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文档简介
压轴题解题技巧(3大题型)
目录
01折方法策略..................................................................................1
02破方法攻坚..................................................................................4
题型一力学综合性压轴题...................................................................4
题型二带电粒子在电磁场中运动压轴题.....................................................13
题型三电磁感应综合性压轴题..............................................................24
.NO..
析•方法策略
一、战略层面:调整心态,精准定位
1.明确目标,合理取舍
(1)压轴题结构:通常由2-3个小问组成。第一问往往是基础模型,容易拿分;第二问开始综合;第
三问则可能是区分度最高的。
(2)策略:你的首要目标是“抢分”,而不是“满分”。考试时,如果看题3-5分钟完全没有思路,果
断跳过,先保证把易拿的分数(如选择题、实验题、压轴题第一问)收入囊中。有时间再回头攻克。
2.战略藐视,战术重视
(1)心理上:不要预设“我肯定做不出来”的恐惧。压轴题通常由经典模型组合、变形而来,你平时
一定练过类似的元素。
<2)行动上:耍极度细致。压轴题往往陷阱多、过程多,一个符号看错,满盘皆输。
二、战术层面:四步解题法
面对一道复杂的压轴题,可以按照以下四个标准步骤来拆解。
第一步:审题——提取信息,建立图景
这是最重要的一步。很多同学做题“想当然”,就是因为审题不清。
(1)逐字阅读,圈画关键词:
1/32
①物理环境:光滑/粗糙(摩擦系数)、水平/竖史/斜面、重力不计/考虑重力、有无空气阻力。
②运动状态:静止/初速为零、匀速、匀加速、刚好、恰好(临界)、缓慢(动态平衡)、最大/最小。
③物体性质:质点、轻绳/轻杆(质量不计)、弹簧(弹性系数)、小球/滑块、导体棒(电阻、长度)。
(2)边读边画,情境可视化:
①画草图:画出不同阶段的示意图,标出已知量和未知量。
②画过程图:如果过程复杂,可以画一个时间轴或流程图,标出A-B-C各阶段的位置、速度和受力变化。
③画图像:题目给的v-t图、F-t图、U-I图等,是信息的浓缩,务必理解斜率、面积、截距的物理意义。
第二步:模型构建与拆解一化繁为简
物理压轴题的本质是“旧模型的组合”。需要把复杂情景拆解成热悉的模块。
(1)识别基本模型:
①运动学模型:匀变速直线、平抛/类平抛、圆周运动(尤其是竖直平面的圆周)。
②力学模型:连接体、板块模型、传送带、弹簧振子.
③电磁学模型:带电粒子在电场中的加速/偏转、在磁场中的圆周运动、导体棒切割磁感线(单杆/双杆)、
电磁感应中的电路与动力学综合。
(2)拆解多过程问题:
①用“拆解法”将复杂运动分解为几个简单过程。例如:先加速直线,再平抛,最后在磁场中做圆周运动。
②寻找“衔接点”:上一个过程的末速度和位置,就是下一个过程的初速度和初始位置。这个“衔接”是列
出方程的关键。
(3)分析多对象问题:
如果涉及多个物体,比如滑块木板模型,需要思考:是用隔离法还是整体法?它们之间的位移关系、速度
关系是什么(是否共速,是否分离)?
第三步:规律选择与列式一精准打击
这是解题的核心,也是最体现物理素养的部分。
(1)判断适用规律:
①力的瞬时作用:牛顿第二定律F=ma,一般用于求加速度、力、时间。
②空间积累效果:动能定理讨3^口一般用于求位移、速度、功,不涉及时间时优先考虑。
③时间积累效果:动量定理Fl=Ap,涉及力作用时间时使用;动量守恒定律(系统合外力为零)。
④能量守恒:系统能量守恒,涉及多种能量(动能、势能、内能、电能)转化时使用。
⑤电路规律:闭合电路欧姆定律、法拉第电磁感应定律£=必中加、E=BLv、楞次定律。
(2)规范列式,条理消晰:
2/32
①不要写“综合式”:不要试图一步到位写出包含所有未知量的方程,这样容易出错且难以得分。
②分步列式,写原始方程:每个方程都有明确的物理过程对应。
③写“通式”:用题目中给的字母表示,不要急着代入数据。最后再统一代入计算。
第四步:数学运算与检验一小心求证
这是很多同学容易失分的环节,计算能力也是高考考察的一部分。
(1)先字母运算,后代入数据:这样可以简化表达式,约去很多中间量,也能让你看清物理量之间的依赖
关系。
(2)解方程要细心:压轴题常涉及二元二次方程组、三角函数、不等式极值问题。解完后,可以简单验证
是否符合物理事实(如速度方向、能量增减、半径大小等)。
(3)检查结果的合理性:
①单位:算出的力的单位是不是牛顿?速度是不是米/秒?
②特例检验:如果令某个角度为0°或90。,或者某个质量为无穷大,结果是否符合物理直觉?
三、专项策略:常见压轴模型解法精要
1.力学综合(板块、弹簧、碰撞)
(1)核心:三大观点(动力学、能量、动量)的综合运用。
(2)策略:
①先判断系统动量是否守恒。
②找临界状态:共速(相对静止)往往是能量损失最大或相对位移最大的时刻。
③画位移关系图:明确滑块和木板的对地位移和相对位移,。=启相对。
2.带电粒子在复合场中的运动
(1)核心:运动的分解与合成。
(2)策略:
①电场+磁场:通常先电场加速(动能定理),后磁场偏转(几何作图找圆心、半径、角度)。
②磁场+磁场:不同区域,轨迹是不同半径的圆。关键在于找到两个圆相交点速度的方向和大小不变。
③重力场+电场+磁场(三场):如果重力与电场力平衡,则相当于只受洛伦兹力,做匀速圆周运动;如果不
平衡,则可能做复杂的曲线运动(如摆线),此时需考虑用能量观点或运动的分解(如配速法)来处理。
3.电磁感应综合(导轨+电容+含容电路)
(1)核心:力电综合。运动一感应电动势一电路一电流一安培力一改变运动状态
(2)策略:
3/32
①明确哪部分是电源,内阻多少,外电路如何连接。
②安培力通常是变力,导致导体栋做变加速运动,最终往往达到匀速(合外力为零)。
③常用定律定理:动能定理、动量定理和能量守恒。
;N0.2=
•方法攻坚
题型一力学综合性压轴题
1.如图所示,质量为旧的空心圆管道静止在光滑水平面上,管道的右端与固定竖直挡板相距X,一质量为
机的活塞静止于管道的左端。已知"=2〃?,两者间的滑动摩擦力为人心唱仪为常量),重力加速度为g0某
时刻给活塞一个水平向右的瞬时冲量,当管道向右加速运动的距离为d时,活塞的速度为以=网。已知
活塞一直在管道中,管道与挡板碰撞时间极短且无机械能损失。
活塞挡板]
\管道
⑴求瞬时冲量/的表达式;
(2)若人足够大,求活塞相对丁管道运动的总时间,和管道的最短K度
⑶若管道与挡板能且仅能发生〃(稳2)次碰撞,求x满足的条件。
【答案】(1)/=3〃?倔7
99
(3)——r-d<x<-------d
【详解】(1)设活塞的初速度为叼活塞的速度为匕=质时,管道的速度为如,对管道进行分析有
对活塞和管道系统进行分析有叫=〃»A+B
瞬时冲量/=
联立解得/=3mjkgd
4/32
(2)由于X足够大,所以两者达到共同速度力后管道才与挡板相碰,则有〃%=(例+〃,)%
设管道与挡板碰撞后,两者最终以相同的速度也向左运动,则有屿-〃/=w+〃。匕
对活塞从速度地变到V/以及力变到也的过程有「=,"匕-(一"%)
解得甘宿
对系统进行分析,由能量守恒得!〃U-!(加+,〃川二儿
22
13
解得£=
(3)设管道第〃次与挡板碰撞时,活塞的速度为匕〃,管道的速度为如〃,从管道开始运动至第1次与挡板
碰撞前有6%=।+M%
从第次碰撞后至第次碰撞前有〃八
121|MvR|=m\\2IMVR2
从第(〃-1)次碰撞后至第〃次碰撞前有〃"(“川-"%”.】)=〃叫"也,
因为管道向左和向右运动的对称性有为=%2=~=%.T
由以上各式并代入加=2〃?得4(〃一1)%+匕”+2蚱”=%
第(“1)次与挡板碰后要求系统总动量向右,则有加41)>材%(1)
解得%ig
由于人=3加4
9
解得、(而中
第〃次与挡板碰后要求系统总动量向左或为零,则有〃>"也
乂由于为“不包
解得为之子
4〃
由于.笈=!河哈
9
同理可解得x2而d
99
故X应满足的条件为h"WX<——E
16〃.6(??-1)
5/32
2.如图所示,竖直放置的半径R=0.4m的;光滑圆弧轨道48与倾角为0=30",长度为4=5m的倾斜传
送带8c在月点平滑连接,传送带〃。的右端与静置在光滑水平面上的木板CQ在。点等高平滑连接,距木
板右端。处有一固定的挡板P。现从4点正方方〃=0.4m处,由静止释放小物块m。经圆弧轨道和传送带
后在一极短光滑圆弧轨道(未画出)的约束下沿水平方向滑上木板,与静止在木板左端的小物块力碰后瞬
间粘在一起,木板第一次与挡板P碰撞时恰好与物块。、〃达到共速。已知,传送带以%=6m/s的速度沿顺
时针方向匀速转动,。的质量为町=2kg,/)的质量为吗=lkg,木板的质量为明=1kg,物块。与传送带
间的动摩擦因数为必=左,物块。、b与木板间的动摩擦因数均为4=0.2,物块。经过所有连接处均无能
量损失,木板与挡板P的所有碰撞均为弹性碰撞,物块。、力始终未与木板分离,重力加速度g取lOm/s?。
(1)物块。通过B点时对轨道的压力大小;
⑵物块“与传动带间摩擦产生的热量;
(3)L的大小:
⑷木板在整个运动过程中总路程的大小。
【答案】⑴100N
(2)12J
(3)0.75m
(4)2.75m
【详解】(1)物块a从糕放点到8点,由动能定埋〃Lg(力+=
代入数据,解得vB=4m/s
2
在5点,由牛顿第二定律N-〃《g=吗藁
解得轨道支持力N=l()0N
根据牛顿第三定律,物块对轨道的压力为100N。
6/32
(2)由必>tan<9
知物块a若与传动带共速,则同步向上运动,设经时间,物块a与传动带共速,%-%="
根据牛顿第二定律必呵gcos夕-町gsin0>m}a
联立解得a=2.5m/s2,t=0.8s
物块a的位移x=^^t=4.0m<Lo
物块a与传动带间相对滑动的距离为-=用/-x=0.8m
物块a与传动带间摩擦产生的热量为(〃皿geos。)©=12J
(3)之后以%的速度做匀速运动到与物块b相碰,碰撞瞬间动量守恒叫%=(叫+%)匕
解得K=4m/s
之后物块仍匀减速运动,木板匀加速运动,到第一次与挡板P碰撞时恰好达到共速,根据牛顿第二定律,
对物块ah,〃2(网+m2)g=(m\+啊)/
牛顿第二定律,对木板外(㈣+叫)g="生
2
解得q=2m/s2,a2=6m/s
对系统,根据动量守恒町%=(网+叫+叫)匕
解得匕=3m/s
根据运动学规律对木板分析岭2=2生4
解得£,=0.75m
(4)木板与挡板P的所有碰撞均为弹性碰撞,物块a、b始终未与木板分离,故最终整体停下,第一次碰
后瞬间,木板速度反向,大小不变,为%=3m/s
开始做加速度大小为4=601耳匀减速直线运动,减速到零再反向运动至与木板共速,设时间为匕,物块a、
力做减速直线运动,加速度大小为%=2m/s)根据运动学规律匕=匕-卬i=-丹+%乙
解得6=0.75s,v3=1.5m/s=-y
7/32
还没撞到P上已经共速,因此木板运动的路程为=2x]二;m
再次碰后,木板反向,同理!=匕-卬2=-匕+生,2
解得4=§s,匕=0.75m/s=]=/'
这次木板运动的路程为G=2xJ
2%
同理,由数学知识推理得%总=4_\+£,2+…=;+2x£(1+;+:+…)+今=2.75m
3.如图所示,光滑轨道A固定在水平地面上,其弧形轨道的高度为心水平部分与木板B上表面齐平。木
板B质量为〃?,紧靠轨道A放置在光滑水平面上,在B的右侧放着若干滑块(视为质点),滑块的质量均为
m,编号依次为1、2、3、4。。。。。。〃(〃趋于无穷大)。质量为3阳的滑块C(视为质点)置于凯道A的顶端,
由静止释放,经过公后滑上木板B,C与B之间的动摩擦因数为11=",当C、B刚达到共速时,木板B恰
好与滑块1发生第1次弹性碰撞。经过一段时间,C、B再次刚达到共速时,木板B恰好与滑块1发生第2
次弹性碰撞,依次类推;最终滑块C没从木板B上滑落。已知重力加速度为g,滑块间的碰撞均为弹性碰撞,
且每次碰撞时间极短,求:
R/
⑶…万
〃〃〃〃〃〃〃x〃〃〃〃〃〃〃/।B।m②
(1)C、B第一次达到共速时,B的速度大小;
(2)凯道A对滑块C作用力的冲量大小和方向;
⑶最初木板B右端与滑块〃之间的距离S以及最终n个滑块的总动能Ek°
【答案】(1)匕=;师
(2)冲量大小为向,方向与水平方向成45。(斜向右上方)
249
⑶S=”E,=-mgh
【详解】(1)根据题意,C沿轨道A下滑过程,动能定理可知
=;x3〃?片
8/32
解得
C、B第一次达到共速,由动量守恒定律可知
3〃?%=(3〃,+,〃)匕
联立得共速速度
(2)滑块C在光滑轨道A上运动过程中,由动量定理可知
7G+k=心
其中
|/G|=3,〃g/=2gh,|AP|=3m%=3md2gh
由矢量关系可知
则有
即仇道A对滑块C作用力的冲量大小为6机痴,方向与水平方句成45°(斜向右上方),如下图。
AP
(3)根据题意,C在B上滑动过程,由牛顿第二定律可得
%=监,%=3pg
由(1)可知C、B第一次达到共速时
第一次共速的时间
9/32
可知B向右滑动距离
。“二二一力
B与滑块1弹性碰撞且机械能守恒有
解得木板B速度匕=0,滑块1速度匕'=匕,即速度交换。
同理第二次共速过程中,共同速度
3
丹丁
需要时间
v2
.——2=-
■为4
B向右滑动距离
」1,9」
d
i=记4
递推可知
I/9Y-1
d„-—«>»/?=——d
2U6J1
则初始时木板右端与滑块〃的距离
S=&+也+…+〃”
由等比数列求和公式,解得最初木板B右端与滑块〃之间的距离S为
9
S=lim
B第一次与滑块1碰后,滑块1的速度为
3
消
与滑块2弹性碰撞后交换速度,以此类推,最后滑块〃获得速度为
其对应的动能为
同埋,滑块〃-1最后获得速度为
10/32
k=(十
其对应的动能为
Ei=3归川]=捐〃"=帝〃磔
最后,滑块1获得速度为
其对应的动能为
1701Q
片」〃?(2广“=(二尸」〃说=(二)"小皿〃个滑块的总动能为
2\_4J16216
EJIJAY]
U6jE
纥=纥+£“+—+片=1而^^~-=—^9
…1_2—
1616
联立可知最终〃个滑块的总动能反为
l9,
EkF〃gh
4.如图甲所示,B物块静止在足够长的固定斜面上,/=0时刻将质量为小的A物块从距离B物块£处由静
止释放,/=9/°时刻A、B发生第一次碰撞,片1%。时刻发生第二次碰撞,在两次碰撞间A物块的四图线如图
乙所示(其中依、fo均为未知量),每次碰撞均为弹性碰撞且碰撞时间极短,两物块与斜面的最大静摩擦力
均等于滑动摩擦力,求:
(1)A沿斜面向下运动与向上运动的加速度之比;
(2)B物块的质量:
(3)A、B物块与斜面间的动摩擦因数之比:
(4)B物块沿斜面下滑的最大距寓。
甲乙
11/32
24
【答案】(1)1:2;(2)17w;(3)-:(4)—L
745
【详解】(1)0~9切时间内,物块沿斜面下滑,有
9d13/0时间内,物块沿斜面上滑,有
13…。-Z。
所以A沿斜面向下运动与向上运动的加速度之比
£L=1
a22
(2)9功时刻A、B发生笫一次碰撞,则
〃?
・9%=m-(-8v0)+M\\
22
g〃?(9%)2=1W(-8V0)+^MV,
联立可得
匕=%,M=17w
(3)刚释放物块时,A、B之间的距离为小则有
A物块在9e~13h时间内沿斜面向上运动,则
^Al=^4^0=16^0
由于13/19/。时间内A物块的加速度与0~9h时间内的加速度相同,所以1%时刻物块A的速度大小为
A物块在13/o~19fo时间内沿斜面向下运动,则
XA2=£6O=18%%
所以从第一次碰撞后到第二次碰撞物块B发生的位移为
XBI=^--^1=2vozo
假设第二次碰撞前物块已停止运动,则有
可得
12/32
即13%时,物块停止运动,假设成立,设物块下滑过程中的加速度大小为田,则有
CaI7—-二-—区
4/。4/0
q=gsin。-4Agcos6
%=gsinJ+4Agcos°
ay=//ugcos0-gsin6
联立可得
”=2
“7
(4)/=19f〃时刻发生A、B第二次碰撞,碰撞时B的速度大小为0,A的速度大小为匕=6%
II17
由动量守恒可得〃心=,〃入'+必%',=;力或点联立可得%,=:%设第二次碰撞后B物块下滑的
4
、841一([)"184
距离为间2,则2。而2可得打所以/=灯+…+灯=-1-XBI=—v/=—
yy]_(0o
~9
题型二带电粒子在电磁场中运动压轴题
5.如图所示,在平面直角坐标系xQp中,第II象限内存在沿x轴负方向的匀强电场,第DI象限内存在垂直
纸面向里的有界匀强磁场,下边界是以q(-2凡-6m为圆心、半径为2〃的圆弧,上边界是以。2(-2凡0)
为圆心、半径为/?的半圆弧,磁感应强度大小为稣。一质量为〃?、电荷量为^的带负电粒子,从),轴上的必
点沿x轴负方向正对圆心a发射,沿半径厂二百尺的圆弧运动并恰能通过圆心。”进入电场后从y轴上的
R0,2石R)点进入第I象限。不计粒子重力。
13/32
y
P,(0,2jjR)
XxXX
XxXX
XXXX
XXXX
。2,(一2凡0)XXXX
■>
Xo~X
XM
XQ&2&,-廊)
XXX
⑴求粒子射入第n象限时的速度大小%:
(2)求匀强电场的场强E及粒子在第口、in象限中运动的总时间/;
⑶若第I象限中有方向垂直纸面向里的磁场(图中未画出),磁场的磁感应强度大小〃=争)”为正的常量,
k
y为纵坐标,即在x方向均匀分布,在y方向随歹均匀增大),求粒子在第I象限中运动至第一次离x轴最
远时的轨迹与X轴围成的面积So
【答案】0)走四匹
m
(兀)加
(2)£=3^_56+
2m3qB”
⑶L5A火
【详解】(1)粒子在第m象限的磁场中运动,洛伦兹力提供向心力,则有z%80=吗
7•
解得%=避必述
m
(2)正对圆心«射入的粒了•,沿半径r=的圆弧运动并恰能通过圆心&,粒子在磁场中运动的轨迹的
圆心恰好为原点O,运动轨迹如图所示,
14/32
R
设速度偏转角为夕,由几何关系有cos0=^=O.5
解得〃=60
从。2点进入电场,沿y轴方向,则有%$m。力=2百/?
解“富
沿工轴方向,则有。=再,2K=-%cos,z+1〃彳
m2
解得E=诬为
2m
粒子在第HI象限的磁场中运动的时间4=导7二聋
3603qB”
粒子在第in象限无磁场区域运动的时间%="=以
%3qB。
运动的总时间,=,产,2+,3
(56+4)m
解得,=
3也
(3)粒子到达P点时沿y轴方向分速度。=%sin0
粒子在第I象限中运动至第一次沿y轴方向的分速度为。的过程中,沿y轴由动量定理则有
g
-2qBv△[=O-mv
23
其中4=华^
k
B
可得Zg'y匕△/=wvsin0
ko
又因为匕&=Ax
可得q,Z必x=wvsin0
ko
即温S=,〃%sin。
k
解得S=1.5砧
6.通过电磁场可以实现对粒子运动的控制。如图所示,间距很小且平行正对的两水平金属板”声八,4电
的长度均为2d,上极板,如、位于平面直角坐标系X。),的x轴上,其中心小孔位于坐标原点。处。下极板
M/M连有外电路(未画出),可从整个下极板的上表面向X。),平面内的各个方向发射各种速度大小为0。
(»已知)的热电子(质量为小、电荷量为-e),电子只能由小孔射出。I区(第一象限内和y轴正半轴上)
15/32
充满垂直X。),平面向里的匀强磁场,II区(X轴下方竖直虚线N2M右侧)充满垂直宜万平面向外的匀强磁
场,两区磁场的磁感应强度大小相等,其他区域无磁场。不计电子重力、电子间的碰撞及相互作用。
八y
XXXXI区X
XXXXX
,电O—M___4……-2—£.
MNl\.
••・II区•
⑴若UM2M尸U。,求MM板上速度为0的电子从。点射出时的速度大小。
(2)某次实验时,在两金属板间加二另一恒定电压,电子经电场加速后,由小孔射出时的最小、最大速度之
比为1:2,之后仅经过I区磁场偏转一次后,能全部通过x釉上力C之间(含力、C)的各个位置,其中力、
。两点的横坐标分别为心=2"、立’=4,.忽略金属板的厚度及边缘效应,已知sin37o=0.6。
①求磁场的磁感应强度大小
②若。点位于x轴上且切=3.2d,通过力点的电子和通过。点的电子会在x轴上发生相遇。以电子同时离
开,4、。为计时起点(片。时刻),求电子第一次在x轴上相遇的时刻与位置。
【答案】(1)%=/^
(2)①8=如;②E6d,/;=空叵也
3ed45v
【详解】(1)设板上速度为。的电子从0点射出时的速度为%
由动能定理有q,=;/就
解得%、E叵
Vm
(2)[1]设电子从小孔射出时的最小、最大速度分别为%、2%由分析知,平行板间电场对所有从小孔射出
的电子所做的功均相同,因此M附板上速度为0的电子从小孔射出时的速度最小为匕,必M板上速度为y
的电子从小孔射出时的速度最大为2匕,分别由动能定理可得eU=]/_o,eU=gw(2H)2-g〃nJ
联立解得
由分析知,板上速度为0的电子从。点射出后,仅经I区磁场偏转一次落在4点
可得巧=2A=2d
由洛伦兹力提供向心力打乃=逋
16/32
解得:B=色吧
3ed
[2]设电了•从小孔射出时与盯方向的夹角为。、速度大小为%
由校间匀变速曲线运动规律易知册—।
其中cosON口=2,up0<6><60°
2匕2
2wv
--v=2d
eB
答图3
由此可知’通过“点的电子的竖直分速度均为0=等|,=匕
因此,通过X点的电子的速度满足v,<<2v,
与竖直方向的夹角。满足cosa之F=I,故0«。<60。
2片2
同理分析可知:通过。点的电子最大速度为24’设最小速度为匕’且叫方向竖直向上'贝"。=2♦翳=3.2〃
可得:”随厂与
155,
因此通过。点的电子的速度满足《匕<VD<2V.
v4
与竖直方向的夹角/满足cos〃?/=w,故0W6437。
LI]J
由%2d-/32d=1.2d(其中%、/取1,2.3...)
8%+3
可得:〃]=—
因为是第一次相遇,则取最小的自然数,可得:/=7,%=4
因此电子第一次在x轴上相遇的位置.:x=2"+H,•2d=16d
由T•电子在两区磁场中的运动具有周期性,且电子做圆周运动的周期均为丁=岑,因此从力、。两点出
eB
17/32
发运动时间最短的电子最快到达相遇点。
由分析知,电子相遇时的时间三也T=
2乃2左
得队万一2a)="2(%一2万)
其中0Ka<60。,04/4370
代入々=7,%=4可得,到达第一次相遇位置的电子,满足:。=些卢
14
当a=60。时,夕=37.5。>37。,不符合题意,舍去
418
当产=37。时,a=(—)O<60°,符合题意
由此可知,当夕=37。时相遇的时间最短,即,=37。,a=(干418)。的电子最先相遇
..小十&,7t.180°-2x37°?7im
因m此,电子第一v次在“轴上相遇的时刻:A=n,pT=4x———------—
2乃360°eB
解得:,J06岳d
45v
7.离子注入是半导体掺杂的核心技术,其原理是利用电磁场对寓子束进行筛选、加速和精准控制,我国科
研团队在此领域取得重要突破。如图中所示,简化装置由离子源、扇形分析磁场、直线加速器和磁场注入
区组成。其工作流程如下:离子源将掺杂物质电离。电离出的正离子因具有微小初速度(大小可忽略)形
成离子束,再经电压为U的电场加速后,获得相同速率。接着以散射角2。(。很小)进入正立的扇形匀强
磁场区域(磁感应强度大小为〃,方向垂直纸面向外,圆弧对应的圆心角为120)。此区域不仅能将比荷为女
的正离子从另一侧直线边界的狭缝中筛选出来,还能对离子进行汇聚(离子离开时的散射角为2a),其中
垂直扇形边界入射的离子恰好垂直边界出射。筛选出的某离子在,=0时进入由4个理想金属细圆筒(筒内
磁感应强度和电场强度均为零)组成的直线加速器,每个圆筒内的运动时间为加速器与扇形磁场边界
垂直,其力、8两端接入有效值为U、周期为2%的交变电压,波形如图乙所示。经圆筒间隙瞬时加速后的
离子沿圆筒轴线进入垂直于纸面向里的磁场注入区,以入射点。为原点建立/。.”坐标系。在工>0区域,磁
感应强度大小为R:在-八rvO区域,磁感应强度大小为名(/1>0)。其中,末级圆筒长度大于大小
不计的半导体晶圆平行于y轴放置在直线歹=2(w上的某处。忽略离子间相互作用、边界效应及相对论效应,
COS0=l,sinO=0。不计离子重力和。的平方项。
18/32
X
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