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文档简介
犌犅/犜40071—2021
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犌犅/犜40071—2021
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3.7
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A3-0.5×(A3-A2)<犆G≤A3+0.5×(A4-A3)A33
A4-0.5×(A4-A3)<犆G≤A4+0.5×(A5-A4)A44
A5-0.5×(A5-A4)<犆G≤A5+0.5×(A6-A5)A55
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ÔP。éêP,PMMA/GR2M/Cu/GR2M®¬F12£QR¿(NH4)2S2O8HIñò,ð.0Cu/
GR2M¬£èHS,LT.0PMMA/GR2M¬,æU/%ÒVW,yL@ÔXCuð.0GR2M,=
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犃.4¿MNOPQR30min(01?\*®à)。,{MNO]Ò¿þ|^¯0>+P'-。
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10minYXaO/,¨°òµ¿180℃0`½ôd15minPMMAFbc。
犃.6£PMMA/GR2M/300nmSiO2/Side¿;fP,gµ10hPMMA¬HS。 °£GR2M/
300nmSiO2/SiàòáOhi3MNOPdeþ10min。V°ÓãNj9k?=ílm
0GR2M/300nmSiO2/Si./。
犃.7qd001üý°./ñòHlm,?4fbKL8MNOÔP03à,8Ó50℃0
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a)Uã8no(NH4)2S2O8HI0[ÚYUã8noKLàÚ。oKLàÚjDæU./¿
KLéêP0þp¾。
b)äåÌGKLI,qFeCl3HI¶。
c)äåÌGjGö*ÜÌÍCD¬,qÒª:°îµq(polydimethylsiloxane,>PDMS)¶。
d)DÓµ(O2)¶7r{üýPMMA/GR2M/Cu/GR2M®¬F120Ûò,KLÜ
3min~5min,£Cuð.0GR2MKLY,¨°s#$A.23°01。áÓÛ?4
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