电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章薄膜表征_第1页
电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章薄膜表征_第2页
电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章薄膜表征_第3页
电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章薄膜表征_第4页
电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章薄膜表征_第5页
已阅读5页，还剩32页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

第七章薄膜的表征材料表征方法Extractedfrom厚度和沉积速率表征方法厚度表征方法台阶仪Profiler干涉显微镜Interferencemicroscope石英晶体振荡薄膜厚度监控Oscillatorforquartzcrystalthicknessmonitor椭偏仪ellipsometer电子显微镜SEM断面扫描台阶仪台阶仪测试结果示例光干涉法单色光从薄膜上、下表面反射，当膜厚导致的光程差为n倍λ时，会发生干涉。光程差为：nc(AB+BC)–AN又，折射定律：光程差＝位相变化(正入射)0，透射光π，反射光反射回折射率小的物质0，反射光反射回折射率大的物质2.1

透明薄膜厚度的测量测试条件：单色光、垂直入射，反射光强度将随膜厚而周期变化。极值出现在：n1>n2，极大值n1<n2，极小值金属膜吸收太强，不适用。2.2

不透明薄膜厚度的测量

－等厚干涉条纹法单色平行光照射到楔形薄膜上，反射后，会在固定的位置产生干涉的最大和最小，所以可观察到明暗相间的平等条纹。若膜厚不均，干涉条纹也就不规则。若膜厚有台阶，干涉条纹出现台阶，显然相邻干涉条纹间相差λ/2。石英晶体振荡法

原理：利用石英晶体的振荡频率随晶片厚度变化的关系，在晶片上镀膜，测频率的变化，就可求出质量膜厚。

固有频率：厚度方向弹性波的速度数学关系若在蒸镀时石英晶体上接收的淀积厚度(质量膜厚)为dx，则相应的晶体厚度变化为薄膜密度

优点：原位测量法，引入时间的微分电路，还可测薄膜的生长速度，灵敏度高，20Hz左右，相应于石英的质量膜厚为12埃。

缺点：

（1）只能得到平均膜厚；

（2）当石英晶片与蒸发源位置改变时，需校准；（3）在溅射法中测膜厚，易受电磁干扰；

（4）探头温度不能超过80℃。

特点形貌表征Microscope/显微镜PolarizingMicroscopes/极化显微镜phasecontrastmicroscope/相衬度显微镜SEMTEM－原子级分辨率AFM，STM…AFMa.30minb.1hc.3hd.6hdislocation结构表征DiffractionXRDHEED，LEED，RHEEDNeutrondiffraction/中子衍射

TEM薄膜结构位错，弛豫晶格失配应力织构结晶度粗糙度厚度密度SubstrateLayer1Layer2薄膜内在结构单晶多晶无定形薄膜相关参数应力，弛豫，

晶格失配粗糙度晶体取向缺陷和晶粒大小厚度ACABABxC1-x化学组成晶格常数abc平面结构X射线衍射仪示意图布拉维格子XRD图谱薄膜织构分析面内和面外取向薄膜组分X－rayfluorescence/x射线荧光分析ElectronProbeMicro-analyzer光电子能谱XPS俄歇电子能谱AES卢瑟福背散射RBS红外光谱Fou

人人文库> 全部分类> 办公材料 > 办公文档

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论