显微分析技术电子显微镜5

特殊形态微球的电镜图片24h2h6h电镜仪器扫描探测和椭圆光度显微镜法（SPEM）＋＝SPEM是一台把扫描探测显微镜方法(SPM)和影像椭圆光度法两种方法结合在一起的分析仪器。场发射透射电子显微镜

1.点分辨率：

0.19nm

2.线分辨率：

0.14nm

3.加速电压：

80,100,120,160,200kV

4.倾斜角：

25

5.STEM分辨率：

0.20nmJEM-2100F扫描电子显微镜

JSM-6360LV1.高真空模式：3.0nm低真空模式：4.0nm

2.低真空度1to270Pa，高、低真空切换

3.样品台X:80mmY:40mmT:-10to+90degreeR:360degree

4.加速电压0.5kVto30Kv束流1pA—1uA

5.真空系统马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像。

2.全自动电子枪

3.高灵敏度半导体背散射探头

4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统

5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2厘米见方的样品

主要特点KYKY-2800B型扫描电子显微镜1.分辨本领：

4.5nm

2.放大倍数：

15X～250,000X

3.加速电压：

0.1kV～30kV

4.试样尺寸：

Φ60mm（最大）1、分辨率

6.0nm(钨丝阴极)

2、放大倍数

15倍～250000倍

3、电子光学系统电子枪：发叉式钨丝阴极

加速电压：0～30KV

透镜系统：三级电磁透镜

物镜光阑：三个可在真空外选择调节KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜CSPM3000系列扫描探针显微镜广泛的应用范围物理学化学生物和生命科学材料科学微电子科学和技术表面科学纳米科学和技术CSPM3000系列多模式扫描探针显微镜性能指标

■分辨率：

扫描探针显微镜(STM)：横向0.13nm垂直0.01nm（以石墨定标）

原子力显微镜(AFM)：横向0.26nm垂直0.1nm（以云母定标）

■探针激励信号：

振幅为0～2V频率为DC～1000kHz（32-bit分辨率）AP-990

原子力显微镜

AtomicForceMicroscopes

观察抛光固本表面、薄膜表面的表面形貌,价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量,掺杂后的电场分布,用于观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等.可用于微电子集成电路器件的失效分析.扫描探针显微镜

Scanner

X,Y

scan

size:

200

×

200

micron

X,Y

resolution:

1

nm

Z

range:

15

micron

Z

resolution:

<

0.5

nm

Approach

Type:

Automatic

Length:

>

1.5

mm

Operation

Mode:

AC,

DC,

LFM,

MFM.

Optional

mode:

STM,

Conductive

AFM.

Imaging:

Topography,

Phase,

Lateral

Force.

Objective

Type:

Bright

Field.

Focal

length:

95

mm.

Magnification:

15X.

AJ-Ⅰ型扫描隧道显微镜（STM)

1.STM探头