CN109068538B 一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法 （西安交通大学）_第1页
CN109068538B 一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法 （西安交通大学）_第2页
CN109068538B 一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构及其制作方法 （西安交通大学）_第3页
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US6129145A,2000.10.10一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结本发明公开了一种基于金刚石微流通道的2长条件为：反应气体为甲烷，氢气，气体流量分别为300sccm和30sccm，生长气压1203.如权利要求1或2所述的一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构，其特征在于，5.如权利要求3或4所述的一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构，其特征在于，6.如权利要求1-5中任意一项所述的一种基于金刚石微流通道的液冷散热器结构的制3[0005]本发明的目的是提供一种基于金刚石微流通道的液冷散4括层叠设置的金刚石衬底1和金刚石外延层3，金刚石衬底1内设置若干条金刚石微流通道[0023]金刚石微流通道2的通道宽度6为1μm-100μm，金刚石微流通道2的通道深度5与通5阵列转移至金刚石衬底1表面，刻蚀条件为：刻蚀气体为氧气和氩气，气体流量分别为6

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