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文档简介

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额2020-03-05发布2020-03-05发布上海市市场监督管理局发布I本标准4.2和4.3是强制性的，其余为推荐性的。——修改了适用范围，取消了太阳能级硅单晶及其硅片的要求(GB/T14139(见第2章和2014年版的第2章);章和2014年版的第3章);——修改第6章为“节能降耗导向”(见第6章和2014年版的第6章);——增加了附录A。本标准由上海市能源标准化技术委员会归口。——DB31/792—2014。1硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额2规范性引用文件GB/T12962硅单晶GB/T12964硅单晶抛光片GB/T12965硅单晶切割片和研磨片下列术语和定义适用于本文件。在硅单晶抛光片上生长一层或多层硅单晶薄膜(外延层)后制成硅单晶外延片，是制作半导体器件2和集成电路的重要基础材料。表1单位产品能源消耗限定值硅单晶硅单晶研磨片1硅单晶抛光片2-硅单晶外延片3一4.3新建生产企业(项目)单位产品能源消耗准入值3表2单位产品能源消耗准入值硅单晶一一硅单晶研磨片1一硅单晶抛光片2一硅单晶外延片3一企业单位产品能源消耗先进值应符合表3的要求。表3单位产品能源消耗准入值硅单晶一硅单晶研磨片直径150mn1一硅单晶抛光片2-硅单晶外延片3折算系数K。注：不同直径硅片均按表面积折算，以直径150mm的硅片为基数1.0。6(资料性附录)常用能源折标准煤参考系数常用能源品种折标准煤参考系数见表A.1。表A.

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