CN119413755A 基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法及装置 （天津大学）

基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增本发明提供了一种基于时域反射技术的太到相关值序列的包络线；对包络线进行积分运2在探针搭载电路样品的情况下，通过所述探针向所述电路样品发射太赫兹脉冲信号，根据所述反射信号和所述背景信号之间的信号波动比较结果，从所在确定所述上包络线的第i个点的绝对值大于所述下包络线的第i个点的绝对值的情在确定所述上包络线的第i个点的绝对值小于或等于所述下包络线的第i个点的绝对5.根据权利要求1所述的信号增强方法，其特征在于，所述对所述包络线进行积分运6.一种基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增获取模块，用于在探针搭载电路样品的情况下，通过探针向所述包络线分析模块，用于对所述相关值序列进行包截取子模块，用于根据所述反射信号和所述背景信号之间的信3述相关值序列。确定单元，用于以所述参考信号的长度作为窗口宽度，利用滑相关性计算单元，用于分别将多个所述子信号和所述参考信号进行相所述相关值序列。第一判断子模块，用于在确定所述上包络线的第i个点的绝对值大于所述下包络线的第i个点的绝对值的情况下，将所述上包络线的第i个点的值存储到所述包络线的第i个点第二判断子模块，用于在确定所述上包络线的第i个点的绝对值小于或等于所述下包定积分计算子模块，用于对所述包络线进行定积分运算，得4值序列。上述相关值序列。5络线的第i个点的值存储到上述包络线的第i个点位置处；以及在确定上述上包络线的第i个点的绝对值小于或等于上述下包络线的第i个点的绝对值的情况下，将上述下包络线的[0010]本发明的第二方面提供了一种基于时域反射技术的太赫值序列。太赫兹脉冲信号的增强。本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方[0017]图1示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法6[0018]图2示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0019]图3示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0020]图4示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0021]图5示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0022]图6示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0023]图7示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0024]图8示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0025]图9示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强装置[0026]图10示出了根据本发明实施例的适于实现基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信7此，返回探针的反射的太赫兹脉冲信号与探针所发射出的太赫兹脉冲信号之间的波形有然基于太赫兹脉冲的时域反射的故障检测系统相对于其他系统有诸多突出的优点，但是，在实际利用基于太赫兹脉冲的时域反射的故障检测系统对待测元件的故障缺陷进行检测[0034]本发明的实施例提供了一种基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法及[0035]图1示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0037]由信号发生装置103生成太赫兹脉冲信号，通过探针102向电路样品101发射太赫赫兹脉冲的信号增强装置一般可以设置于服务器1[0040]以下将基于图1描述的场景，通过图示对本发明实施例的基于时域反射技术的太[0041]图2示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0042]如图2所示，该实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法包括操8[0056]图3示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法间长度为900ps的采样区间，可以有上万个采样点，以识别出精度为15微米以下的故障位9[0059]图4示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0065]图5示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法llllllll[0069]图6示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法的第i个点的值存储到包络线的第i个点位置处。在确定上包络线的第i个点的绝对值小于[0074]图7示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0078]图8示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法[0079]对图7中的包络线进行定积分运算后得到图8中的定积分曲线。图8中的定积分曲系统的故障检测精度。本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强方法，[0084]图9示出了根据本发明实施例的基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信号增强装置[0086]获取模块910用于在探针搭载电路样品的情况下，通过探针向电路样品发射太赫[0087]相关性分析模块920用于将反射信号与背景信号进行相关性计算，得到相关值序值序列。[0099]第二判断子模块，用于在确定上包络线的第i个点的绝对值小于或等于下包络线定积分计算模块940中的任意多个模块可以合并在一个模块中实现，或者其中的任意一个中任意一种或以其中任意几种的适当组合来实现。或者，获取模块910、相关性分析模块920，包络线分析模块930和定积分计算模块940中的至少一个可以至少被部分地实现为计[0103]图10示出了根据本发明实施例的适于实现基于时域反射技术的太赫兹脉冲的信储在只读存储器（ROM）1002中的程序或者从存储部分1008加载到随机访问存储器（根据本发明实施例的方法流程的不同动作的单一处理单元或者是ROM1002以及RAM1003通过总线1004彼此相连。处理器1001通过执行ROM1002和/或RAM存储在所述一个或多个存储器中的程序来执行根据本发明实施例的方以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。例如，根据本发明的实施例，计算机可读存储介质可以包括上文描述的ROM1002和/或RAM1003和/或ROM1002和RAM1003以外的一个或多个存储器。包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。当计算机程序产品在计算机系统中运行时，该程序代码用于使计算机系统实现本发明实施例所提供的基于时域反射技术的太赫兹脉[0110]在该计算机程序被处理器1001执行时执行本发明实施例的系统/装置中限定的上[0112]在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信部分10