CN114258584B 路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法 （应用材料公司）

2022.02.14PCT/EP2019/0718392019.08.14WO2021/028043EN2021.02.18WO2017101971A1,2017.06.22描述了一种用于横向地移动载体的路径切或多个可枢转载体传送元件(152)，所述一个或多个可枢转载体传送元件用于在路径切换方向(S)上将载体(10)从第一运输路径(T1)移动到侧2送元件(152)具有竖直旋转轴线(155)，并且所述一个或多个可枢转载体传送元件(152)包直轴线的旋转移动的耦接件，所述一个或多个可枢转载体传送元件(152)包括具有第一旋转轴线(155A)的第一可枢转载体传送元件(152A)和具有平行于所述第一旋转轴线(155A)2.如权利要求1所述的路径切换组件(150)，所述旋转轴线(155)从所述第一运输路径3.如权利要求2所述的路径切换组件(150)，所述一个或多个可枢转载体传送元件4.如权利要求1至3中任一项所述的路径切换组件(150)，所述一个或多个可枢转载体传送元件(152)包括从所述旋转轴线径5.如权利要求1至3中任一项所述的路径切换组件(150)，其中所述一个或多个可枢转6.如权利要求1至3中任一项所述的路径切换组件(150)，其中所述一个或多个可枢转7.如权利要求1至3中任一项所述的路径切换组件(150)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)中的至少一者连接到用于使所述一个或多个载体传送元件(152)围绕所述旋8.如权利要求1所述的路径切换组件(150)，所述第一旋转轴轴线(155B)间隔开实质上对应于所述第一运输系统(101)，所述第一运输系统沿第一运输路径(T1)设置以用于运输载体第二运输系统(102)，所述第二运输系统沿从所述第一运输路径(T1)如权利要求1至10中任一项所述的路径切换组件(150)，其中所述一个或多个可枢转载体传送元件(152)枢轴安装在设置在上腔室壁(210U)和底腔室壁(210B)中的至少一者中314.如权利要求11至13中任一项所述的腔室(210)，其中所述第一运输系统(101)和所一将所述载体从所述一个或多个可枢转载体传送元件(152)移交到所述第二运输系统19.一种制造装置的方法，包括使用如权利要求1至10中任一项所述的路径切换组件4载体的第一运输路径和用于在与向前方向相反的返回方向上运输载体的第二[0005]常规的运输系统具有被构造为支承载体并沿运输路径运送载体和/或将载体从一5法包括将所述一个或多个可枢转载体传送元件从所述第一运输系统枢转到处理位置。另述一个或多个可枢转载体传送元件枢轴安装在设置在上腔室壁和底腔室壁中的至少一者述处理系统包括至少一个根据本文描述的任何根据本公开内容的任何实施方式的路径切换组件、根据本公开内容的任何实施方式的腔[0013]多个实施方式还涉及用于进行所公开的方法的设备并且包括用于执行每个描述[0017]图2A和图2B示出了根据本文描述的另外的多个实施方式的路径切换组件的示意6[0019]图4A示出了包括根据本文描述的多个实施方式的路径切换组件的腔室的示意性[0020]图4B示出了包括根据本文描述的多个实施方式的路径切换组件的腔室的示意性[0022]图6A示出了根据本文描述的多个实施方式的用于例示切换载体的运输路径的方[0023]图6B示出了根据本文描述的多个实施方式的用于描述切换载体的运输路径的方[0025]图7B示出了根据本文描述的多个实施方式的用于描述处理基板的方法的示意性其他多个实施方式组合的多个实施方式，路径切换组件150包括一个或多个可枢转载体传[0031]如图1B示例性地所示，第一运输路径T1和第二运输路径T2典型地在运输方向T上7换组件被构造为用于使载体在路径切换方向S上侧向地移动。示例性地参考图1B，应当理别地，实质上非柔性的基板可具有一定程度的柔性，例如具有0.5mm或更低的厚度的玻璃[0037]示例性地参考图1B，根据可与本文描述的其他多个实施方式组合的多个实施方式，一个或多个可枢转载体传送元件152具有从第一运输路径T1侧向地偏移第一距离D1的多个实施方式，一个或多个可枢转载体传送元件152包括从旋转轴线径向地延伸的载体保元件152包括用于保持载体10的载体保持接口154，特别是载体保持元件153包括用于保持8方式，一个或多个可枢转载体传送元件152包括具有第一旋转轴线155A的第一可枢转载体传送元件152A和具有第二旋转轴线155B的第二可枢转载体传送元件152B。第二旋转轴线送元件152A的载体保持元件153可布置成分别耦接到载体的上部分和下部分。第二可枢转[0041]如图2A示例性地所示，可提供上第二可枢转载体传送元件152BU和下第二可枢转[0042]示例性地参考图3A，根据可与本文描述的其他多个实施方式组合的多个实施方出的，一个或多个可枢转载体传送元件152中的至少一者连接到用于使一个或多个可枢转二可枢转载体传送元件152BU和/或下第二可枢转载体传送元件152B载体传送元件152BU的运动与下第二可枢转载体传送元件152B[0046]示例性地参考图4A和图4B，描述了包括根据本公开内容的路径切换组件150的腔9本文所描述的真空腔室中的压强可在10_5毫巴与约10_8毫巴之间，更典型地在10_5毫巴与腔室中的压强可认为是真空腔室内的蒸发材料的分压强可在约10_4毫巴至约10_7毫巴的范围内，尤其是在真空腔室中存在除蒸发材料之外的[0048]根据可与本文中描述的任何其他多个实施方式组合的多个实施方式，腔室210包该轴承设置在上腔室壁210U和下腔室壁210B[0051]根据可与本文描述的任何其他实施方式组合的实施方式，第一运输系统101和第[0053]示例性地参考图5，描述了根据本公开内容的用于竖直地处理基板的基板处理系[0054]根据可与本文描述的任何其他实施方式组合的多个实施方式，基板处理系统200[0059]如图5示例性地所示，根据可与本文描述的其他多个实施方式组合的多个实施方[0061]如图5示例性地所示，基板处理系统典型地包括沿第一运输路径T1设置的第一运偏移的第二运输路径T2设置的第二运输系统102。第一运输路径T1和第二运输路径T2也可[0064]如图5示例性地所示，根据可与本文描述的其他多个实施方式组合的多个实施方一运输系统101移交到一个或多个可枢转载体传送元件152(由图6A中的框301表示)，特别是根据本文描述的任何实施方式的路径切换组件的一个或多个可枢转载体传送元件。另系统101移交到一个或多个可枢转载体传送元件152包括减小作用在第一运输系统与载体体的竖直位置。因此，可建立在一个或多个可枢转载体传送元件152与载体之间的机械接个可枢转载体传送元件152移交至第二运输系统102包括增大作用在第二运输系统与载体[0070]当第一可枢转载体传送元件152A的载体保持元件153处于位置P3并且第二可枢转中的第一运输路径T1上时，第一可枢转载体传送元件152A的载体保持元件153从位置P3移体从第一运输系统移交到一个或多个可枢转载体传送元件152，特别是分别移交到第一可枢转载体传送元件152A的载体保持元件153和第二可枢转载体传送元件152B的载体保持元且第二可枢转载体传送元件152B的载体保持元件153从位置Q1移动到位置Q2。位置P2和Q2件152移交到第二运输系统102。载体可由第二运输系统102运输出腔室并且将载体留在第运输系统101移交到一个或多个可枢转载体传送元件152(由图7A中的框401表示)，特别是根据本文描述的任何实施方式的路径切换组件的一个或多个可枢转载体传送元件。另外，方法400包括将一个或多个可枢转载体传送元件152从第一运输系统101枢转到处理位置PR[0073]示例性地参考图7B，应当理解，处理基板的方法400可包括切换运输路径的方法可从处理位置PR移动到第二运输路径T2并移交到第二运输系统[0074]示例性地参考图8的流程图，描述了根据本公开内容的多个实施方式的制造期间用根据本文描述的任何实施方式的路径切换组件150(由图8中的框501表示)、根据本文描述的任何实施方式的腔室210(由图8中的框502表示)、根据本文描