CN116147796B 基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用 （厦门大学）

US2022146340A1,2022.05.12ThermoelectricityandOPiezoresistivityforFully基于压力和温度的自供电柔性传感器及其本发明公开了一种基于压力和温度的自供极层和上电极层用于测量热电自供电层由于被压敏层中相对的两个表面均设有微结构并且构热电自供电层与下压敏层的接触面积并产生电阻变化。由于热阻传感层和互锁压敏层电阻变27.一种如权利要求1一6中任一项所述的基于微结构的压敏层分别作为上压敏层和下压敏层面对面装配形成互2)将制备的第二聚合物溶液进行干燥固化空镀膜工艺分别在所述互锁压敏层上方和所述热电自供电层下方形成上电极层和下电极8.一种根据权利要求1一6中任一项所述的基于30分别为自供电柔性传感器在压力作用下的电阻值和初始电阻值；α是自供电0/Vt；电阻值和初始电阻值，R热、R热0分别为所述热阻传感层在被测状态下的电阻值和初始电阻柔性传感器在被测状态下的电阻值和初始电阻值，K为同一温度下所述热阻传感层的电阻4基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用[0004]通常对于具有多种传感功能的传感器设计有三种策略，分别为集成多种传感单5微结构的压敏层分别作为上压敏层和下压敏层面对面装配形成互空镀膜工艺分别在互锁压敏层上方和热电自供电层[0020]一种根据上述的基于压力和温度的自供电柔性传感器在测量压力和/或温度的应60/Vt；态下的电阻值和初始电阻值，K为同一温度下热阻传感层的电阻值与热电自供电层的电阻[0038]包括附图以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本[0040]图2为本申请的实施例的基于压力和温度的自供电柔性传感器的互锁压敏层的示[0041]图3为本申请的实施例的基于压力和温度的自供电柔性传感器的互锁压敏层的示[0042]图4为本申请的实施例的基于压力和温度的自供电柔性传感器的热阻传感层的槽[0043]图5为本申请的实施例的基于压力和温度的自供电柔性传感器的热阻传感层的示7[0044]图6为本申请的实施例一的基于压力和温度的自供电柔性传感器的制作方法中互[0045]图7为本申请的实施例一的基于压力和温度的自供电柔性传感器的制作方法中热[0046]图8为本申请的实施例一的基于压力和温度的自供电柔性传感器的制作方法中热电自供电层2上表面通过键合形成固定配合，热电自供电层2下表面和下电极层1接触形成[0052]在具体的实施例中参考图4和图5热阻传感层3由第一聚合物和液态金属31组成；8孔延伸出的螺旋形槽道填充五分之一；液态金属31随温度变化在槽道32内发生热胀冷缩，[0055]在具体的实施例中，第一聚合物、第二聚合物和第三聚合物为聚二甲基硅氧烷、[0057]本申请的实施例还提出了一种基于压力和温度的自供电微结构的压敏层分别作为上压敏层41和下压敏层42面对面装配形成互真空镀膜工艺分别在互锁压敏层上方和热电自供电层2下方形成上电极层[0064]本申请的实施例一提出了一种基于压力和温度的自供电(CNT)，互锁压敏层中CNT质量分数为7将一定量的CNT加入预聚体和固化剂为10:1的混9合溶液中，利用磁力搅拌机均匀搅拌1h，将均匀混合的溶液放入真空箱中抽取真空保持层41和下压敏层42面对面装配形成互锁[0069]本申请的实施例还提出了一种根据上述的基于压力和温度的自供电柔性传感器0/Vt；