JJF(皖) 259-2026 半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范

(皖)安徽省地方计量技术规范安徽省市场监督管理局发布JJF(皖)259—2026半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范JJF(皖)259—2026JJF(皖)259—2026I （2） （2） （4） （4） （4） （8） （8） （ 本规范依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJJF(皖)259—2026半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范本规范适用于温度范围（-10～150）℃、湿度范围（60～100）%RH、压力范围（0~JJF1012-2007湿度与水试验系统中能将规定的试验条件保持在规定偏试验系统工作空间内任意点的自身变化量达到设备本身试验系统稳定状态下,工作空间各测量点在规定时间内实测最高温度和最低温度与设试验系统稳定状态下,工作空间各测量点在规定时间内实测最高相对湿度和最低相对JJF(皖)259—20262试验系统工作空间几何中心点测得的两个规设备，通过模拟高温、高湿、高压等极端环境条估其耐久性和可靠性。其主要由温湿度控制系统表1试验系统各参数技术要求项目\参数名称温度相对湿度压力偏差/误差±2.5%±10%×满刻度值JJF(皖)259—2026均匀度2℃5%//波动度//变化速率≤0.4℃/min///气压80～106）kPa。一般在空载条件下校准,根据用户需要可以在负载条件下进行校准,但应说明负载的情满足校准工作需求，最大允许误差不超过±0.2℃；当测量温度变化速率时，温度测量系湿度测量标准器一般应选用湿度传感器与数JJF(皖)259—20264用于实验室环境大气压力测量的大气压力测量设备，其最大允许误差应不超过±+++*++--++--+---a）将设备空间定出上中下三个水平层面（简称上层、中层、下层），中层通过工作JJF(皖)259—2026j）当设备容积小于0.05m³或大于50m³时，可适当减少或增加测量点，并在报告中注定至测量的温度值、湿度值、压力、时间值并运s………………（1）s………………（2）JJF(皖)259—20266ΔTmax——温度上偏差，单位为摄氏度(℃);ΔTmin——温度下偏差，单位为摄氏度(℃);Ts——设定的温度值，单位为摄氏度(℃)。Timax——各测量点在第i次测量中的实测最高温度值，单位为摄氏度(℃);Timin——各测量点在第i次测量中的实测最低温度值，单位为摄氏度n——测量次数。ΔTj=±max[(Tjmax-Tjmin)/2]………………（4）ΔTj——工作空间第j点温度波动度，单位为摄氏度(℃);Tjmax——工作空间第j点在16次测量中的实测最高温度，单位为摄氏度Tjmin——工作空间第j点在16次测量中的实测最低TT——温度变化速率，单位为摄氏度每分钟(℃/min）；）；JJF(皖)259—2026ΔHmax=Hmax-HS………………（6）ΔHmin=Hmin-HS………………（7）ΔHmax——湿度上偏差，%RH；ΔHmin——湿度下偏差，%RH；HS——设定的湿度值，%RH。ΔHu——湿度均匀度，%RH；Himax——各测量点在第i次测量中的实测最高湿度值，%RH；Himin——各测量点在第i次测量中的实测最低湿度值，%RH；n——测量次数。ΔHj=±max[(Hjmax-Hjmin)/2]………………（9）ΔHj——工作空间第j点湿度波动度，%RH；Hjmax——工作空间第j点在16次测量中的实测最高湿度，%RH；Hjmin——工作空间第j点在16次测量中的实测最低湿度，%RH；ΔP=Pi-PS………………（10）Pmin——压力指示值，单位为千帕（kPa）；PS——工作空间内实测压力值，单位为千帕（kPaΔt=t-t0………………（12）JJF(皖)259—20268Δt——时间继电器的延时整定误差，单位为秒（s）；t——时间继电器设置的延时整定值，单位为秒（s）；）；）；），g）进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和h）如果与校准结果的有效性应用有关时，应对被校样品的抽所决定，因此，送校单位可根据实际使用情况JJF(皖)259—2026标准器名称型号规格准确度等级/不确定度/最大允许误差出厂编号有效期至温度设定值湿度设定值压力设定值延时整定值：采样次数实测温度值(℃)实测湿度值（%RH）气压（kPa）ABCDOKLMNDOL123456789温度上偏差下偏差均匀度波动度湿度上偏差下偏差均匀度波动度压力偏差延时整定误差JJF(皖)259—2026校准证书编号：校准依据（代号）：标准器或标准装置的名称、编号、证书编号及有效期、准确度及测量范围：校准结果的扩展不确定度（包含因子）：校准地点及环境条件：校准结果校准参数温度/℃湿度/%RH气压/kPa时间/s设定值上偏差下偏差均匀度波动度校准不确定度（k=2）备注：JJF(皖)259—2026ΔTmax=Tmax-Ts（C.1）Tmax——温度上偏差，(℃);Tmax——各测量点在规定时间内测量的最高温度值，(℃);Ts——设定的温度值，(℃)。ΔHmax=Hmax-HS（C.2）JJF(皖)259—2026ΔHmax——相对湿度上偏差，%；HS——设备设定的相对湿度值，%。不确定度来源:被校对象测量重复性引入的标准不确定度分量，标准器分辨力引入的标准不确定度分量，标准器修正值引入的标准不确定度分量,标准器的稳定性引入的标准由于上偏差与下偏差以及温度变化速率不确定度来源和数值相同,因此本规范仅以温JJF(皖)259—2026标准器温度修正值引入的标准不确定度分量标准器相对湿度修正值引入的标准不确定度分量u标准器温度稳定性引入的标准不确定度分量标准器相对湿度稳定性引入的标准不确定度分量u标准不确定度符号不确定度来源标准不确定度u1温度测量重复性0.03℃u2标准器温度分辨力0.00℃u3标准器温度修正值0.04℃u4标准器温度稳定性0.12℃表C.2相对湿度上偏差校准标准不确定度分量汇总表JJF(皖)259—2026标准不确定度符号不确定度来源标准不确定度'u1相对湿度测量重复性0.17%'u2标准器相对湿度分辨力0.03%'u3标准器相对湿度修正值0.5%'u4标准器相对湿度稳定性0.24%ucΔP=Pi-PS………………（C.7）Pmin——压力指示值，单位为千帕（kPa）；PS——工作空间内实测压力值，单位为千帕（kPa）；不确定度u(p1)和压力记录器最大允许误差引入的标准不确定度u(p2)JJF(皖)259—2026取包含因子k=2，实测压力扩展不确定度：ts——实测时间值，(℃)。电子秒表测量时间间隔为15min时的最大允许误差为±0.10s。视其为均匀分布，包JJF(皖)259—20262）人工操作电子秒表时引入的标准不确定度u2经大量试验证明，人工操作电子秒表时最大偏差为±0.10s，视其为均匀分布，用电子秒表对被校机械式时间继电器的15min整定值重复测