2021 纳米技术 氧化石墨烯厚度测量 原子力显微镜法

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２３１．１４６－０．０６５０．１３４０．０２７７３．１５２０．７２

３１０．９４２－０．００２３８０．２１９－０．００２８１０．９０２０．７２３

３３２１．０９４－０．０４０３０．２５９０．０６１８０．９１０．７４２０．７３４０．０１

３３０．９７９－０．００９８０．１５２０．０８７５０．９２６０．７３６

４１１．１８８－０．０７８６０．３１９０．０１５６０．８０９０．７９２

４４２１．１３３－０．０１８９０．３０５－０．０４６６０．７２５０．８４８０．８２４０．０２９

４３０．９８９０．０５１５０．１９９０．００１４２０．８４３０．８３２

５１１．６３７－０．０４３８０．８５４－０．０６３５２．６６３０．８３５

５５２１．３１２０．００６４８０．４３１０．０１１２．７８５０．８６８０．８４５０．０２

５３１．３６９－０．００６３３０．６３８－０．０４３８２．６８８０．８３１

６１０．８２１０．０４７４０．２８６０．０１３７１．０６９０．５７１

６６２０．７２２０．０６５９０．０９７０．０６０５１．０９３０．６３２０．６０８０．０３２

６３０．８３３－０．００４０２０．１８２０．０２２４１．１１８０．６２１

７１１．０８３－０．０２７５０．１６０．０２１９２．９１７０．７７８

７７２０．８２５０．０１０９－０．０４７０．０５６６２．９０５０．７４０．７５３０．０２２

７３１．０１４－０．０２０５０．２０３０．００３２６２．９３８０．７４１

８１１．１３９－０．０７７２０．１５６－０．０２２４２．５９１０．８４１

８８２１．０４１－０．０８２５０．２９６－０．０５２７２．７０７０．６６４０．７４６０．０８９

８３０．８３１０．０１３５－０．０２２０．０５７８２．７２５０．７３２

９１０．９８７０．００６１７－０．０３０．０３４６３．９５５０．９０４

９９２０．９５４０．０３６８－０．０７０６０．０７１１４．０３３０．８８６０．８４１０．０９４

９３０．９７３０．００９２１０．０４２４０．０７６９２．９１９０．７３３

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１０１０２０．９７－０．０３７７０．１５８０．０５０６１．６５９０．６６５０．６５００．０５９

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２３０．０００２９４０．８９２０．８９２

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８１－０．０５９３１．０１８１．０７７

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