CN114785941B 一种晶圆检测实时对焦装置及方法 （南京谦视智能科技有限公司）_第1页
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JP2015106600A,2015JPH0766596A,1995.03.10US2003192866A1,2003.本发明提供一种晶圆检测实时对焦装置及器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的体设计的情况下，确保镜头对焦的准确性和效果，有助于提高了晶圆表面检测的准确性和效2控制器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块镜头模块包括运动轴和镜头；运动轴用于根据接收到的移动控制信镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜头与距离检测模块用于检测自身与晶圆背面之间的距离，并将得到的当晶圆为透膜或者半透明时，距离传感器用于检测自身与晶圆背面之间的第一距离，控制器根据接收到的第一距离和第二距离计算放置模块用于将晶圆固定在镜头模块与距离检测模块之间的4.一种基于如权利要求1-3中任一项所述的晶圆检测实时对焦装置的对焦方法，其特控制器控制镜头模块和距离检测模块同时移动到晶圆的任意在检测的过程中，距离检测模块获取晶圆背面的起伏变化信控制器根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，镜头模块根据接收到的移动控制信号调整镜头与控制器根据接收到的距离检测模块反馈的距离数据，计算距离34[0001]本发明涉及半导体晶圆检测技术领域，特别是一种晶圆检测实时对焦装置及方对焦的话无法确保在扫描过晶圆的过程中可以拍摄到清晰的[0006]2)反射式镜头同轴对焦法：通过激光传感器透过镜头垂收集反馈的信号来计算镜头此刻到晶圆表面的距离，然后对比应该有的对焦距离的偏差，镜只需要移动一次。但是上述方式由于激光传感器发射的光线通过镜头照射到晶圆表面，光传感器的光斑影响到(比如镜头拍摄的图像采集的是整个白光波段，激光传感器用的是5[0016]运动轴用于根据接收到的移动控制信号控制镜头在运动轴上远离或接近晶圆移6基于简单和低成本的镜头整体设计的情况下，在检测的过程中实时调节镜头模块的高度，[0036]利用附图对本发明作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本发明的任何限[0050]运动轴用于根据接收到的移动控制信号控制镜头在运动轴上远离或接近晶圆4移驱动器根据接收到的移动控制信号控制竖直轴带动镜头上升或下降，以调节镜头与晶圆47[0053]距离传感器用于检测自身与晶圆4背面之间的距离，并将得到的距离信息传输到[0059]另一种场景中，控制器2也可以根据接收到的第一距离和第二距离信息进行综合[0062]为了能够准确检测晶圆4背面(下表面)的翘曲变化，需要将晶圆4的背面表露出8运动轴控制其上的镜头根据移动补偿量靠近或原理晶圆移动远小于翘曲度(比如一般晶圆翘曲都是几十微米甚至更高，但厚度均一性误差仅在几微米元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或

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