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一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件及公开了一种具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件镀膜金属基体分割成多个n型镀膜热电臂；S2在金属基体表面依次沉积第三结合层、p型热电薄然后将p型镀膜金属基体分割成多个p型镀膜热2S1和S2中，将单个表面镀膜的金属基体和/或上下两个表面均镀膜的金属基体任意多层叠6.如权利要求1_5任一项所述的具有镀膜型热电臂的热电薄膜器件制备方法，其特征3[0003]薄膜热电器件根据热量传递的方向分为Cross_plane型与In_plane型。热量传递4于200℃。5[0034]在预处理完的金属基体1表面依次沉积第一结合层2、热电薄膜4(具体为n型热电[0036]在预处理完的金属基体1表面依次沉积第三结合层3、热电薄膜4(具体为p型热电6[0050]将预处理完成后的金属基片置于腔体中，通过直流溅射，将沉积温度固定在200[0052]将预处理完成后的金属基片置于腔体中，通过直流溅射，将沉积温度固定在200

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