在第一相机的视野中；记录此时第一基准孔相对于第一相机视野中心的偏移，设为对旋转工作台22的位姿表示检测治具23相对旋转工作台22的位姿；步骤S4具体包括步骤[0145]因而采用以上标定方法标定后的检测设备进行检测时，其多个测针232与被检测[0148]用第二相机21观测加载后的待测基板3的多个GMark坐标，由GMark坐标及待测基[0149]S200：根据多个测试点的坐标确定测试区域坐标系XCOCYC的位姿(XJigD[0150]其中设定测试点和测试区域坐标系XCOCYC之间的相对位置关系与测试点对应的测置时如果描述每个测试点的位置会很繁琐也不必要，可以从整体上描述整个区域的位姿。标系是根据位置关系R2和多个测试点的坐标[0151]因而测试点和测试区域坐标系XCOCYC之间的相对位置关系与测试点对应测针232使检测治具23坐标系的位姿与测试区域坐标系的位姿相同时检测治具23的各测针232就能JigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvwJigCamJigUvwJigUvwUvwJigCamJigUvwJigUvwUvwJigCamJigUvwJigUvwUvwJigCamJigUvwJigUvwUvw使检测治具23上的多个测针232与多个测动龙门。再按第二种方法依次计算出各个测试区域对应的旋转工作台22的位姿(XUvw,θ)以置，龙门1的X轴运动到该设定位置，再用第二种方法求出检测各个检测区域时的θ,XUvw和[0174]龙门1的X轴坐标的具体均衡计算过程：设第一个检测部组2的检测治具23需要先的位姿(测试区域多个测试点的位姿是已知的只有一个检测部组2的龙门1或对于同一龙门1有两个检测部组台22，检测治具23通过旋转工作台22实现X方向运动以及绕旋转工作台22动平台的Z轴转X方向的运动来进行设备标定和对位。需要说明的是本实施例中所设置的旋转工作台22包以优先