GBT 31058-2026《电子气体 四氟化硅》

本文件适用于以二氧化硅与氟化氢为原料制备或六氟硅酸钠分解制备或氟硅酸分解制备的四氟化硅。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T4844纯氦、高纯氦和超纯氦GB/T5099(所有部分)钢质无缝气瓶GB/T7144气瓶颜色标志GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T14193.1液化气体气瓶充装规定第1部分：工业气瓶GB15258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法GB/T28727气体分析气体中微量硫化合物含量的测定火焰光度气相色谱法GB/T46384.1电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶变换红外光谱法TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。四氟化硅的技术要求应符合表1的规定。工2表1技术要求四氟化硅(SiF₄)纯度(摩尔分数)氢(H₂)含量(摩尔分数)(氧+氩)(O₂+Ar)含量(摩尔分数)氮(N₂)含量(摩尔分数)一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)二氧化碳(CO₂)含量(摩尔分数)甲烷(CH₄)含量(摩尔分数)硫化氢(H₂S)含量(摩尔分数)二氧化硫(SO₂)含量(摩尔分数)氟化氢(HF)含量(摩尔分数)杂质总含量(摩尔分数)氟硅醚(SiF₃OSiF₈)含量(摩尔分数)磷(P)含量(质量分数)砷(As)含量(质量分数)硼(B)含量(质量分数)钠(Na)含量(质量分数)镁(Mg)含量(质量分数)铝(Al)含量(质量分数)钾(K)含量(质量分数)钙(Ca)含量(质量分数)铬(Cr)含量(质量分数)铁(Fe)含量(质量分数)镍(Ni)含量(质量分数)铜(Cu)含量(质量分数)5采样四氟化硅的采样应符合GB/T43306的规定。6试验方法6.1四氟化硅纯度6.1.1杂质总含量杂质总含量按公式(1)计算：3X10=x₁+x2+x3+x4+xs+x6+x7+x₈+x9……(1)式中：x1——氢含量(摩尔分数);x2——(氧+氩)含量(摩尔分数);x3——氮含量(摩尔分数);x4——一氧化碳含量(摩尔分数);Xs—二氧化碳含量(摩尔分数);x6———甲烷含量(摩尔分数);xr——硫化氢含量(摩尔分数);x8——二氧化硫含量(摩尔分数);x,—氟化氢含量(摩尔分数);x10杂质总含量(摩尔分数)。四氟化硅纯度按公式(2)计算：x=(100—x10×10²)×10-²x——四氟化硅纯度(摩尔分数)。6.2氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定6.2.1测定方法6.2.2.1预分离柱I:长0.6m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的碳分子筛，或其他等效预分离柱。6.2.3.1色谱柱I:长1.5m、内径3mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。6.2.3.2色谱柱Ⅱ:长30m、内径0.32mm、内涂乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物的毛细柱，或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。标准样品中组分含量(摩尔分数)宜为1×10⁻⁶~5×10⁻⁶,平衡气为高纯氦，应符合GB/T4844的46.2.5参考的气路流程图参考的气路流程示意图见附录A。6.3硫化氢、二氧化硫含量的测定按GB/T28727的规定执行。可按其他等效的方法测定，当对测定结果有异议时，以GB/T28727规定的方法为仲裁法。6.4氟化氢含量的测定6.4.1测定方法参考的测定条件如下。——环境温度：18℃~25℃。6.5金属元素及其他元素含量的测定按GB/T34972的规定执行。测定时，应有尾气处理措施，防止四氟化硅对环境的污染。7.1同一生产线连续稳定生产的四氟化硅构成一批。7.3氟化氢及金属元素的含量应按表2规定的抽样数量随机抽样检验。当检验结果符合表1的规定5表2瓶装四氟化硅抽样表单位为瓶1258.1.2包装容器上宜涂刷“电子气体四氟化硅”字样。8.2包装、运输及贮存8.2.3宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应符合本文件的规定。瓶阀出气口连接方式宜使8.2.4应防止泄漏和瓶口被污染。8.2.5四氟化硅产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。8.3安全信息四氟化硅的安全信息见附录B。6(资料性)气路流程示意图测定四氟化硅时，参考的气路流程示意图见图A.1。标引序号说明：1—-载气进口；2—载气过滤器；5——六通阀；7---样品进；8——样品出；10——检测器；11—--预分离柱I;14--—色谱柱I;16——预分离柱Ⅱ;18——色谱柱Ⅱ。图A.1测定四氟化硅的气路流程示意图7(资料性)安全信息B.1.4物理性质：沸点，一85.15℃;临界温度，-14℃;临界压力，3.72MPa;气体相对密度：101.325kPa和21.1℃时3.594(以空气为1计)。B.1.5毒性(半数致死浓度):大鼠吸入LC50(4he)=461×10⁻⁶(体积分数)。B.2危险性说明B.3操作注意事项B.3.2生产过程严格密闭操作，提供局部通风和全面通风。B.3.3确保地面区域通风良好。并防止气体渗透到管道和下水系统。B.3.4操作人员戴防护手套，防护服，护目镜以及面罩。B.3.6配置洗眼器，并在配置位置明确标识。B.4紧急情况应对措施B.4.1发生火灾时，切断气源。该物质不可燃，根据周围环境选择灭火措施，并告知消防人员现场存在气体钢瓶。B.4.5如果误吸入四氟化硅，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧。如呼吸停止、心跳停止，立即进行心肺复苏术，并就医。尽快使用糖皮质激素吸入喷雾进行深度吸入治疗。B.4.6皮肤接触：用流动清水持续冲洗接触部位10min～20min,同时移除污染衣物，安排医疗救治，如果发生冻伤，用温水(38℃~42℃)复温，不用热水或辐射热，不要揉搓。就医。若伤者在呼吸防护良好但皮肤防护不足的环境中暴露，保持呼吸防护装置佩戴状态下进行全身淋浴。B.5泄漏处理处置B.5.1消除所有点火源。B.5.2根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。8B.5.3应急处理人员佩戴内置正压自给式呼吸器，穿气密性化学防护服。B.5.4有液化气体泄漏，注意防冻伤。B.5.5不接触或跨越泄漏物。B.5.6切断泄漏源。B.5.7防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。B.5.8喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏