CN112447807B 显示设备及制造显示设备的方法 （三星显示有限公司）

US2018175009A1,201本申请涉及显示设备以及制造显示设备的底上以覆盖第一电极和第二电极中的每个的至电极和发光元件的一个端部接触；第二接触电缘图案的至少一部分与第一接触电极和第二接与第一接触电极或第二接触电极接触的第一上2第一绝缘图案，位于所述衬底上以覆盖所述第一电极第二绝缘图案，位于所述发光元件上，所述第二绝缘图案的其中，所述第二绝缘图案包括不与所述第一接触电极或所述第所述第二绝缘图案的在所述第一方向上的宽度小于所述发光元件的在所述第一方向触的第一下表面和与所述第一绝缘图案接触5.根据权利要求4所述的显示设备，还包括位于所述发光元件和所述第一绝缘图案之度小于所述第二绝缘图案的在所述第一方向上的所述第二绝缘图案包括与所述第一接触电极接触的第一接触表面和与所述第二接触所述第一接触表面位于所述第二绝缘图案的第一侧表面上，并且所述第一接触电极还包括与所述第一接触表面连接的第从所述第二上表面和所述第三上表面中选择的至少一个与所述第一上表3择的至少一个与由所述第一上表面限定的参考第二电极，在所述第一方向上延伸并且在与所述第绝缘图案，在所述第一接触电极和所述第二接触电极之间位绝缘图案包括第一侧表面和面对所述第一侧表面其中，所述绝缘图案在所述第一方向上延伸，所述第一侧表所述绝缘图案在厚度方向上不与所述第一接触电极和所述第二接等于所述第一接触电极与所述第二接触电极之间的区域的在所述且所述绝缘图案的所述宽度小于所述发光元件的在所述第二方向在所述绝缘层上形成剥离层，并图案化所述绝缘层以在所述发光元件上形成绝缘图形成与所述绝缘图案的一个侧表面接触的第一接触电极和与所述绝缘图案的另一侧所述绝缘图案包括这样的区域，在所述区域中，所述一个侧表面和所4[0002]本申请要求于2019年8月28日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0105691号韩[0003]本公开的实施方式的一个或多个方面涉及显示设备及制造显示设备的方法。例含)有机材料作为荧光材料的OLED和/或使用(包含)无机材料作为荧光材料的无5且绝缘图案可以包括其中一个侧表面和另一侧表面被暴露并且不与第一接触电极或第二67[0057]显示设备10可以包括显示区域DA和非显示区域NDA。显示区域DA是其中可以显示[0058]显示区域DA可以大致占据显示设备10的中央。显示区域DA可以包括多个像素P[0059]图2是根据一个实施方式的显示设备的一个像素的示意性平面图。图3是示出图2[0061]显示设备10的每个子像素PXn可以包括限定为发光区域EMA的区域。第一子像素8可以一起形成发光区域EMA，该发光区域EMA包括其中存在发光元件300的区域和与其中存[0065]多个电极210和220可以包括第一电极210和第二电极220[0066]第一电极210和第二电极220可以分别包括在第一方向DR1上延伸的电极杆210S和220S以及在与第一方向DR1相交的第二方向DR2上从电极杆210S和220S延伸并分支的一个[0067]第一电极210可包括在第一方向DR1上延伸的第一电极杆210S以及从第一电极杆210S分支以在第二方向DR2上延伸的至少[0068]任何一个像素PX的第一电极杆210S的两端可以在子像素PXn之间形成为彼此间隔支并在第二方向DR2上延伸。第一电极分支210B可以与面对第一电极杆210S的第二电极杆[0070]第二电极220可以包括第二电极杆220S和第二电极分支220B，第二电极杆220S在第一方向DR1上延伸并且在第二方向DR2上与第一电极杆210S间隔开以面对第一电极杆210S，第二电极分支220B从第二电极杆220S分支并且在第二方向DR2上延伸。第二电极杆9220S的一个端部可以在第一方向DR1上连接到与其相邻的另一子像素PXn的第二电极杆[0071]第二电极分支220B可以在第一方向DR1上与第一电极分支210B间隔开并且可以在[0072]第一电极210和第二电极220可以各自通过接触孔(例如，第一电极接触孔CNTD和极接触孔CNTD已经被示出为形成在每个子像素PXn的第一电极杆210S中，并且一个第二电极接触孔CNTS已经被示出为形成在与每个子像素PXn交叉的一个第二电极杆220S中(例如，的至少一些区域彼此间隔开并且彼此面对以形成其中发光元件300将被放置在第一电极210和第二电极220的所述至少一些区域[0074]此外，在一些实施方式中，可以从第一电极210和第二电极220分别省略电极杆[0075]多个堤部410、420和430可以包括位于子像素PXn之间的边界处的外堤部430以及位于电极210和220下方的与每个子像素PXn的中央相邻的多个内堤部410和420。在一个或430可以在第一方向DR1上延伸且可以沿第二方向DR2定位在每两个相邻的子像素PXn之间其他发光元件300可以以规则间隔隔开的状态被分组且可以具有不均匀的密度，但是可以伸方向可以与发光元件300的延伸方向基本上垂直(例如，可以与发光元件300的延伸方向像素PX1的发光元件300可以包括发射具有中央波长范围内的第一波长的第一光L1的有源层330，第二子像素PX2的发光元件300可以包括发射具有中央波长范围内的第二波长的第二光L2的有源层330，并且第三子像素PX3的发光元件300可以包括发射具有中央波长范围495nm的中央波长范围内的蓝光，第二光L2可以是在495nm至570nm的中央波长范围内的绿(或种类)的发光元件300以发射具有基[0083]第一绝缘层510可以位于显示设备10的每个子像素PXn中。第一绝缘层510可以基510可以覆盖第一电极210和第二电极220的至少一部分。在一些实施方式中，第一绝缘层510可以暴露第一电极210和第二电极220的一些部分，例如第一电极分支210B和第二电极可以与发光元件300以及电极210和220接触，并且发光元件300可以通过接触电极260从第第二接触电极262可以分别位于第一电极分支210B和第二电[0086]第一接触电极261可以位于第一电极210或第一电极分支210B上，并在第二方向触电极262电连接到第一电极210和第二电向上测量的比第一电极210和第二电极220(或第一电极分支210B和第二电极分支220B)中覆盖第一电极210和第二电极220(或第一电极分支210B和第二电极分支220B)的侧部。然覆盖第一电极分支210B和第二电极分支22[0088]尽管在附图中在一个子像素PXn中已经示出了两个第一接触电极261和一个第二包括在每个子像素PXn中的第一电极210和第二电极220的数量或者第一电极分支210B和第[0089]在一个或多个实施方式中，发光元件300的外表面上定位有第二绝缘层520(参见绝缘层510可以包括位于第一电极210和第二电极220之间的第一绝缘图案510P(参见图4)，[0091]第二绝缘图案521可以在第一电极210和第二电极220之间在第二方向DR2上延[0092]除了第一绝缘层510之外，显示设备10可以包括位于电极210和220中的每个下方[0094]图4示出了第一子像素PX1的剖视图，但是图4可以类似地应用于另一像素PX或子像素PXn。图4示出了从第一子像素PX1中的发光元件300的一个端部到另一个端部的剖视并且发光层EML可以包括定位在第一晶体管120和第二晶体管140上的多个电极210和220、[0097]光阻挡层BML可以位于衬底110上。光阻挡层BML可以包括第一光阻挡层BML1和第二光阻挡层BML2。第一光阻挡层BML1可以电连接到将在下面描述的第一晶体管120的第一[0098]第一光阻挡层BML1和第二光阻挡层BML2分别定位成与第一晶体管120的第一有源材料层126和第二晶体管140的第二有源材料层146重叠。第一光阻挡层BML1和第二光阻挡层BML2可以包括光阻挡材料，以防止(或减少)光入射到第一有源材料层126和第二有源材[0101]第一有源材料层126可以包括第一掺杂区126a、第二掺杂区126b和第一沟道区杂区126b、第三掺杂区146a和第四掺杂区146b可以是第一有源材料层126和第二有源材料一有源材料层126和第二有源材料层146可以各自独立地包括氧化物半导体。在这种情况有半导体层的整个缓冲层115。第一栅极绝缘层150可以用作第一晶体管120和第二晶体管层可以包括位于第一晶体管120的第一有源材料层126上的第一栅电极121、位于第二晶体管140的第二有源材料层146上的第二栅电极141以及位于辅助层163上的电力线161。第一栅电极121可以与第一有源材料层126的第一沟道区126c重叠，并且第二栅电极141可以与一导电层上方的其他层之间的绝缘层。层间绝缘层170可以包括有机绝缘材料并且可以执电极123和第一源电极124、第二晶体管140的第二漏电极143和第二源电极144以及位于电[0107]第一漏电极123和第一源电极124可以分别通过穿过层间绝缘层170和第一栅极绝电极143和第二源电极144可以分别通过穿过层间绝缘层170和第一栅极绝缘层150的接触和第二漏电极143可以通过其他接触孔电连接到第一光阻挡层BML1和第二光阻挡层[0110]多个堤部410、420和430可以包括位于每个子像素PXn中的彼此间隔开的内堤部410和420以及位于与其相邻的子像素PXn的边界[0112]在制造显示设备10期间，当使用喷墨打印设备注射其中分布有发光元件300的墨[0113]多个内堤部410和420可以包括定位成与每个子像素PXn的中央相邻的第一内堤部[0114]第一内堤部410和第二内堤部420可以彼此间隔开并且可以彼此面对。第一电极[0115]第一内堤部410和第二内堤部420可以在每个子像素PXn中在第二方向DR2上延且第一内堤部410和第二内堤部420可以定位在每个子像素PXn中以形成图案。多个堤部[0116]第一内堤部410和第二内堤部420可以具有其中第一内堤部410和第二内堤部420的至少一部分相对于通孔层200部分地突出的结构。第一内堤部410和第二内堤部420可以发光元件300发射的光可以从位于内堤部410和420的倾斜侧表面上的电极210和220反射，[0118]多个电极210和220可以位于通孔层200以及内堤部410和420上。电极210和220可和第二电极220的一些区域可以位于第一内堤部410和第二内堤部420上。例如，第一电极210和第二电极220的在第一方向DR1上测量的宽度可以各自大于内堤部410和420的在第一堤部410和第二内堤部420可以在第二方向DR2上延伸，使得第一电极杆210S、第二电极杆并且如图中所示，第一电极杆210S和第二电极杆220S可以不与第一内堤部410和第二内堤[0121]第一电极接触孔CNTD可以通过穿过通孔层200形成在第一电极杆210S中以部分地暴露第一晶体管120的第一漏电极123。第一电极210可以通过第一电极接触孔CNTD与第一[0122]第二电极接触孔CNTS可以通过穿过通孔层200形成在第二电极杆220S中以部分地极220可以电连接到电力电极162以从其接收预定(或设定)[0123]第一电极210和第二电极220的一些区域(例如，第一电极分支210B和第二电极分支220B)可以分别位于第一内堤部410和第二内堤部420上。第一电极分支210B可以覆盖第电极分支220B可以彼此间隔开，并且多个发光元件300可以位于第一电极分支210B和第二中，入射在电极210和220中的每个上的光可以被反射并在每个子像素PXn的向上方向上发510部分地覆盖第一电极210和第二电极220。第一绝缘层510中可以形成有开口OP1和OP2一绝缘层510的开口OP1和OP2可定位成暴露第一电极210和第二电极220的相对平坦的上表机绝缘材料，并且覆盖第一电极210和第二电极220的第一绝缘层510的上表面的部分可以由于定位在第一绝缘层510下方的构件的台阶而凹陷。在第一电极210和第二电极220之间的第一绝缘层510上的发光元件300可以形成在第一绝缘层510的凹陷的上表面之间的空的以位于其中电极210和220与第一内堤部410和第二内堤部420的倾斜侧表面重叠的区域中。接触电极260可以与第一电极210和第二电极220的暴露区域接触，并且可以与第一绝缘层[0129]第一绝缘层510可以保护第一电极210和第二电极220，并且同时(或并行地)可以素PXn中的发光元件300中的至少一些可以位于电极分支210B和220B之间的区域之外的区半导体层320和电极层370的外表面。显示设备10中的发光元件300可以定位成使得其延伸的端表面上，并且发光元件300的端表面被暴露，所以暴露的端表面可以与第一接触电极方式中，第二绝缘层520的材料的一部分可以位于发光元件300的下表面和第一绝缘层510之间。第二绝缘层520可以形成为填充在制造显示设备10的工艺期间形成的、第一绝缘层第一电极210和第二电极220之间的第一绝缘图案510P，并且第二绝缘层520可以包括位于发光元件300上的第二绝缘图案521以及位于发光元件300和第一绝缘图案510P之间的第三第二绝缘图案521可以是围绕发光元件300的外表面的部分，并且第二绝缘层520的第三绝缘图案522可以位于第一绝缘图案510P的部分凹陷的部分上以填充形成在发光元件300与[0135]因为第一绝缘图案510P、第二绝缘图案521和第三绝缘图案522位于第一电极210和220以及接触电极261和262接触以形成多个接触表面。下面将参考其他附图对绝缘图案[0136]第一接触电极261和第二接触电极262分别位于电极210和220上。第二绝缘层520可以位于第一接触电极261和第二接触电极262之间，并且可以使第一接触电极261与第二接触电极262绝缘，以防止(或保护以避免)第一接触电极261和第二接触电极262彼此直接[0137]第一接触电极261和第二接触电极262可以与发光元件300的至少一个端部接触，并且可以电连接到第一电极210或第二电极22[0138]第一接触电极261可以与第一内堤部410上的第一电极210的暴露区域接触，并且第二接触电极262可以与第二内堤部420上的第二电极220的暴露区域接触。第一接触电极[0141]以上描述的第一绝缘层510、第二绝缘层520和钝化层550中的每个可以包括无机可以各自独立地包括无机绝缘材料，诸如硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)、硅氮氧化物[0142]图5是示出沿图3的线Xb-Xb’截取的剖视图的一部分的剖视图。图6是沿图3的线[0143]图5是横跨第一电极210和第二电极220之间的发光元件300的两个端部(例如，从和第二电极220之间并且可以与第一电极210和第二电极220部分地重叠。第一绝缘图案510P可以覆盖第一电极210和第二电极220的位于通孔层200上的部分以及第一电极210和电极210与第二电极220间隔开的区域中与通孔层200接触。由于第一绝缘图案510P与第一阶，并且可以在第一绝缘图案510P与定位在第一绝缘图案510P的上表面上的发光元件300一电极210和第二电极220，并且然后可以形成开口OP1和OP2(参见图11)以暴露第一电极210和第二电极220。第一绝缘图案510P是其中第一绝缘层510中未形成开口OP1和OP2的部在第一方向DR1上测量的宽度W4可以大于发光元件300的在第一方向DR1上测量的长度W1。二电极220之间的发光元件300上形成第二绝缘层520(或第二绝缘图案521)来固定(贴附)案521的位于与发光元件300重叠的区域中的第一下表面可以与发光元件300接触，并且第二绝缘图案521的位于不与发光元件300重叠的区域中的第二下表面可以与第一绝缘图案[0151]第二绝缘图案521可以位于第一接触电极261和第二接触电极262之间，并且可以的两个端部被暴露。第一接触电极261和第二接触电极262可以分别与发光元件300的两个端部接触，并且还可以与发光元件300的当不存在第二绝缘图案521时可暴露的侧表面接可以防止(或减少)构成接触电极261和262第三绝缘图案522的在第一方向DR1上测量的宽度W3可以根据形成在第一绝缘图案510P中第二绝缘图案521的宽度W2大于第三绝缘图案522的宽度W3，所以发光元件300下方的第三并且第二绝缘图案521的宽度W2和第三绝缘图案522的宽度W3可以其上定位有剥离层PR并保留有剥离层PR的部分可以形成第二绝缘图案521，并且第一接触此，第二绝缘图案521的随后通过去除剥离层PR而暴露的第一上表面521U可以不与第一接于第二绝缘图案521的第一侧表面上，并且第二接触表面CS2可以位于第二绝缘图案521的第二绝缘图案521接触的表面的第一接触表面CS1和作为第二接触电极262与第二绝缘图案521接触的表面的第二接触表面CS2可以不平行于第二绝缘图案521的第一上表面521U。第一接触表面CS1和第二接触表面CS2可以形成为不平行于第二绝缘图案521的第一上表面[0156]上表面261U和262U可以限定在与第二绝缘图案521接触的第一接触电极261和第接到第一接触表面CS1的部分的上表面，并且第二接触电极262可以包括第三上表面262U，二绝缘图案521的第一上表面521U可以与第一接触电极261的第二上表面261U和第二接触表面261U和第三上表面262U一起形成相同的平坦(或基本上触电极261和262的材料可以不形成在第二绝缘图案521的第一上表面521U上，并且可以仅些实施方式中，第二上表面261U和第三上表面262U可以与第二绝缘图案521的第一上表面图案521的宽度W2(其小于发光元件300的长度W1)，因此发光元件300与接触电极261和262[0161]根据一个实施方式的发光元件300可以具有在一个方向上延伸的形状。发光元件的多个半导体(其将在下面更详细地描述)可以具有其中半导体在一个方向上顺序地布置以是495nm至570nm的中央波长范围内的绿光或者620nm至750nm的中央波长范围内的红光。300发射蓝色波长范围内的光时，第一半导体0≤y≤1且0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，半导体材料可以是选自掺杂有p型杂质的括具有单量子阱结构或多量子阱结构的材料。当有源层330包括具有多量子阱结构的材料射450nm至495nm的中央波长范围内还可以发射到发光元件300的两个侧表面。从有源层330发射的光的方向性不限于一个方[0172]在根据一个实施方式的显示设备10中，当发光元件300电连接到电极或接触电极中，绝缘层380可以至少围绕有源层330的外表面并且可以在发光元件300延伸的一个方向的侧表面并且暴露发光元件300的在其长度方些半导体层(包括有源层330)的外表面或仅覆盖电极层370的外表面的一部分时，电极层止当有源层330与电信号通过其传输到发光元件300的电极直接接触时可能发生的电短路(或降低电短路的风险)。此外，因为绝缘层380保护包括有源层330的发光元件300的外表10的制造中，发光元件300可通过以分布在预定(或设定)墨水中的状态注射到电极上来布置。这里，为了允许发光元件300在墨水中保持分布状态而不与和其相邻的另一发光元件200上形成第一电极210和第二电极220，在第一电极210和第二电极220之间形成发光元件剥离层PR上形成金属层MTL，并去除剥离层PR以形成与绝缘图案的一个侧表面接触的第一接触电极261和与绝缘图案的另一侧表面接触[0182]制造显示设备10的工艺可以包括形成第一接触电极261和第二接触电极262的剥极210和第二电极220的结构与以上参考图4所描述的结构相同，所以这里将不重复对它们第一电极210和第二电极220的开口OP1和OP2。开口OP1和OP2可以包括暴露第一电极210的第一开口OP1和暴露第二电极220的第二开口OP2。第一开口OP1和第二开口OP2可以分别暴露电极210和220的位于内堤部410和420上的区域。开口OP1和OP2形成在第一绝缘体层510’金属层MTL可以包括与接触电极261和262相接触。金属层MTL可以包括位于第一电极210上并且与发光元件300的一个端部接触的第一MTL1和第二金属层MTL2可以分别形成第一接触电极261和第二接触电极262。第一金属层金属层MTL2可以与第二绝缘图案521的第二侧表面(包括发光元件300的另除，并且可以暴露第二绝缘图案521的第一上表面521U。因为剥离层PR位于第二绝缘图案[0198]根据一个实施方式的制造显示设备10的方法可以使用剥离工艺在一个工艺中同除剥离层PR而暴露的第一上表面521U可以与第一接触电极261的第二上表面261U和第二接[0199]在一些实施方式中，在其中发光元件300未定位在第一电极210和第二电极220之绝缘图案521可以直接位于第一绝缘图案510P上并且可以与形成在第一绝缘图案510P的凹三上表面262U可以不与第二绝缘图案521的第一上表面5表面261U_1和第二接触电极262_1的第三上表面262U_1中的至少一个可以与由第二绝缘图[0204]在图19的显示设备10_1中，第二绝缘图案521_1的第一上表面521U_1可以与第一以与参考表面间隔开。如图中所示，第二绝缘图案521_1的(从发光元件300到第一上表面521U_1测量的)高度Ha可以大于第一接触电极261_1的(从发光元件300到第二上表面261U_1测量的)高度Hb和第二接触电极262_1的(从发光元件300到第三上表面262U_1测量的)高光元件300，第二绝缘图案521_1的第一上表面521U_1可以形成在比第一接触电极261_1的第二上表面261U_1和第二接触电极262_1的第三上表面262U_1[0207]参考图20至图23，在制造显示设备10_1的方法中，可以进一步在第二绝缘体层案521_1的侧表面的一部分上，并且第一金属层MTL1_1和第二金属层MTL2_1可以不形成在且可以暴露第二绝缘图案521_1的两个侧表面的其中没有沉积构成金属层MTL_1的材料的绝缘图案521_1的两个侧表面的一些部分可以不与第一接触电极261_1和第二接触电极据一个实施方式，显示设备10_3还可以包括形成为保护第一接触电极261_3的第三绝缘层[0214]参考图25，根据一个实施方式的显示设备10_3还可以包括在第一接触电极261_3[0215]图25的显示设备10_3可以包括第一接触电极261_3和使第一接触电极261_3与第二接触电极262_3电绝缘的第三绝缘层530_3。第三绝缘层530_3可以覆盖第一接触电极[0216]在显示设备10_3中，可以使用剥离工艺形成第一接触电极261_3和第二接触电极一起形成时，第一接触电极261_3的上表面可以与第二绝缘层520的第二绝缘图案521_3的上表面共面。第一接触电极261_3可以与第二绝缘图案521_3的一个侧表面和发光元件300时，第二接触电极262_3的上表面可以与第三绝缘层530_3的上表面共面。第二接触电极262_3可以与第二绝缘图案521_3的另一侧表面、第三绝缘层530_3的一个侧表面和发光元[0217]第三绝缘层530_3可以位于第一接触电极261_3和第二接触电极262_3之间，以使第一接触电极261_3与第二接触电极262_3电绝缘。第三绝缘层530_3的与第二接触电极262_3接触的一个侧表面可以与第二绝缘图案521_3的另一侧表面(其与第二接触电极262_[0218]可以形成钝化层550以保护第三绝缘层530_3和第二接触电极262_3。这里将不再DR1上延伸的电极杆210S和220S(参见图2)。图26的显示设备10_4与图2的显示设备10的不这里将不再重复结合图2描述的元件的重复描述，并且以下描述将集中于所描述的实施方邻的子像素PXn可以从第二电极220_4接收极接触孔CNTS电连接到电路元件层PA[0224]第一电极210_4可以形成为在第二方向DR2上延伸到每个子像素PXn的边界。在第成在第二方向DR2上延伸