CN115685953B 一种用于质量流量控制器的标定系统及其标定方法 （北京华丞电子有限公司）

一种用于质量流量控制器的标定系统及其本发明提供一种质量流量控制器的标定方器对应于多个流量设定值的多个第一标准流量线计算多个设定流量值对应的多个第一理论流的流量控制曲线作为质量流量传感器当前存储方法能够基于标准流量检测设备对之前确定的2获取所述质量流量控制器的多个设定流量值，并通过所述质量流量控制器对应于多个所述设定流量值的多根据所述质量流量控制器当前存储的流量控制曲线计算多个所述设定流量值对应的计算多个所述第一标准流量值与对应的所述设将所述新的流量控制曲线作为所述质量流量控制器当前存储的流量控制曲线来进行述质量流量控制器当前存储的流量控制曲线来进获取通过所述标准流量检测设备检测的对应多个所述设定流量值的多个第二标准流比较多个所述第二标准流量值与对应的所述设定流量值之间的偏差值是否均小于预准流量值与对应的所述设定流量值之间的偏差值补偿至多个所述第一理论流量值的方式，基于所述质量流量控制器满量程流量的不同比例选取多个所根据多个补偿后的所述第一理论流量值和与其对应的多个所述设34[0002]质量流量控制器(MassFlowController，MFC)是一种用于对质量流量进行精密[0005]本发明旨在提供一种质量流量控制器的一种质量流量控制器的标定方法以及一所述质量流量控制器对应于多个所述流量设定值的多个第一标[0008]根据所述质量流量控制器当前存储的流量控制曲线计算多个所述设定流量值对[0011]将所述新的流量控制曲线作为所述质量流量传感器当前存储的流量控制曲线来[0013]获取通过所述标准流量检测设备检测的对应多个所述流量设定值的多个第二标5[0014]比较多个所述第二标准流量值与对应的所述设定流量值之间的偏差值是否均小一标准流量值与对应的所述设定流量值之间的偏差值补偿至多个所述第一理论流量值的6[0031]现有的质量流量控制器的校准方法通常是采集质量流量控制器在多个设定流量质量流量控制器对应于多个流量设定值的多个第行过标定，则初始流量控制曲线为流量Y1＝f(X)＝X)计算多个设定流量值X对应的多个第[0039]本发明提供的标定方法将多个第一标准流量值Y3与对应的设定流量值X之间的偏差值补偿至多个第一理论流量值Y2，并根据补偿后的理论流量值得到新的流量控制曲线，从而基于标准流量检测设备对之前确定的流量控制量控制曲线)进行调整，使新的流量控制曲线更加趋近于质量流量控制器实际的流量特性[0041]步骤S51、获取通过标准流量检测设备检测的对应多个流量设定值的多个第二标值Y3与对应的设定流量值X之间的偏差值补偿至多个第一理论流量值Y2的方式，得到新的7准流量值Y6作为第一标准流量值Y3，并将前面获取到的第二标准流量值Y6与设定流量值X之间的偏差值直接作为下一轮步骤S1至S4中第一标准流量值Y3与设定流量值X之间的偏差具体地，多个设定流量值X对应的多个第一理论流量值Y2可表示为数组[(X1,Y21),(X2,基于质量流量控制器满量程流量的不同比例选取多个[0050]根据多个补偿后的第一理论值和与其对应的多个设定流量值X，通过最小二乘法[0051]本发明实施例对最小二乘法采用的公式中设定流量值X的最大指数不作具体限置存储器EEPROM中存储的流量控制曲线公式f(X)0＝a0×X4+b0×X3+c0×X2+d0×X+e0中的8通过本发明实施例提供的标定方法进行标定前，其中存储的流量控制曲线为Y2＝f(X)0=0.641953X4_1.5647X3+1.12649X2+0.800394X+0.0[0054]如下表1_1所示为本实施例中步骤S1至步骤S3确定得到的数据(表格中数值均为对应于多个设定流量值X的实际控制效果(即多个第一标准流量值Y3)与各设定流量值X之[0057]基于表1中的多个第一标准流量值Y3及多个第一理论流量值Y2执行本发明实施例提供的标定方法中的步骤S1至S4，将多个第一标准流量值Y3与对应的设定流量值X之间的偏差值(即精度误差)补偿至多个第一理论流量值Y据该数组拟合得到新的流量控制曲线的函数Y5＝f(X)1＝0.132957X4_0.246339X3+0.0583752X2+1.05955X+0.000596[0060]接着执行步骤S51至步骤S52，判断新的流量控制曲线是否满足要求，由表1_2可需再执行一轮步骤S1至步骤S4，可直接将新的流量控制曲线Y5＝f(X)1存储至质量流量传9标定方法，其中质量流量控制器的内置存储器EEPROM用于存储该当前存储的流量控制曲流量值Y3与对应的设定流量值X之间的偏差值补偿至多个第一理论流量值Y2，并根据补偿制曲线进行调整，使新的流量控制曲