GB-T 47631-2026《光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法》

1光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法警告：本文件符合所有关于使用高压和产生激光设备的正常和可接受预防措施。本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微镜(CLSM),对光学功能薄膜产品表观质量的检测方法。本文件适用于光学功能薄膜。2规范性引用文件本文件没有规范性引用文件。3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。膜内点inclusion基体中的颗粒。超过3/4的体积在表面上的颗粒。划伤scratch基体表面上的一维缺陷。沟槽groove基体表面上具有深度和宽度的表面二维缺陷。4测试原理4.2CLSM利用单色激光扫描束经过照明针孔形成点光源，对样品内焦平面上的每一点进行扫描，样品上的被照射点在检测器的检测针孔处成像，由检测针孔后的光电倍增管逐点或逐线接收，迅速在计算2机监视器屏幕上形成荧光图像，照明针孔与检测针孔相对于物镜焦平面是共轭的。5仪器5.1.1SEM的分辨率优于50nm。5.1.2对光学功能薄膜样品分析时测试参数如下：加速电压0.1kV～20kV;工作距离5mm～60mm;样品倾斜角—15°~60°。5.2.2具备3D测量功能。6环境条件与校准特定产品最终用途要求不同的条件，否则SEM应使用(20±5)℃的温度和小于70%的相对湿度(无冷凝)进行测试。CLSM应使用(20±5)℃的温度和小于20%或大于80%的相对湿度(无冷凝)进行测试。对光学功能薄膜样品分析时，SEM的试验过程如下：a)取最小尺寸为2mm×2mm的样品安装在样品台上，非导电样品需进行离子溅射仪喷镀，将其放入SEM样品仓，抽真空；b)当“ON”键可以操作时，激活电子束；d)调节放大倍数，对图像进行聚焦、去像散，最终获得清晰的图像；e)记录图像；对光学功能薄膜样品分析时，CLSM的试验过程如下：3d)将制作好的样品放置载物台上压紧固定；e)信息采集：在最低倍镜下通过粗调调整样片的清晰度，随后手动调节载物台至样品弊病区域，调节物镜放大倍数进行对焦，最终获得样片清晰的二维及三维图。8.1SEM进行二维的数据分析。8.2CLSM打开系统分析软件，进行二维及三维图的数据分析，包括尺寸、表面粗糙度、表面形貌等。数据处理结束，保存并导出至电子表格。8.3图像中的弊病点可能出现膜内点、膜外点、凹坑、划伤、沟槽中的一种情况，也可能同时出现两种以上的任意情况，例如：膜内点与凹坑，膜内点、膜外点与凹坑，膜内点、膜外点、凹坑与划伤，膜内点、膜外点、凹坑、划伤、沟槽等。参见附录A。试验报告应含有以下信息：a)相关照片应包括样品名称、测试日期、电压、放大倍率和标尺；b)设备制造商和型号；c)任何与本文件不一致的内容应被记录并详细描述；d)测试数据和结果描述。4(资料性)SEM和CLSM采集的弊病点样本图图A.1SEM采集的膜内点[聚对苯二甲酸乙二醇(PET)膜，工作距离(WD)=10mm,15kV,样品倾斜角0°]样本图A.2CLSM采集的膜内点(PET膜，样品倾斜角0°)样本图A.4CLSM采集的膜外点(PET膜，样品倾斜角0°)样本6图A.6CLSM采集的凹坑(PET膜，样品倾斜角0