CN114280887B 一种碱性水系显影的负型感光性固态胶膜及其制备方法 （明士(北京)新材料开发有限公司）

一种碱性水系显影的负型感光性固态胶膜本发明公开了一种碱性水系显影的负型感2所述聚酰胺酸酯的分子量为10000-6所述二酐由含氟芳香族二酐与非含氟芳香族二酐组成，其中含氟9,10-苝四羧酸二酐中的一种化合物或两种及两种以上化合物式中，X表示单键或选自-CH2-、-O-、-CO-、-S-、-SO2-、-NHCO-、-C(CF3)2-、-C3)2-组成的组中的任意一种基团；4683羟基-3-环己氧基丙基甲基丙烯酸酯中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混3(2)将非含氟芳香族二酐与含不饱和双键的醇类化合物反应生成非含氟芳香族二酯二(3)将步骤(1)生成的含氟芳香族二酯二酸与步骤(2)生成的非含氟芳香族二酯二酸混3.根据权利要求1所述的负型感光性固态胶膜，其特征在于：所述感光性树脂组合物基-1-萘酚和2-亚硝基-5-(N-乙基-磺基丙基氨基)苯酚中的一种或4所述感光性树脂组合物通过包括如下步骤的方法制备得6.制备权利要求1-5中任一项所述的碱性水系显影的负型感光性固态胶膜的方法，包所述保护膜贴合在温度25-120℃下进行；8.权利要求1-5中任一项所述的碱性水系显影的负型感光性固态胶膜在需要中空结5[0001]本发明涉及适用于半导体元件的表面保护膜/层间绝缘膜/有机电致发光元件的需要中空结构体的电子部件，例如弹性滤波器和MEMS(MicroElectroMechanical[0002]半导体集成电路或印刷基板上的电路图案的形成经过以下烦杂且各种各样的工[0003]作为此时的材料，例如开发出感光性聚酰亚胺/感光性聚苯并噁唑等耐热感光材[0004]随着人工智能时代的来临，对于电子部件的封装形态提出了各种各样的形式要[0009]本发明所提供的碱性水系显影的负型感光性固态胶膜由感光性树脂组合物制作6光致交联剂(3)0.01-5质量份的光引发剂(4)15-70质量份的无机填料(5)10-40质量份的溶10-苝四羧酸二酐中的一种化合物或两种及两种以上化2-3)2-3)2-7基-3-叔丁氧基丙基甲基丙烯酸酯和2-羟基-3-环己氧基丙基甲基丙烯酸酯中的一种化合[0023](1)将含氟芳香族二酐与含不饱和双键的醇类化合物反应生成含氟芳香族二酯二[0024](2)将非含氟芳香族二酐与含不饱和双键的醇类化合物反应生成非含氟芳香族二[0025](3)将步骤(1)生成的含氟芳香族二酯二酸与步骤(2)生成的非含氟芳香族二酯二[0032]含氟芳香族二酯二酸与非含氟芳香族二酯二酸的总摩尔数与酰氯化试剂的摩尔0.01-0.48基)肟中的一种化合物或两种及两种以上化合物料)质量的40-60%;2-亚硝基-1-萘酚和2-亚硝基-5-(N-乙基-磺基丙基氨基)苯[0049]上述聚酰胺酸酯及含有该聚酰胺酸酯的感光性树脂组合物在碱性水系显影的负型感光性固态胶膜制备中的应用也属于本发明的9[0064]上述碱性水系显影的负型感光性固态胶膜在需要中空结构的电子部件制作中的烯酸酯溶液加入进6FDA-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55gSOCl2在0-10℃反应[0073]在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1L三口圆底烧瓶中，加入酸二甲基丙烯酸酯。率为40μm。所得固态胶膜的断裂伸长率为2.5拉伸强度100，拉伸模量为5.8。跨度为[0081]将实施例1的非含氟芳香族二酐替换成10.90g非含氟芳香族二酐均苯四甲酸二[0085]在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，加入甲基吡咯烷酮(NMP)，室温搅拌6h，生成相应的均苯二酸二甲基丙烯酸酯。将上述产物与[0086]在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1L三口圆底烧瓶中，加入[0091]在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，加入[0092]在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1L三口圆底