标准解读

GB/T 31987-2026《电子气体 锗烷》是一项国家标准,主要针对锗烷这种用于半导体制造过程中的特种气体。该标准详细规定了锗烷的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。

在技术要求部分,明确了锗烷的纯度等级及其杂质含量的最大允许值,确保其能够满足不同应用场景的需求。例如,对于某些高精度的半导体工艺而言,对锗烷中特定杂质(如氧、水等)的控制尤为重要,因为这些杂质可能会影响最终产品的性能或可靠性。

试验方法章节则提供了测定锗烷纯度及各种杂质的具体操作步骤和技术参数,包括但不限于气相色谱法、质谱分析等现代分析技术的应用指南。通过这些科学严谨的方法,可以准确地评估锗烷的质量是否符合标准要求。

此外,关于检验规则,本标准还制定了抽样方案与合格判定准则,以保证每一批次产品都能达到规定的质量水平。同时,对于如何正确处理和保存锗烷也给出了指导性意见,比如推荐使用何种材质的容器来装载锗烷,以及在运输过程中需要注意的安全事项等,旨在最大程度上减少因不当操作而造成的损失或危害。

该标准适用于锗烷生产企业、用户单位及相关检测机构,在促进我国电子气体行业健康发展的同时,也为保障相关领域内产品质量安全提供了有力支撑。


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  • 即将实施
  • 暂未开始实施
  • 2026-04-30 颁布
  • 2026-11-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T31987—2026

代替GB/T31987—2015

电子气体锗烷

Electronicgas—Germane

2026-04-30发布2026-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T31987—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

本文件代替电子工业用气体锗烷与相比除结构调

GB/T31987—2015《》,GB/T31987—2015,

整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

a)(1,20151);

更改了锗烷应符合的技术要求见第章年版的第章

b)(4,20153);

更改了采样的要求见第章年版的

c)(5,20154.1.2);

更改了纯度计算方法见年版的

d)(6.1,20154.2);

更改了氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷含量的测定方法见年版的

e)、+、、、、(6.2,20154.4);

更改了水分含量的测定方法见年版的

f)(6.3,20154.5);

增加了金属元素含量的测定方法见

g)(6.4);

更改了检验规则见第章年版的

h)(7,20154.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见年版的

i)、、(8.1、8.2,20155.1);

更改了安全信息见年版的

j)(8.3,20155.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司西南分公司广东华特气体股份有限公司宁夏宝廷新材料科

:、、

技股份有限公司中国测试技术研究院化学研究所重庆同辉气体有限公司中国计量测试学会云南驰

、、、、

宏国际锗业有限公司大连华邦化学有限公司太和气体荆州有限公司河北盛泰芯材科技股份有限

、、()、

公司北京普瑞分析仪器有限公司中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司浙江省化工研究院有限

、、()、

公司贵州省产品质量检验检测院中昊光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限

、、、

公司大连大特气体有限公司联雄投资上海有限公司大特成都气体有限公司液化空气中国

、、()、()、()

投资有限公司科哲上海阀门有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司宿州伊维特

、()、、

新材料有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司杭州云必技术有限公司中国计量科学研究院

、、、、

杭州新世纪混合气体有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司和立气体上海有限公司北京睿信

、、()、

捷环保科技有限公司上海市计量测试技术研究院有限公司爱尔兰仪器有限公司北京代表处

、、AGC、

天策标准化服务天津有限公司上海凡伟仪器设备有限公司福建优力特材料科技有限公司三峡大

()、、、

学大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司西南化工研究设计院有限公司

、、。

本文件主要起草人马昌宁杨俊豪陈扬天茹高艺杨扬仲夫王瑜李洪佳王晓文阳辉吴文静

:、、、、、、、、、、

黄加斗刘辉钟卉菲陈琛赖晓峰张帆利廖吉伟刘英杰周桂明史兰侯鹏钱吉袁有录方华

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娄珈元黄辉邓海平殷昊朱安民王阳陈爽葛修杰谈益强尹乐乐高静李安林赵鑫蕊王漫

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贾任远任超宫兵王大为梁永强赵洁魏王慧董翊任希辉董志仪何波唐中伟袁其龙周鹏云

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唐霞梅高文龙陈学航

、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2015GB/T31987—2015;

本次为第一次修订

———。

GB/T31987—2026

电子气体锗烷

1范围

本文件规定了锗烷的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存及安全信息的要求描述了

、、、、、、,

相应的试验方法

本文件适用于以氧化锗或氯化锗或锗镁合金为原料制备的锗烷

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体分析微量水分的测定第部分电解法

GB/T5832.11:

气体分析微量水分的测定第部分露点法

GB/T5832.22:

气瓶颜色标志

GB/T7144

铝合金无缝气瓶

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