CN112113707B 小漏率正压漏孔校准方法及装置 （上海市计量测试技术研究院）_第1页
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CN213120977U,2021.05.04于差压薄膜规读数P，可得出其中Q代表02室设置一活塞，通过先测量推进活塞引起的压12所述参考室的管路上设置一可排气的放空阀(6)，所述校准室的管路上设置一测试阀在校准室设置一活塞(10)，通过先测量推进活塞(10)引起再测量由被检漏孔流入校准室引起的压力P随时间t的变化率，从而所述温控采用PID控制系统(2)对半导体制冷恒温控制系统将被校漏孔通过测试阀与校准室相连，读取差压薄膜规示值P1，气动所述活塞(10)由气动控制装置(16)控制，采用容栅尺(9)测量活塞行程，所述活塞所述半导体制冷恒温控制系统包括依次相连的电源模块、半导体制冷34[0020]1)通过理论推导计算，发现了漏入气体量和差压薄膜规5[0035]传统的正压漏孔校准方法是被校漏孔与校准室相连接，化率就可以得到被校漏孔漏率。但是差压薄膜规是依据薄膜的弹性变形原理来测量压力r62-P1)容器，它的作用是利用电容的电荷耦合方式将机械位移量转变成为电信号的相应变化量，致测得的压差是活塞推进和漏孔漏入共同引起的，所以要将漏孔漏入的体积影响量消除，校准温度变化导致正压漏孔出口端压力变化而引起的虚漏量是影响测量下限及精度的主7技术有效的结合起来，就可以实现空间的恒温控制。图5所示为半导体制冷恒温控制系统两端分别放置两个高精度温度探头来监测校准室和参考室温度。设置恒温系统温度为(2389

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