CN114814699B 一种结构内嵌的在片校准件及其校准测试方法 （浙江大学）_第1页
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一种结构内嵌的在片校准件及其校准测试本发明公开了一种结构内嵌的在片校准件散射参数矩阵输入到校准拟合后的16项误差模路和负载结构进行内嵌化设计避免因探针与不2所述直通校准件中，两个可换区域均设置为直通结构，且两个直通所述开路-短路校准件中，一个可换区域设置为开路结构（4另一个可换区域设置为所述开路-负载校准件中，一个可换区域设置为开路结构（4另一个可换区域设置为所述短路-负载校准件中，一个可换区域设置为短路结构（5另一个可换区域设置为3所有校准件在沿测试信号传输方向的两端边沿处截面的结构出被测件校准后的散射参数矩阵作为被测件的散射参4[0002]微波器件的在片测试是指使用矢量网络分析仪和微波探针直接测量晶圆或裸芯5[0028]所述的开路结构是不设置任何金属片，实质是由空气等其他非导体介质填充构6所述短路-短路校准件、开路-短路校准件和短路-负载校准件中的短路结构相同；所述负被测件的散射参数矩阵输入到校准拟合后的16项误差模型中输出被测件校准后的散射参7[0056]图10是实施例中的本发明与其他技术方案通过三维电磁仿真得到的校准结果对[0061]金属层7包括两个分别布置在衬底1沿测试信号传输方向两侧上的地导体3，以及外的地导体3金属片的三个边沿均和衬底1的边沿结构的片状金属靠近衬底1边沿的一端和衬[0068]如图3所示，开路-开路校准件是包括位于衬底1两侧的两[0069]如图4所示，短路-短路校准件是包括位于衬底1两侧的两8[0070]如图5所示，负载-负载校准件是包括位于衬底1两侧的两后再分别和两侧的地导体3之间连接的负载结构6。端部结构经金属片连接两个负载的一[0071]如图6所示，开路-短路校准件是包括位于衬底1两侧的两定区域以及紧邻于固定区域布置的、设置有将端部结构和两侧的地导体3之间连接的金属[0072]如图7所示，开路-负载校准件是包括位于衬底1两侧的两[0073]如图8所示，短路-负载校准件是包括位于衬底1两侧的两的间距g、衬底的厚度h和金属层7的厚度t的这些参数控制直通校准件的特征阻抗为50欧9[0079]将上述参数输入ADS软件的LineCalc计算工具计算直通校准件的特征阻抗，通过[0083]基于三维电磁全波仿真对该校准件进行校准测试。本次测试频段为10MHz~[0084]具体实施中，在片校准件中的每种校准件进行在片测试时采用矢量网络分析仪、[0085]完成对所述7种16项误差模型校准件组合的测试后，所有散射参数中即包含了误被测件的散射参数S21幅值与仿真值相比仅相差0.00差模型校准方案、现有TRL技术方案和采用具有固定区域和可换区域的在片校准件的SOLT[0088]以上所述为本发明的较佳实施例，不应理解为是对本发

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