CN114506006B 树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法 （山田尖端科技株式会社）

JP2018134846A,201KR20100019137A,2010.0本发明提供一种可抑制缺陷的产生的树脂树脂密封模具(200)的模腔(201)的形状算出树个线状路径相对于将模腔(201)线对称地分割的邻接的线状路径之间的区域(19)在另一个线状2树脂供给装置，向配置在树脂密封模具的下模的被涂布物上供所述树脂供给图案具有在第一方向排列的多个所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径中的其中一个线状路径从所述第一方向所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径中的另一个线状路径从所述第一方向朝线状路径中的另一个线状路径远离至少所述相互邻接的线状路径中的其中一个线状路径其中所述树脂供给图案是通过反复折回倾斜的线状路径而以在所述树脂密封模具的所述模腔为中心呈放射状延伸设置的所述多个排气口中的至少一个的延伸部分位于所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域的方式，所述第二线状路径在接近所述第一线状路径的一侧的端部与所述第一线状路径连接，在接近所述第三线状路径的一侧的端部与所述第3.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所述树脂供给图案为连续的一条线5.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中所述多个线状路径中的相互邻接的线状6.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所7.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置8.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，还包括取9.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所述10.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所述算出部采纳使用被供给的树脂3而受到密封的工件上的元件的配置信息来算11.根据权利要求10所述的树脂密封装置，其中所述对称轴在所述元件排列的方向上12.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所述树脂供给图案以工件中的元件的面积率小的区域中的树脂的供给量比所述元件的面积率大的区域中的树脂的供给量多13.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所述多个线状路径包括在工件的中所述一组线状路径所成的角度比所述另一组线状路径所成14.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中所述多个线状路径包括在工件的中所述一组线状路径所成的角度比所述另一组线状路径所15.一种树脂密封品的制造方法，包括向配置在树脂密封模具的下模的被涂布物上供基于所述树脂密封模具的模腔的形状来算出树脂供所述树脂供给图案具有在第一方向排列的多个所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径中的其中一个线状路径从所述第一方向所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径中的另一个线状路径从所述第一方向朝所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域至少在所述相互邻接的线状路径中的另一个线状路径远离至少所述相互邻接的线状路径中的其中一个线状路径的一以在树脂密封模具的所述模腔为中心呈放射状延伸设置的所述多个排气口中的至少16.根据权利要求15所述的树脂密封品的制造方法，其中所述被涂布物是使用被供给17.根据权利要求15所述的树脂密封品的制造方法，其中所述被涂布物是将被供给的4态的腔室内形成螺旋状或格子状的树脂供给图生填充不良引起的气穴(airtrap)或空[0011]本发明的一实施例的树脂供给装置是向配置在树脂密封模具的下模的被涂布物其中一个线状路径的一侧向另一个线状路径远离其中一个线状路径的一侧缓缓地填充树5给量比元件的面积率大的区域中的树脂的供给量多[0024]所述实施例中，多个线状路径可包括在工件的中央部中相互邻接的一组线状路[0025]所述实施例中，多个线状路径包括在工件的中央部中相互邻接的一组线状路径、[0026]本发明的一实施例的树脂密封装置包括所述实施例中的任一实施例的树脂供给长线上设置的排气口在相互邻接的线状路径之间的区域被树脂填满之前不会堵塞。因此，可抑制在邻接的线状路径之间的区域残存的空气或由树脂产生的气体在树脂密封模具的[0028]本发明的一实施例的树脂密封品的制造方法是包括向配置在树脂密封模具的下6其中一个线状路径的一侧向另一个线状路径远离其中一个线状路径的一侧缓缓地填充树[0036]图3是表示使用第一实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程[0048]图15是表示使用第二实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程78略性地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的图。图2是概略性地表示树脂密封模具[0099]树脂密封装置1是用于利用树脂13对工件10进行树脂密封(模塑成形)的装置。树如包括基板11和配置在基板11上的元件12，元件12分别排列在第一方向X和第二方向Y上。[0102]取得部110取得构成树脂密封模具200的填充有树脂13的内部空间的模腔201的结也可通过读取赋予至树脂密封模具200的代码等，从预先记录的数据库取得与所述代码等上的元件12的配置信息(例如与元件12的形状或大小、排列的方向或数量或间隔等相关的9供给图案(被涂布在被涂布物上的树脂13的形状)。在算出部130中算出的树脂供给图案具有沿着第一方向X延伸且在第二方向Y上排列的多个线14中的其中一个线状路径随着朝向第一方向X的正方向侧或负方向侧而接近另一个线状路[0107]例如在相互邻接的线状路径14中的其中一个线状路径接近另一个线状路径的一互邻接的线状路径14中的其中一个线状路径远离另一个线状路径的一侧向工件10的外侧开放。相互邻接的线状路径14之间的区域19在与向工件10的外侧开放的一侧为相反的一第二线状路径14B从第一方向X沿逆时针方向倾斜。第二线状路径14B在第一方向的负方向侧接近第一线状路径14A，在第一方向X的正方向侧接近第三线状路径14C。第一线状路径14A和第二线状路径14B的各自的第一方向X的负方向侧的端部在最外缘的元件12上重叠，第二线状路径14B和第三线状路径14C的各自的第一方向X的正方向侧的端部在最外缘的元方向侧)的端部与第一线状路径14A连接，在接近第三线状路径14C的一侧(第一方向X的正和第二线状路径14B与第三线状路径14C所成的角[0111]在俯视工件10时，第一线状路径14A与第二线状路径14B之间的区域19A在第一方二线状路径14B与第三线状路径14C之间的区域19B在第一方向X的正方向侧(第三线状路径三线状路径14C之间的区域19B也同样地在第一[0112]驱动部140沿着树脂供给图案使供给部120相对于固定的工构成为可相对于第一移动部142在第二方向Y上移动，第三移动部144构成为可相对于第二第一马达142M的驱动而在上基座部141的导轨上滑动的滑动器。第一移动部142具有导轨，第二移动部143具有通过第二马达143M的驱动而在第一移动部142的导轨上滑动的滑动器。第二移动部143具有导轨，第三移动部144具有通过第三马达144M的驱动而在第二移动部二马达143M控制供给部120的第二方向Y的移动量和移动速度，第三马达144M控制供给部动速度来控制来自供给部120的树脂13的喷出量和喷言，根据重量计的计量结果，使驱动部140的第一马达142M～第四马达122M的驱动发生变[0116]树脂密封模具200是用于使用压缩成形技术来对工件10进行树脂密封的一对模具模具200的内部压力的压力调节部(例如真空泵)、或调节内部温度(成形温度)的温度调节路径14A与第二线状路径14B之间的区域19A的延长线上设置有法进行说明。图3是表示使用第一实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流是概略性地表示通过树脂密封模具展开的途中的树脂的剖面图。图6是概略性地表示通过供给树脂13的供给部120沿着树脂供给图案移动，且供给部120移动到供给结束位置(树脂式将隔离膜RF搬入到开模的树脂密封模具200的内部。隔离膜RF例如也可通过从设置在模具的前方的未使用的膜的辊送出，利用设置在模具的后方的使用后的膜的辊卷取来供给。10与夹具225之间)形成排气口226，通过所述排气口226连接夹具225的内侧的空间(模腔201)与夹具225的外侧的空间。由此，图4所示的模具中的空气被排出到腔室区块227的外10上相互邻接的路径的线状路径14之间的区域19在由树脂13填充完之前不会被树脂13分14之间的区域19在至少邻接的线状路径14中的其中一个线状路径远离另一个线状路径的脂密封时，可通过区域19排出残存在树脂密封模具200的内部的空气或由树脂13产生的气[0130]位于第一线状路径14A与第三线状路径14C之间的第二线状路径14B在一端部与第[0131]树脂供给装置100也可包括取得工件10的形状或元件12的配置信息的取得部11抑制在对树脂13进行加热加压时因树脂13不外部区域10B上的空间中由于树脂13不足相对于模腔201的对称轴SM倾斜即可，且只要相互邻接的线状路径14中的其中一个线状路径相对于另一个线状路径倾斜即可。相互邻接的线状路径14可在工件10的外部区域10B上件10的中央部相互邻接的线状路径14所成的角度也可与在第二方向Y上的工件10的端部相再依次言明同样的结果和同样的结构所带来的同样的作[0138]图7至图12分别表示不同的变形例的树脂供给图案的平面概略图。图7至图12中，44之间的区域49在相互邻接的线状路径44中另一个线状路径接近其中一个线状路径的一SM平行的第一方向X的正方向侧和负方向侧此两者向工过使在配置有元件52A的区域上延伸的线状路径54变粗，可抑制填充不良引起的缺陷的产路径64所成的角度比在第二方向Y上的工件60的端部相互邻接的线状路径64所成的角度路径74所成的角度比在第二方向Y上的工件70的端部相互邻接的线状路径74所成的角度在工件70的端部相互邻接的线状路径74之间的区域79的开放端的宽度为大致相同的大小。行说明。图15是表示使用第二实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程的树脂供给图案在工件10上反转。其次，沿着树脂供给图案向隔离膜RF上供给树脂13