CN114616690B 有机装置、制造方法、显示装置、电子设备和移动体 （佳能株式会社）

2022.04.27PCT/JP2020/0391322020.10.16WO2021/085187JA2021.05.06号JP2015001635A,2015.01.05JP2015197994A,2015.11.09T1被定义为布置在第一反射部的中央部的第一ΔT2被定义为在第二反射部上的第一绝缘膜的2述多个下部电极和所述第二绝缘膜的有机功能膜以及配置在所述有机功能膜上的上部电其中，所述上部电极和所述反射膜之间的电位差低于所述有机功能膜工作的阈值电第一绝缘膜的厚度，T2代表配置在所述第二反射部的中央部上的所述第一绝缘膜的厚度，膜和所述第二膜而是所述第三膜配置在所述第三反射部的中所述反射膜包括多个反射部，所述多个反射部包括第一反射部和第二述多个反射部中的每一者均被配置在所述多个下部电极中的对应的一个下部电极的下方，所述多个下部电极中的每一者与所述多个反射部中的对应的一个反射部彼述第一绝缘膜的第一导电塞电连接到所述多个反射部中的对应的一个反射3其中，基于从所述摄像装置提供的用户的视线信息来控制所述显示装置上的显示图4形成第二绝缘膜以覆盖所述多个下部电极中的每一者的周边部以及所述多个下部电其中，施加在所述上部电极与所述反射膜之间的电位差低于其中，所述反射膜包括第一像素所用的第一反射部以及第二像素所用的第二反射部，二膜而是所述第三膜配置在所述第三反射部的中央5[0002]已知诸如包括有机电致发光(下文中将被称为有机EL)膜[0003]在特开2017-107887号公报说明的电光装置中，像素的端结构在不同色的像素之盖所述多个下部电极中的每一者的周边部和所述多个下部电极之间的所述第一绝缘膜的67[0046]图1示意性地示出了根据第一实施方式的有机装置1的截面结构。图2示意性地示出了根据第一实施方式的变形例的有机装置1的截面结构。有机装置1包括第一像素201r、布线层107可以配置在第一层间绝缘膜105上。栅电极103和源/漏区域104可以经由第一导电塞106电连接到第一布线层107的一个第一布线图案。第一层间绝缘膜105可以是例如通过热CVD方法形成的BPSG膜或通过等离子体CVD方法形成的SiO2膜。第一布线层107的第一布线层图案可以是例如包括诸如Ti/TiN的阻挡金属的AlCu膜。第一导电塞106可以是例如[0048]第二层间绝缘膜108可以配置在第一布线层107上，并且多个反射部110可以配置在第二层间绝缘膜108上。第一布线层107的第一布线图案以及与其对应的反射部110可经由第二导电塞109电连接。第二层间绝缘膜108可以是例如通过等离子体CVD方法形成的SiO2[0049]可以配置光学调整膜114以覆盖多个反射部110。光学调整膜114可以包括第一膜二膜112和第三膜113的堆叠膜形成的部分以及由第三膜113的单层膜形成的部分。光学调整膜114或第一膜111、第二膜112和第三膜113是透光性绝缘膜，并且可以例如由SiO2膜、[0050]在第一实施方式中，第一像素201r包括在第一像素201r所用的反射部110上的光光学调整膜114r在第一像素201r所用的反射部110的周边部中包括由第一膜111、第二膜8素201r所用的反射部110的中央部中的光学调整膜114r的厚度由Tr代表。第一像素201r的部110的中央部中的光学调整膜114r的厚度与位于反射部110的周边部中的光学调整膜D/3的范围内的部分。构件的周边部表示从构件的端部朝向构件的重心在D/8范围内的部二膜112和第三膜113的堆叠膜形成的部分。第二像素201g所用的反射部110的中央部中的反射部110的中央部中的光学调整膜114g的膜厚优选地小于位于反射部110的周边部中的三膜113的单层膜形成的部分。第三像素201b所用的反射部110的中央部中的光学调整膜的中央部中的光学调整膜114b的膜厚优选地小于位于反射部110的周边部中的光学调整膜部110的周边部中的光学调整膜114r的厚度与第二像素201g所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114g的厚度之间的差减小。这表示该配置可以使第一像素201r和另一像素(第二像素201g或第三像素201b)之间的漏电流的大小与第二像素201g和另一像素(第一像素201r和其它像素之间的漏电流以及第二像素201g和其它像素之间的漏电流小于预定值。和上部电极120之间的漏电流在第一像素201r和第二像素201g之间均匀，并且对于抑制由混色引起的画质劣化是有效的。第一像素201r所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114r的厚度与第二像素201g所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114g的至少一部分周边部中的光学调整膜114g的厚度和第三像素201b所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114b的厚度之间的差减小。这表示该配置可以使第二像素201g和另一像素(第一像素201r或第三像素201b)之间的漏电流的大小与第三像素201b和另一像素(第一像素201r或9极120之间的漏电流在第二像素201g和第三像素201b之间均匀，并且对于抑制由混色引起的画质劣化是有效的。第二像素201g所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114g的厚度与第三像素201b所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114b的至少一部分的厚度特素201g和第三像素201b所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114r、114g和114b之间像素201g及第三像素201b所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114r、114g及114b的素201b所用的反射部110的周边部中的光学调整膜114r、114g及114b的厚度与位于第一像素201r所用的反射部110的中央部中的光学调整膜114r的至少一部分的厚度特别优选地大口116中电连接到配置在下部电极115下方的反射部110的周边部。在图2所示的变形例中，每个下部电极115均通过穿过光学调整膜114的塞117电连接到配置在下部电极115下方的[0057]有机装置1还可以包括覆盖多个下部电极115中的每一者的周边部和多个下部电膜118可以例如是通过等离子体CVD方法形成的SiO2膜。绝缘膜118被配置为使多个下部电[0058]在绝缘膜118上可以配置有机功能膜119。有机功能膜119至少包括有机发光材料素和第二像素之外，有机功能膜119还可以连续地配置在第三像素203b中。在有机功能膜形成。在上部电极120上可以配置密封膜121。密封膜121是用于防止水渗透到半导体基板[0059]形成在半导体基板101上的MOS晶体管向每个下部电极115发送电信号，并且有机功能膜119发射到上部电极120的光和被反射部110反射的光通过在与每个像素201r、201g本实施方式已经说明了红色、绿色和蓝色发光像素所用的反射部110的中央部中的光学调形成导电塞109的第二层间绝缘膜108上形成AlCu膜(例如，添加有0.5(atm％)的Cu的Al膜)。之后，可以通过光刻步骤和干蚀刻步骤对AlCu膜进行图案化，从而形成多个反射部膜114包括第一像素201r所用的第一光学调整膜114r、第二像素201g所用的第二光学调整[0069]在图3G所示的步骤中，通过光刻步骤和干蚀刻步骤在光学调整膜114中形成开口施方式中的多个反射部110配置在第二层间绝缘膜108上。防反射电极302配置在每个反射可以由例如包括诸如Ti/TiN的阻挡金属的AlCu膜形成。每个防反射电极302均可以由包括[0073]光学调整膜306可以配置成覆盖多个反射部301和多个防反射电极302。光学调整第三膜305的堆叠膜形成的部分以及由第三膜305的单层膜形成的部分。光学调整膜306或素201g和第三像素201b的反射部301上的层间绝缘膜材料和防反射电极材料的一部分中形<ΔTr的膜厚关系。形成每个防反射电极302的构件优选地存在于反射部301的周边部的至[0074]下部电极307配置在光学调整膜306上。每个下部电极307均期望地由透明材料制每个防反射电极302和每个下部电极307均在开口308中电连接。如果每个反射部301均由AlCu制成并且每个下部电极307均由含氧材料制成，则当每个反射部301和每个下部电极膜121和滤色器122可以配置在下部电极3叠膜形成的部分。光学调整膜306r在第一像素201r所用的反射部301的中央部中包括由第中央部中的光学调整膜306r的厚度由Tr代表。第一像素201r的光学调整膜306r在其表面形成的部分。光学调整膜306g在第二像素201g所用的反射部301的中央部中包括由第二膜304和第三膜305的堆叠膜形成的部分。第二像素201g所用的反射部301的中央部中的光学形成的部分。光学调整膜306b在第三像素201b所用的反射部301的中央部中包括由第三膜部301的周边部中的光学调整膜306r的厚度与第二像素201g所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306g的厚度之间的差减小。这表示该配置可以使第一像素201r和另一像素(第二像素201g或第三像素201b)之间的漏电流的大小与第二像素201g和另一像素(第一像素201r和其它像素之间的漏电流以及第二像素201g和其它像素之间的漏电流小于预定值。和上部电极120之间的漏电流在第一像素201r和第二像素201g之间均匀，并且对于抑制由混色引起的画质劣化是有效的。第一像素201r所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306r的厚度与第二像素201g所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306g的至少一部分周边部中的光学调整膜306g的厚度和第三像素201b所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306b的厚度之间的差减小。这表示该配置可以使第二像素201g和另一像素(第一像素201r或第三像素201b)之间的漏电流的大小与第三像素201b和另一像素(第一像素201r或极120之间的漏电流在第二像素201g和第三像素201b之间均匀，并且对于抑制由混色引起的画质劣化是有效的。第二像素201g所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306g的厚度与第三像素201b所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306b的至少一部分的厚度特素201g和第三像素201b所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306r、306g和306b之间像素201g及第三像素201b所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306r、306g及306b的素201b所用的反射部301的周边部中的光学调整膜306r、306g及306b的厚度与位于第一像素201r所用的反射部301的中央部中的光学调整膜306r的至少一部分的厚度特别优选地大[0081]本实施方式已经说明了红色、绿色和蓝色发光像素所用的反射部301的中央部中形成有导电塞109的第二层间绝缘膜108上形成AlCu膜(例如，添加有0.5(atm％)的Cu的Al进行图案化，从而形成均由反射部301和防反射电极302a的堆叠膜形成的多个堆叠体。此一膜303b和第二膜304a的位于第三像素201b的反射部301的中央部的部分。由此形成防反[0090]光学调整膜306包括第一像素201r所用的第一光学调整膜306r、第二像素201g所膜306b具有厚度Tb和台阶ΔTb。图5A至图5I所示的方法可以容易、精确地控制第一像素刻时间来控制第一像素201r、第二像素201g和第三像素201b所用的反射部301的中央部中面图中叠置在每个像素的反射部301的周边部中的防反射电极[0093]图6示意性地示出了根据第三实施方式的有机装置的平面图。图7A示意性地示出中，包括反射膜402和布线图案401的第三布线层配置在第二层间绝缘膜108上。第一像素反射膜402和布线图案401的第三布线层是用于电连接下部电极403和下部布线层(未示出)的布线层。反射膜402与布线图案401电绝缘。如图7B所示，反射膜402是为包括第一像素央部是与配置在反射部上的下部电极403的中央部重叠的部分，并且每个像素所用的反射部的周边部是与配置在该反射部上的下部电极403的周边部重叠的[0094]根据第一或第二实施方式的光学调整膜404配置在反射膜402和布线图案401上。选地以使得上部电极与反射膜402的之间电位差低于有机功能膜的发光阈值电压(有机功[0096]图8是示出根据第四实施方式的第三布线层的平面配置的图。图9A示意性地示出中，包括反射膜504和布线图案503的第三布线层配置在第二层间绝缘膜108上。第一像素第三布线层是用于电连接下部电极509和下部布线层的布线层。反射膜504和布线图案503料502优选地具有低反射率，并且特别优选地包含TiN或Ti。导电材料502的膜厚优选为约素所用的反射部的周边部是在平面图中与配置在反射部上的下部电极403的周边部重叠的201g及第三像素201b之间。通过使用反射率低于反射材料501的反射率的材料作为设置在[0098]在反射膜504和布线图案503上配置根据第一至第三实施方式中的每一者的光学以包括绝缘膜510，绝缘膜510覆盖多个下部电极509中的每一者的周边部以及多个下部电和第三布线层的布线图案503可以在形成于光学调整膜508中的开口511中电连接。由于配选地设定为使得反射膜504和上部电极之间的电位差等于或低于有机发光元件的发光阈值通过提高反射膜504和布线图案503之间的绝缘性来抑制反射膜504和布线图案503之间的的反射膜504或布线图案503并且通过相对各向同性生长的膜形成方法形成光学调整膜508[0101]下面将说明以上实施方式的变形例。有机EL元件(有机发光元件)可以具有阳极、够形成接触孔以确保阳极2和布线之间的导通状态并且能够确保与未连接的布线绝缘。例含有它们中的一些的混合物或通过组合它们法形成厚度为2μm的氮化硅膜。可以在使用CVD法形成膜之后使用原子沉积法(ALD法)来设[0112]平坦化层可以设置在滤色器的上方和下方，并且它们可以使用相同或不同的材[0114]形成根据本发明的实施方式的有机发光元件的有机化合物层(空穴注入层、空穴[0115]形成根据本发明的实施方式的有机发光元件的有机化合物层能够通过使用真空是便携式设备时，也可以将电池1008配置在其它位置。显示面板1005可以由有机装置1形[0125]图12A是示出根据本实施方式的光电转换装置的示例的示意图。光电转换装置机发光元件的显示装置能够用于需要更优选地比液晶显示装置高的显示速纳在外壳1104中的图像传感器上形成图像。能够通过调整相对位置来调整多个透镜的焦[0130]图12B是示出根据本实施方式的电子设备的另一示例的示意图。电子设备1200包[0131]图13A和图13B是示出根据本实施方式的显示装置的示例的示意图。图13A示出了单元1302的基座1303。基座1303不限于图13A所示的形式。框架1301的下侧也可以用作基[0133]图14A是示出根据本实施方式的照明装置的示例的示意图。照明装置1400能够包或从蓝色到红色的任何颜色的光。照明装置还能够包括用于控制这些光成分的光控制电路。照明装置还能够包括根据本发明的有机发光元件和连接到有机发光元件的电源电路。[0136]图14B是作为根据本实施方式的移动体的示例的汽车的示意图。汽车具有作为照[0142]图15A是示出显示装置用作诸如相机的摄像装置的取景器的示意性配置的示例的户的眼球6。包括图像传感器的摄像装置23将用户的眼球6所反射的红外光转换成电气信够基于来自摄像装置的使用者的视线信息来控制显示装置构造成使用眼球的图像和眼球在图像中的实际观察方向作为督导数据来从眼球的图像估低于第一摄像区域的优先级的区域可以被设定为第二[0151]图15C是示出智能眼镜的示例的示意图。由智能眼镜代表的