版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
使用同轴波导的等离子体装置以及基板处轴波导的通过在分支部处分支而获得的分支部2多个杆，其具有导体和包围该导体的电介质，其导电桩，其设置在同轴波导的通过在分支部处分支而获得的其中，所述同轴波导具有微波引入部和多个端部，该多个端部通其中，所述导电桩设置在第一分支部，该第一分支部是多个其中，所述导电桩形成为从外导体的内壁在内导体的方向所述第一分支部是确定是否是微波引入部连接到中心杆还是微波引入部连接到边缘8.根据权利要求1或2所述的等离子体装置，其中，通过将桩插入同轴波导的分支部中来分配微波的功率，将微波从其中多个杆具有导体和包围该导体的电介质且在电介质和导体之间设置有第二间隙，所述多个杆连接在分支部处分支的同轴波导的其中导电桩设置在同轴波导的通过在分支部处分支而获得的插入同轴波导的内导体和外导体之间的第一间隙并且可从其中，所述同轴波导具有微波引入部和多个端部，该多个端部通其中，所述导电桩设置在第一分支部，该第一分支部是多个3使得所述导电桩从外导体的内壁在内导体的方向上突出，由此允4[0001]描述的示例涉及使用同轴波导的等离子体装置以及使用该等离子体装置的基板5[0022]图1是示出等离子体装置的构造示例的透视图。该等离子体装置包括微波引入部向上延伸的波导。在x正负方向上从引入波导12A分支的边缘波导12C连接到该引入波导[0024]另一分支部设置在引入波导12A的分支部12D的下方，在x正负方向上分支的中心部处分支而获得的多个端部12E。多个分支部中最靠近微波引入部10的分支部是第一分支6[0038]图4中的x正负方向上的箭头表示提供给边缘波导12C的微波。图4中的z负方向上7气体提供到室16中。在已经将气体提供到室16中的状态下或者正在将气体提供到室16中可以使中心杆的电场强度低于边缘杆的电场子体密度即电子密度为5.00E+17(1/m3)的情况以及对于等离子体密度为7.00E+17(1/m3)的89
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 2026 儿童专注力培养课件教学活动
- 一例心房颤动患者的护理个案
- 工程担保合同
- 项目管理策划书
- 机动车灯光隐患排查评估整治技术指南(2025年版)
- 公司项目落地与综合管控融合自查报告
- 全玻幕墙施工方案
- 畜禽养殖粪污治理监理规划
- 消化系统疾病的护理与护理发展
- 泌尿系结石的非手术治疗方法
- 政务颁奖礼仪培训
- 疝气手术护理宣教
- 行文格式规范培训
- 肝癌破裂出血的护理
- 持续时间模型的估计与检验
- 螺旋改直升气柜施工方案
- 陶瓷茶具基本知识培训课件
- 《国际结算（双语）》试卷B及参考答案
- 2025年北京信息职业技术学院单招笔试英语试题库含答案解析(5套100道合辑-单选题)
- 上肢骨折(医学课件9)
- 布氏杆菌培训课件
评论
0/150
提交评论