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超声波扫描显微镜(SAM/SAT)潜在应用价值巨大半导体测试领域为其主要需求端

超声波扫描显微镜,简称SAM、SAT,指通过压电换能器产生高频超声波,进而对样品进行缺陷检测的仪器。超声波扫描显微镜具备材料适应性好、可实现无损检测、响应速度快、检测精度高等特点,在半导体测试、材料科学检测、新能源等领域拥有潜在应用价值。

高频聚焦式换能器为超声波扫描显微镜重要组件,对其分辨率起到决定性作用,可分为LiNbO3单晶换能器以及薄膜式换能器。LiNbO3单晶换能器具备机电耦合系数高、压电常数高、频率高,波长小等优势,但其制备难度较大,目前尚未实现广泛应用。薄膜式换能器可细分为AlN薄膜换能器、ZnO薄膜换能器等。未来随着高频聚焦式换能器市场占比提升,我国超声波扫描显微镜行业发展速度有望加快。

超声波扫描显微镜在众多领域拥有潜在应用价值,主要包括半导体测试、材料科学以及新能源等。在材料科学领域,超声波扫描显微镜可用于检测金属材料、金属涂层材料以及复合材料;在新能源领域,其可用于太阳能电池板、新能源汽车电池冷却系统质量检测过程中。

在半导体测试领域,超声波扫描显微镜可用于集成电路封装内部缺陷检测过程中,该领域为其最大需求端。近年来,随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移,我国集成电路产量持续增长。据国家工信部统计数据显示,2025年前三季度,我国集成电路产量达到3819亿块,同比增长8.6%。在此背景下,我国超声波扫描显微镜行业发展空间不断扩展。根据新思界产业研究中心发布的《2026年中国超声波扫描显微镜(SAM/SAT)市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示,2024年我国超声波扫描显微镜市场规模同比增长超过25%。

在行业发展初期,欧美以及日本等国占据超声波扫描显微镜市场主导地位,代表企业包括德国KSI公司、美国SONIX公司、日本Nikon公司等。在本土方面,我国超声波扫描显微镜主要生产商包括骄成超声波、津上智造、芯纪源半导体设备等。芯纪源推出的超声波扫描显微镜在检测速度、运行成本、灵敏度等方面已达到行业领先水平。

新思界行业分析人士表示,超声波扫描显微镜在众多领域拥有广阔应用前景,未来随着我国半导体产业发展速度加快,其市场空间将得到进一步扩展。在行业发展初期,我国超声波扫描显微镜高度依赖进口。近年来,伴随本土企业持续发力,我国超声波扫描显微镜市场国产化进程不断加快。更多资料请参考新思界产业研究中心发布的《2026年中国超声波扫描显微镜(SAM/SAT)市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》,同时新思界产业研究中心还提供,产业大数据、行业研究报告、

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