CN114354651B 一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）

道同胜社区上横朗第四工业区2号本申请涉及一种光学检测装置及信噪比估的电信号和/或探测参数确定评估模型的输入参数，将输入参数输入评估模型以计算得到信噪则结合获取的输入参数就容易计算得到光学检2所述处理器根据所述转速等级确定光学检测中受干扰的主要噪声类型和次要噪声类所述处理器根据所述主要噪声类型建立噪声干扰的所述处理器根据所述电信号和/或所述探测参数确定所述评估模型所述处理器将所述输入参数输入所述评估模型以所述处理器根据所述信噪比判断所述待检测物体的表面被所述检测光照射的区域是在所述低转速模式下，所述处理器确定的主要噪声类型包在所述中转速模式下，所述处理器确定的主要噪声类型包括散在所述高转速模式下，所述处理器确定的主要噪声类型包3.如权利要求2所述的光学检测装置，其特征在所述处理器根据所述背景光转换成的电信号得到所述背景光在单位时间内射入所述3所述处理器根据所述探测参数获得所述探测器在光电转换中的量子所述处理器将所述反射光在单位时间内射入所述探测器的光子数目、所述处理器判断所述信噪比小于所述预设阈值时，确定所述待检获取一探测器产生的电信号和所述探测器的探测参数；所述电光信号并转换后得到，所述光信号为待检测物体表面的反射光和/或所述反射光之外的背获取所述待检测物体的转速信号，根据所述待检测物体的转速根据所述电信号和/或所述探测参数确定所述评估4根据所述背景光转换成的电信号得到所述背景光在单位时间内射入所述探测器的光根据所述探测参数获得所述探测器在光电转换中的量子效率、所述探测器的曝光时将所述反射光在单位时间内射入所述探测器的光子数目、所述背景所述探测器的暗电流大小和所述探测器的读出噪声大小中的多者确定为所述评估模型的获取一探测器产生的电信号和所述探测器的探测参数；所述电光信号并转换后得到，所述光信号为待检测物体表面的反射光和/或所述反射光之外的背根据所述转速等级确定光学检测中受干扰的主要噪声类型和次根据所述电信号和/或所述探测参数确定所述评估根据所述信噪比判断所述待检测物体的表面被检测光照射的区如权利要求9-10中任一项所述的光学检测的缺5[0001]本申请涉及光学检测技术领域，具体涉及一种光学检测装置及信噪比估算方法、所述电信号和/或所述探测参数确定所述评估模型的输入参数；所述处理器将所述输入参6[0015]所述处理器根据所述电信号和/或所述探测参数确定所述评估模型的输入参数，述背景光在单位时间内射入所述探测器的光子数目、所述探测器在光电转换中的量子效[0016]所述处理器根据所述信噪比判断所述待检测物体的表面被所述检测光照射的区和/或所述探测参数确定所述评估模型的输入参数；将所述输入参数输入所述评估模型以7据所述背景光转换成的电信号得到所述背景光在单位时间内射入所述探测器的光子数目，以及根据所述反射光和所述背景光转换成的电信号得到所述反射光在单位时间内射入所电流大小和所述探测器的读出噪声大小中的多者确定为所述评估模型表面的反射光和/或所述反射光之外的背景光；根据所述转速信号适配噪声干扰的评估模[0029]所述根据所述信噪比判断所述待检测物体的表面被所述检测光照射的区域是否8不同转速或检测模式下的信噪比计算效率，还能够得到信噪比与信号采集条件之间的关根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完9目的是接收待检测物体A在检测光照射下形成的反射光，和/或接收反射光之外的背景光，[0055](2)处理器14根据转速信号适配噪声干扰的评估模型。由于光学检测中待检测物而依据不同的转速等级来适配不同噪声干扰的评估模型，这里的评估模型用于计算信噪电信号进行模拟和数字处理后即可得到相机每一帧取像中各像素点的像素值)来换算得[0058](5)处理器14根据信噪比判断待检测物体的表面被检测光照射的区域是否存在缺A表面的缺陷会引起待检测物体A表面反射光的变化，并引起射入探测器13的光信号的波动，导致信噪比的计算结果发生改变，所以可基于这一思路来判断待检测物体A表面的缺[0061]1)处理器14根据转速信号确定转速等级。通过分析转速[0062]2)处理器14根据转速等级确定光学检测中受干扰的主要噪声类型和次要噪声类为[0078]在一个实施例中，处理器14根据电信号和/或探测参数确定评估模型的输入参数[0079]1)处理器14根据背景光转换成的电信号得到背景光在单位时间内射入探测器13测器13的暗电流大小和探测器13的读出噪声大小中的多个参数确定为评估模型的输入参[0082]在一个实施例中，处理器14根据信噪比判断待检测物体A的表面被检测光照射的信噪比小于预设阈值时可以确定待检测物体A的表面被检测光照射的区域存在缺陷。可以是由探测器13接收光信号并转换后得到，光信号为待检测物体表面的反射光和/或反射光由于处理器14与转台11连接，那么处理器14可通过转台11的速度检测传感器获取转速信[0105]步骤231，根据背景光转换成的电信号得到背景光在单位时间内射入探测器13的器13的暗电流大小和探测器13的读出噪声大小中的多者确定为评b计算得到信噪比SNR；由于高转速模式下建立的评估模型为所以只需要[0109]需要说明的是，本实施例中建立了与待检测物体的转速适配的噪声干扰评估模[0114]步骤320，获取转换光信号的探测器13产生的电信号和探测器13的探测参数在这入参数输入到评估模型中即可计算得到信噪比SNR；在高转[0119]步骤360，根据信噪比判断待检测物体A的表面被检测光照射的区域是否存在缺当信噪比小于预设阈值时可以确定待检测物体A的表面被检测光照射被检测光照射的区域是否存在缺陷，不仅采用一种新方式来评估集成电路产品的表面缺装置可以包括一些与处理器42连接的