CN111251133B 一种金刚石打磨抛光加工设备及加工方法 （中国地质大学（北京））_第1页
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A,1993.07.27U,2015.09.23A,2013.09.04U,2020.12.08本发明公开了一种金刚石打磨抛光加工设光盘是用纳米聚晶金刚石材料制成的透明抛光周围设置的通气孔在金刚石打磨加工过程中喷21.一种金刚石打磨抛光加工设备的加工方法，采用一种金刚石打磨抛光加工设备实所述上装夹盘的顶端设有液压升降装置，由单片机系统控制液压升降所述抛光盘是用纳米聚晶金刚石材料制成的透明抛光盘，抛光盘固所述湿度控制模块将混有湿度的氮气经上装夹盘周围设置的通气孔在金刚石打磨加不需加工晶面周围进行包裹式粘结，用电磁吸附法将钢球固定在上装夹盘的半球凹槽内，通过湿度控制，利用金刚石抛光盘的湿度感性的不同来控制且所述抛光盘的中间开设有与动力装置的动力杆相湿度控制是通过干燥氮气分别通入有去离子水的腔体进入湿度混合室与直接进入湿3[0011]所述湿度控制模块将混有湿度的氮气经上装夹盘周围设置的通气孔在金刚石打2000℃环境下直接合成的透明金刚石磨盘；4[0022]湿度控制是通过干燥氮气分别通入有去离子水的腔体进入湿度混合室与直接进[0027]通过湿度控制，利用金刚石抛光盘的湿度感性的不同来控制打磨界面的水解反5动力装置的抛光机底座上；所述湿度控制模块是由混有湿度的氮气通过上装夹盘1周围的次固定粘结，最后通过上装夹盘1上的半球凹槽13借助电磁吸附法将钢球底部固定在半球[0049]所述上装夹盘1的顶端设有液压升降装置3，由单片机系统控制液压升降装置3实6通入与通气孔12相连通的进气管4，气体在通气孔12喷出改变打磨加工界面处湿度来影响[0051]为了避免打磨过程中外界气体流动的影响，在设备打磨抛光（上装夹盘1与抛光[0054]所述上装夹盘1上还设有与外部螺栓配合用于将上装夹盘1稳定安装在液压升降7

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