CN111135450B 一种带有凸台结构的微针制备方法 （湖北楚天药业有限责任公司）

号KR20170024951A,2017.0CN212308650U,2021.01.08本发明公开了一种带有单个或多个凸台结结构的存在可有效扩展经皮引入的通路及扩充2进一步地，用湿法刻蚀或离子束对曝光处二氧化硅或氮化硅保护膜进行进一步地，用湿法刻蚀或离子束对硅基片第一面曝光处二氧化硅或进一步地，用湿法刻蚀或离子束对曝光处二氧化硅或氮化硅保护膜进行所述带有凸台结构的微针包括支撑体(3)和带有凸台结构(2)的微针本体(1)阵列；所所述微针本体(1)沿径向延伸形成一个或多个凸台结构(2)，且所述凸台结构(2)与微2.根据权利要求1所述的一种带有凸台结构的微针的高温热氧化制备二氧化硅保护膜的温度范围为700～1200℃,在硅基片两面分别形成33.根据权利要求1所述的一种带有凸台结构的微4.根据权利要求1所述的一种带有凸台结构的微针制备方法，其特征在于：所述步骤5.根据权利要求1所述的一种带有凸台结构次等离子体轰击去除底部钝化层范围不大于第一次等离子体轰击6.根据权利要求1所述的一种带有凸台结构的微针制中，上述用化学气相沉积法或物理气相沉积或溅射法沉积一层氮化硅薄膜或金属钛薄膜，宽度位置与所述微针本体(1)顶面之间的距离在所述微针本体(1)轴线上投影长度不大于底面至针尖的贯通孔(4)，或是从支撑体底面至微针本体中部或针尖下方的非贯通孔(5)，4米微针在皮肤角质层形成微小通道太小，限制了生物医药介质穿过皮肤角质层屏障的速皮下神经系统，在不造成皮肤疼痛及刺激的情况下为生物医药等介质经皮进入创造了通支撑体和带有凸台结构的微针阵列；所述微针本体为上小下大的圆锥形或多棱锥形结构，5述凸台结构最大宽度不小于与之相连的上下方的所述微针本支撑体底面至针尖的贯通孔，也可为从支撑体底面至微针本体中部或针尖下方的非贯穿硅基片保护膜上形成所需要的图案；6硅基片保护膜上形成所需要的图案；[0037]步骤5，后处理，用化学气相沉积法或物理气相沉积或溅射法沉积一层氮化硅薄[0040]优选的是，所述步骤2的等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅保护层厚度为[0048](1)本发明设计了带有凸台结构的纳米微针，可穿透皮肤角质层而不触碰真皮层[0049](2)本发明的纳米微针的凸台结构可有效扩展经皮引入的通路及及扩充生物医药7[0053]图4为本发明的制备带有单个凸台结构且带有贯穿孔的空心硅微针一实施例流程硅基片保护膜上形成所需要的图案；各向同性工艺刻蚀形成的球形凹坑尺寸大于第一8微针本体1为曲线或直线过渡连接；如附图2所示为带有单个凸台结构的微针结构示意图，[0080]进一步地，支撑体3和带有凸台结构2的微针本体1阵列表面均制备有一层氮化硅[0082]附图4所示为本发明的制备带有凸台的空心硅微针一实施例流程图，同实心微针[0083]进一步地，可选择700～1200℃高温热氧化制备厚度为100nm_10μm的二氧化硅保9各向同性工艺刻蚀形成的球形凹坑尺寸大于第一[0105]附图5所示为本发明的带有单个凸台结构且带有贯通孔的空心硅微针透视示意[0109]进一步地，上述空心针体内部沿微针本体轴向开设有从支撑体3底部开始开孔直[0110]附图7所示为本发明实施例带单个凸台结构且带贯穿孔的空心微针阵列示意图，[0111]附图6所示为本发明的带单个凸台结构且带非贯穿孔的空心微针结构透视图，所述微针本体1从支撑体3底部沿轴向开设有孔洞5，且所述孔洞5从支撑体3底面开始沿轴向