2021 纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

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［}~：ＧＢ／Ｔ３０５４４．４—２０１９，２．４］

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［}~：ＧＢ／Ｔ２５９１５．６—２０１０，２．２５］

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ＶＣＤ１Ｈｚ～８０Ｈｚ-%６．２５μｍ／ｓ（２５０ｍｉｎ／ｓ）

ＶＣＥ１Ｈｚ～８０Ｈｚ-%３．１２μｍ／ｓ（１２５ｍｉｎ／ｓ）

ＶＣＦ１Ｈｚ～８０Ｈｚ-%１．５６μｍ／ｓ（６２．５ｍｉｎ／ｓ）

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